用于泵的转子的制作方法

用于泵的转子的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于泵的转子，转子包括至少两个中空凸叶(160、162、164、166)，各个凸叶具有限定凸叶轮廓的外壁(208)、大致在外壁内部的空腔(210)、以及位于腔中以抵抗在旋转期间产生的凸叶上的应力的至少一个加强肋(226)。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种旋转式正排量泵和这种泵的转子。尤其是，本发明涉及罗茨泵 (也称为罗茨鼓风机）。 用于泵的转子

【背景技术】
[0002] 罗茨泵通常包括一对啮合的带凸叶的转子，其在壳体内旋转，引起流体被捕集在 围绕凸叶的凹处并从泵入口输送至泵出口。转子实际上不相互接触，也不会接触壳体，因此 不需要润滑剂。这使得罗茨泵期望用于流体的污染成问题的应用中，例如半导体加工中。
[0003] 图1显示了典型的罗茨泵100的简图。泵送室101由多个定子部件形成，包括定 子壳体102和两个横向端壁104。端壁104具有供两个转子轴108、110延伸穿过的孔106。 轴在各端被轴承112支撑。马达114驱动一个轴108的旋转，且齿轮机构116将旋转动力 传递给另一个轴110。齿轮机构引起轴同步、反向地旋转。
[0004] 轴上已安装有各对转子凸叶118、120和122、124。凸叶122的径向顶端被凸叶120 遮挡，因此用虚线表示。图2显示了沿线II-II剖取的泵截面，其中，可更清楚地看到转子 凸叶。当转子旋转时，凸叶扫掠泵送室101的内表面126,从而将流体从室入口 128泵送至 室出口 130。必须严格控制转子凸叶和扫掠表面126之间的公差，同样地必须控制转子之间 的公差，否则，将会产生流体可经过的间隙，从而减小泵的效率。典型的公差为约0. 1_。
[0005] 典型的罗茨泵具有相当高的泵送能力，但是，对于某些应用来说，期望进一步提高 泵的能力。这可以通过在保持凸叶顶端速度的同时提供带有更大凸叶的更大泵来实现。然 而，这是不利的，因为泵变得昂贵，并且如果发生意外，例如如果转子冲突，则凸叶的提高的 能量可足以使凸叶击穿泵壳体并引起损坏或伤害。
[0006] 备选地，通过引起转子更快地旋转从而可提高泵的能力。旋转期间的典型的凸叶 顶端速度小于l〇〇m/ S，且经常小于80m/s。凸叶的顶端处的速度的明显提高例如130m/s将 允许凸叶制造得更小，并减小泵的成本。然而，虽然凸叶不大，但是转速的提高引起凸叶能 量的提高，并且如果发生意外，同样会引起损坏或伤害。还应注意，由于能量不但与质量成 比例，还与速度的平方成比例，因此提高速度比提高质量引起动能的更大提高。
[0007] 常规转子通常由材料的实心块制成，典型地为铸铁。这种转子可以用各种方式制 造，包括整体地浇铸实心凸叶和轴，或浇铸实心凸叶并将凸叶附连到轴以形成转子。
[0008] 已知的凸叶可通过浇铸实心凸叶并然后在其中钻孔来制造从而减小其重量。


【发明内容】

[0009] 本发明旨在，对于给定尺寸的泵，通过进一步减小转子的重量，从而提高这种旋转 式正排量泵的泵送能力。本发明还旨在缓解使用中空凸叶的已知问题，尤其是确保凸叶壁 保持足够坚固以承受运行应力且不会变形超过公差的问题。
[0010] 根据本发明，提供一种在具有罗茨泵送机构的真空泵中使用的真空泵转子，该转 子包括至少两个中空凸叶，各个凸叶具有限定凸叶轮廓的外壁、大致在外壁内部的空腔、以 及位于腔中以抵抗在旋转期间产生的凸叶上的应力的至少一个加强肋。
[0011] 该加强肋或各个加强肋可以围绕凸叶的内壁延伸。该加强肋或各个加强肋可以具 有不定的范围，并根据施加于使用中的凸叶的不定的应力而在腔内分布。
[0012] 外壁可以具有不定的厚度，并且外壁在径向内部分比在凸叶顶端更厚。
[0013] 凸叶的外壁具有厚度使得当转子在使用中旋转时凸叶在离心载荷下变形，且变形 大于制造公差。
[0014] 凸叶轮廓在第一状态可以具有最佳配置，在第一状态下，转子在使用中旋转，在 第二状态时，转子不旋转，且凸叶轮廓不处于最佳配置，并且其中，当凸叶的顶端速度大于 100m/s时，凸叶从第二状态变形为第一状态。
