真空泵用电机驱动装置及真空泵的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种真空泵用电机驱动装置及真空泵，能够缩减成本并且快速解决启动时的电机反转。一种真空泵用电机驱动装置包括：逆变器、第一运算部、电流指令设定部、驱动指令产生部和脉宽调制信号