[0015] 优选地，壁厚度与凸叶顶端处的半径之比小于1:20。当凸叶顶端的半径至少为 100mm时，壁厚度可以小于5_。
[0016] 各个中空凸叶可以包括沿着转子沿轴向连续地联接的多个中空凸叶部分，这些中 空凸叶部分一起形成所述凸叶。
[0017] 各个中空凸叶部分可以具有围绕该部分的至少一个轴向端周向且径向向内延伸 的凸缘，用于将相邻部分联接在一起。
[0018] 一个或多个孔可以设置在凸缘中，用于允许中空凸叶部分通过固定部件紧固在一 起。
[0019] 各个凸叶可以还包括用于在凸叶的各个轴向端封闭腔的两个端面。
[0020] 转子可以包括轴，且凸叶可以包括能够将凸叶固定到轴上的装置，凸叶和轴被定 形成提供至少两个凸叶和轴的大致连续的轮廓。
[0021] 转子的中空凸叶和轴可以适于通过燕尾联接或类似联接而装配在一起，使得中空 凸叶部分相对于转子的轴的径向运动最小。
[0022] 转子可以包括排放装置以允许空腔内的压力与中空凸叶外的压力实质平衡。排放 装置可以包括过滤器，该过滤器用于从通过排放装置传送至腔中的气体中过滤沉积物。
[0023] 本发明还提供了一种包括如上所述的转子的真空泵。
[0024] 该泵可以包括多个泵送级，各个泵送级包括泵送室和至少两个所述凸叶。
[0025] 至少一个泵送级可以包括凸叶，该凸叶具有沿轴向连续地联接在一起的多个凸叶 部分。
[0026] 凸叶腔中的加强肋可以相对于转子轴的轴线在相应的径向平面中延伸，且一个转 子的凸叶的径向平面与另一个转子的径向平面不对齐。
[0027] 径向平面之间的凸叶部分可以布置成在由与径向平面呈一列的凸叶部分冲击时 变形，以在意外的转子冲突的情况下吸收转子的能量。
[0028] 本发明还提供了一种制造用于真空泵的转子的方法，方法包括：提供带有至少两 个中空凸叶的转子，各个凸叶具有限定凸叶轮廓的外壁和大致在外壁内部的空腔，以及在 空腔内定位至少一个加强肋，以抵抗在旋转期间产生的凸叶上的应力。

【专利附图】

【附图说明】
[0029] 现在将参考附图描述本发明，在附图中：
[0030] 图1显示了已知罗茨泵的示意图。
[0031] 图2显示了图1中已知罗茨泵的横截面。
[0032] 图3显示了依照本发明的罗茨泵的示意图。
[0033] 图4显示了图3中罗茨泵的横截面。
[0034] 图5显示了形成图3和4中所示的罗茨泵的一部分的中空凸叶的剖面图。
[0035] 图6(A)和6(B)显示了依照本发明的中空凸叶部分和端板的立体图。
[0036] 图7显示了具有如图6㈧和6(B)所描绘的中空凸叶部分的转子的横截面视图。
[0037] 图8显示了转子凸叶的变形和未变形的状态。
[0038] 图9显示了依照本发明的多级泵的示意图。
[0039] 图10显示了在转子的凸叶腔中的加强肋的变型布置。

【具体实施方式】
[0040] 图1和2显示了典型的罗茨泵。这些图在以上本申请文件的引言部分中描述，这 是因为它们形成现有技术的一部分。
[0041] 图3显示了根据本发明的泵。本发明和现有技术的泵的某些特征是共同的，且这 些特征以共同的参考标记表示。泵150具有泵送室151，泵送室151由多个定子部件形成， 包括定子壳体102和两个横向端壁104。端壁104具有供两个转子轴108、110贯穿的孔 106。轴在各端被轴承112支撑。马达114驱动一个轴108的旋转，且齿轮机构116将旋转 动力传递给另一个轴110。齿轮机构引起轴同步、反向地旋转。
[0042] 轴安装有各对转子凸叶160、162和164、166。在该示意图中，转子在配置中被显示 以有助于本发明实施例的描述从而显示出薄壁208和腔210。全部转子凸叶都是中空的， 各个凸叶具有围绕腔210的弯曲薄外壁208。此外，全部转子凸叶均为轴向模块构造。薄 壁208的厚度与凸叶的顶端半径之比小于1:20。优选地，两者之比小于1:40,且更优选大 约1 :100。对于凸叶顶端半径为200mm的泵来说，厚度优选小于10mm,更优选小于5mm,且 理想地近似为厚。在该例中，各个凸叶由三个中空凸叶部分形成，虽然根据转子的 期望的轴向长度，也可以使用两个、四个或更多个中空凸叶部分。凸叶166由中空凸叶部分 202、204和206和两个端板212形成，一个端板位于凸叶的各个轴向端。中空凸叶部分可 以具有相同的轴向长度，也可以具有不同的轴向长度。为了易于制造，通常期望使用相同轴 向长度的中空凸叶部分。在该例中，中空凸叶由合金钢加工成高强度和良好耐温性。也可 以换为使用其它材料，例如铝。也可以以其它已知的制造技术来制造中空凸叶部分。中空 凸叶部分在各个轴向端具有凸缘214、216,以允许将中空凸叶部分装配在一起。这根据图5 更加详细地描述。备选地，如果中空凸叶部分位于转子的轴向端，则凸缘214、216可以固定 到端板212上。
[0043] 图4显示了图3的泵沿线A-A剖取的截面，其中可以更清楚地看到中空转子凸叶。 熟悉罗茨泵的技术人员将明白，图4所示的转子未处于图3所示的相同配置。当转子旋转 时，中空凸叶160、162、164、166扫掠泵送室151的内表面126,从而将流体从室入口 128泵 送至室出口 130。
[0044] 图5更详细地显示了中空凸叶部分202和204之间的联接。中空凸叶部分202 具有围绕中空凸叶部分202的轴向端周向且径向向内延伸的凸缘214。同样，中空凸叶部分 204具有围绕该中空凸叶部分204的轴向端周向且径向向内延伸的凸缘216。凸缘216具 有唇部215,唇部215容许凸缘216搭叠凸缘214。在各个凸缘设置孔（图6 (A)和6 (B)所 示），以允许中空凸叶部分202、204通过使用螺栓220紧固在一起。重要的是，这些孔正确 对齐，使得中空凸叶部分的外壁在栓接在一起时保持齐平，并使得联接尽可能地将内腔10 封离于泵送室151。为了确保实现流体紧密的密封，还可向联接提供密封剂。唇部215是可 任选的，但是它有助于实现良好密封联接。在存在制造或其它约束的地方，可以省略唇部。 在这种情况下，凸缘216将具有与凸缘214相同的形态，且凸缘可以如上所述栓接在一起。
[0045] 图6(A)和6(B)更详细地显示中空凸叶部分204。薄外壁208限定腔210,腔210 在两个轴向端均开口。设置加强肋226以提高薄外壁的强度，以承受泵使用时的应力，并在 使用时保持凸叶的所期望的轮廓。肋围绕弯曲壁208的内周表面延伸，并根据旋转期间遇 到的应力分布。在这方面可以看出，肋从凸叶的内表面突出的量在凸叶的周围范围内变化。 肋的径向内部分在工作应力最高的地方突出最多，并随着应力减小，肋突出至更小程度。肋 设置有用于平衡转子的孔224,例如通过对孔224增加螺母和螺栓。备选地，可以在肋的适 当部位钻孔，以移除质量，从而平衡凸叶。在中空凸叶部分的各轴向端，凸缘214围绕弯曲 壁的内表面周向延伸。为了易于制造，凸缘214可以与加强肋226相同。设置孔222以允 许凸缘214栓接到如图5所示的相邻中空凸叶部分的凸缘上。备选地，如果中空凸叶部分 位于转子的轴向端，则凸缘214可以栓接到端板212上。端板212如图6㈧和6(B)所示， 且定形成装配到由凸缘214中的壁213限定的凹部中。端板212具有通孔227,以允许凸叶 的腔排放且使腔中的压力与泵送室中的压力相等。如果腔中的气体压力大于泵送室中的压 力，由于密封不良，气体会从腔漏出并减小泵送效率。过滤介质225,例如玻璃纤维垫，防止 所泵送的工艺气体产生的固体沉积物进入并聚集在腔中。所聚集的沉积物将提高凸叶的质 量并引起凸叶变得失衡。
[0046] 设置高强度螺栓230和相应的孔（未显示），以允许中空凸叶部分栓接到转子轴。 还设置燕尾榫228,用于装配到转子轴的互补形状凹槽中，以形成燕尾联接。燕尾联接是有 效的，因为其在凸叶的组装时有助于中空凸叶部分的对齐。此外，它还提供了安全支持系 统，如果将中空凸叶部分固定到转子轴上的螺栓失效（例如，由于疲劳或者转子碰撞而被 剪断），燕尾联接将起到防止凸叶脱离转子轴并引起严重损坏的作用。
[0047] 图7显示了具有两个中空凸叶164U66和转子轴110的泵转子。中空凸叶由中空 凸叶部分204a、204b形成，且各个中空凸叶部分具有封闭腔210a、210b的弯曲薄壁208a、 208b。如所期望地，设置凸缘214a、214b，用于允许中空凸叶部分附连到另一个中空凸叶部 分或端板。孔222设置在凸缘214a、214b中，以便于附连。高强度螺栓230用于将中空凸 叶部分附连到转子轴110上。中空凸叶部分均具有燕尾榫228a、228b，燕尾榫228a、228b装 配到转子轴中的互补形状的凹槽中，以形成燕尾联接。
[0048] 具有薄壁和空腔的凸叶的配置减小了凸叶的质量，同时保持了外部凸叶轮廓。由 于质量减小，因而转子可以更快地旋转而不提高旋转凸叶中存储的能量的量。例如，转子可 以以大于l〇〇m/s的凸叶顶端速度旋转且优选以约为130m/s旋转。在已知设计中，以这样 的速度旋转转子，将使转子中存储的能量提高至超过可接受极限，在意外事件中带有损坏 或伤害的危险。也应注意，以约130m/s的速度旋转薄壁中空凸叶，需要使用之前论述的加 强肋，加强肋对吸收凸叶上提高的应力是必须的。即使带有加强肋，由于离心载荷，凸叶在 高转速下也会变形。所引起的变形大于制造公差。在这点上，凸叶顶端的变形可以为0.5 至1_，而制造公差可以为0. 1至0. 2_。所以，本发明的实施例设计成使得凸叶在以高速 旋转时采用最佳的泵送状态。也就是说凸叶在处于高速的离心载荷下变形以采用最佳配 置。已知的泵在载荷下变形但小于制造公差，例如0. 1至0. 2mm。
[0049] 必须遵循在低速时，中空凸叶不处于最佳的泵送状态，因此凸叶轮廓之间以及凸 叶轮廓与泵送室的扫掠表面之间将存在间隙。虽然这些间隙会引起泄漏并减小泵送效率， 然而，低转速时效率的减小对于高速时提高泵送来说是可接受的缺陷。
[0050] 图8用实线显示泵不工作时中空凸叶的未变形状态，且用虚线显示变形状态以及 泵以高速旋转时的凸叶的外部轮廓。出于说明的目的，图8所示的变形是非常夸大的。
[0051] 更详细地，由于凸叶在离心力下被拉伸，凸叶在凸叶顶端264向外径向变形。凸叶 侦忉65朝着凸叶的中心向内变形。凸叶的壁厚变化，且在侧面比在凸叶顶端更厚，从而有助 于避免朝着旋转中心的凸叶上的更大应力，该应力径向向外减小。同样，加强肋在凸叶基部 和侧部比在凸叶顶端向腔中突出更大的程度。
[0052] 与使用非变形设计相比，这种凸叶配置容许更薄的凸叶壁（因此容许质量更轻的 凸叶）。此外，如图7所示，转子轴110设计成补足泵运行时中空凸叶部分的外部轮廓，以针 对转子形成最佳轮廓。
[0053] 图9显示具有四个泵送室308、306、304和302的多级泵300。第一泵送室308具 有联接在一起以形成各个凸叶的三个中空凸叶部分，第二泵送室306具有联接在一起以形 成各个凸叶的两个中空凸叶部分，且第三和第四泵送室304、302在每个凸叶仅具有一个中 空凸叶部分。在各个泵送室内部，各个凸叶在任一轴向端具有端板212，使得各个凸叶内的 腔210是完全封闭的。各个泵送室由多个定子部件形成，包括定子壳体102和两个横向端壁 104。端壁104具有供两个转子轴108U10贯穿的孔106。轴在各端被轴承112支撑。马达 114驱动一个轴108的旋转，且齿轮机构116将旋转动力传递给另一个轴110。齿轮机构引 起轴同步、反向地旋转。
[0054] 泵送室308类似于图3中所描绘的泵送室151，且被示意地显示以描述本发明。 在泵送室308内部，转子轴108、110已被安装各对转子凸叶160、162和164、166。全部转子 凸叶都是中空的，各个凸叶具有围绕腔210的弯曲薄外壁208。此外，全部转子凸叶为轴向 模块构造。薄壁208近似为厚。在该例中，各个凸叶由三个中空凸叶部分形成，虽 然根据转子的所期望的轴向长度也可以使用两个、四个或更多个中空凸叶部分。中空凸叶 部分在任一轴向端具有凸缘214、216，以允许将中空凸叶部分装配在一起。这根据图5更加 详细地描述。备选地，如果中空凸叶部分位于转子的轴向端，则凸缘214、216可以固定到端 板212上。
[0055] 除了泵送室306的轴向长度更短、因此仅需要两个中空凸叶部分以形成各个凸叶 之外，泵送室306在构造上类似于泵送室308。同样，除了泵送室304、302的轴向长度更短、 因此仅需要一个中空凸叶部分以及两个端板212以形成各个凸叶之外，泵送室304、302在 构造上类似于泵送室308、306。
[0056] 位于泵送室之间的端壁104将泵送室相互分开，并适于允许流体从上游泵送室的 出口流至相邻的下游泵送室的入口。位于泵送组件的任一轴向端的端壁104将泵送组件与 泵的其它部件例如齿轮和马达分开，并适于允许流体流至最先的（最上游）泵送室308的 入口中，并从最后的（最下游）泵送室302的出口流出。
[0057] 在运行中，各个泵送室起到从其入口将流体泵送至其出口的作用。一个泵送室的 出口经由端壁104而与相邻下游泵送室的入口处于流体连通，使得由泵实现的压缩被累 积。
[0058] 图9中显示了四个泵送室，但是，根据需要，可以使用更多或更少的泵送室。图9 所示的泵送室具有相同的直径，但是，如果期望，泵送室可以具有彼此不同的直径。此外，各 个泵送室本身可以不为恒定的直径，但可以渐缩。
[0059] 上述所有例子都显示了端面212,其与中空凸叶部分分开形成，并与它们联接，以 形成密封的中空凸叶。备选地，其中一个端面212可以与中空凸叶部分一体形成。理想地， 中空凸叶部分的轴向长度应该被选择成优化制造工艺，使得中空凸叶部分包括它们的凸缘 和肋能够容易地加工和装配在一起。此外，中空凸叶部分的轴向长度理论上不能太长，否则 可能限制通向将中空凸叶部分联接到转子轴上的螺栓的通路。
[0060] 图10显示了单级泵的相应转子402、404中的加强肋的变型布置。该布置同样适 用于多级泵。针对该说明的目的，两个转子被显示间隔开，然而在实践中，凸叶将如上更详 细地描述的那样搭叠。
[0061] 转子402包括凸叶403、405,且转子404包括凸叶407、409。转子402的加强肋 406、408位于相应的凸叶腔410、412中，并相对于轴线A1而在径向平面R1、R3、R5、R7、R9、 R11和R13中延伸。转子404的加强肋414、416位于相应的凸叶腔418、420中，并相对于 轴线A2而在径向平面1?2、1?4、1?6、1?8、1?10和1?12中延伸。转子402的径向平面1?1、1?3、1?5、 尺7、1?9、1?11和1?13与转子404的径向平面1?2、1?4、1?6、1?8、1?10和1?12不对齐。应该明白，与 凸叶的支撑加强肋成一列的凸叶部分比沿轴向方向在加强肋之间的凸叶部分更坚固。例 如，参照附图，凸叶405的与径向平面R3大致成一列的部分422比在径向平面R1与R3之间 的部分424更坚固。同样，凸叶407的与径向平面R2大致成一列的部分428比位于径向平 面R2与R4之间的部分430更坚固。凸叶405的更坚固部分422与凸叶407的可变形部分 430对齐，且凸叶407的更坚固部分428与凸叶405的可变形部分424对齐。因此，在转子 之间发生高速碰撞的情况下，一个凸叶的可变形部分经另一个凸叶的坚固部分变形，从而 吸收转子存储的高能量。这样，更小弹性的部分可变形并充当扭变区域（crumple zones), 以减小凸叶片段击穿泵外壳而引起伤害或损坏的可能性。
[0062] 如图10所示，转子402的加强肋对齐，且转子404的加强肋对齐，但是一个转子的 加强肋与另一个转子的加强肋不对齐。由于凸叶的加强肋具有大致固定的相对关系且不会 冲突，所以可以对齐一个转子的凸叶的加强肋。然而，应该明白，单个转子的凸叶的加强肋 的对齐不是建立用于如上所述地吸收转子的存储能量的扭变区域的必要条件。
[0063] 可见，本发明提供了具有高的强度与重量之比的转子。在附图中，虽然泵送室安放 有两个具有啮合凸叶的转子，但是，本发明同样适用于其它配置，例如具有三个或更多个凸 叶的转子。
【权利要求】
1. 一种在具有罗茨泵送机构的真空泵中使用的真空泵转子，所述转子包括至少两个中 空凸叶，各个凸叶具有限定凸叶轮廓的外壁、大致在所述外壁内部的空腔、以及位于所述空 腔中以抵抗在旋转期间产生的所述凸叶上的应力的至少一个加强肋。
2. 根据权利要求1所述的转子，其中，所述加强肋或各个加强肋围绕所述凸叶的内壁 延伸。
3. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述加强肋或各个加强肋具有不定的范围， 并根据施加于使用中的所述凸叶的不定的应力而在所述空腔内分布。
4. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述外壁具有不定的厚度，并且所述外壁在 径向内部分比在凸叶顶端更厚。
5. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述凸叶的所述外壁具有厚度使得当所述转 子在使用中旋转时所述凸叶在离心载荷下变形、且所述变形大于制造公差。
6. 根据权利要求5所述的转子，其中，所述凸叶轮廓在第一状态下具有最佳配置，在该 第一状态下，所述转子在使用中旋转，在第二状态时，所述转子不旋转且所述凸叶轮廓不处 于最佳配置，并且其中，当所述凸叶的顶端速度大于lOOm/s时，所述凸叶从所述第二状态 变形为所述第一状态。
7. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述外壁的厚度与所述凸叶顶端处的半径之 比小于1:20。
8. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述外壁的厚度小于5_，且所述凸叶顶端 的半径至少为100mm。
9. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，各个中空凸叶包括沿着所述转子沿轴向连续 地联接的多个中空凸叶部分，所述多个中空凸叶部分一起形成所述凸叶。
10. 根据权利要求9所述的转子，其中，各个所述中空凸叶部分具有围绕所述部分的至 少一个轴向端周向且径向向内延伸的凸缘，用于将相邻部分联接在一起。
11. 根据权利要求10所述的转子，其中，一个或多个孔设置在所述凸缘中，用于允许所 述中空凸叶部分通过固定部件紧固在一起。
12. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，各个凸叶还包括用于在所述凸叶的各个轴 向端封闭所述空腔的两个端面。
13. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，所述转子包括轴，且所述凸叶包括能够将所 述凸叶固定到所述轴上的装置，所述凸叶和所述轴被定形成提供所述至少两个凸叶和所述 轴的大致连续的轮廓。
14. 根据权利要求13所述的转子，其中，所述转子的所述中空凸叶和所述轴适于通过 燕尾联接或类似联接而装配在一起，使得所述中空凸叶部分相对于所述转子的所述轴的径 向运动最小。
15. 根据权利要求1或2所述的转子，其中，设置排放装置，以允许所述空腔内的压力与 所述中空凸叶外的压力实质平衡。
16. 根据权利要求15所述的转子，其中，所述排放装置包括过滤器，该过滤器用于从通 过所述排放装置传送至所述空腔中的气体中过滤沉积物。
17. -种真空泵，包括根据前述任一权利要求所述的转子。
18. 根据权利要求17所述的真空泵，包括多个泵送级，各个所述泵送级包括泵送室和 至少两个所述凸叶。
19. 根据权利要求18所述的真空泵，其中，至少一个所述泵送级包括凸叶，该凸叶具有 轴向连续地联接在一起的多个凸叶部分。
20. 根据权利要求17至19中任一项所述的真空泵，其中，所述凸叶腔中的所述加强肋 相对于所述转子轴的轴线而在相应的径向平面中延伸，且一个转子的所述凸叶的所述径向 平面与另一个转子的所述径向平面不对齐。
21. 根据权利要求20所述的真空泵，其中，径向平面之间的所述凸叶部分布置成在由 与所述径向平面呈一列的所述凸叶部分冲击时变形，以在意外的转子冲突的情况下吸收所 述转子的能量。
【文档编号】F04C25/02GK203906010SQ201290000491
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2012年4月23日 优先权日:2011年5月4日
【发明者】N·P·肖菲尔德, S·多德斯韦尔 申请人:爱德华兹有限公司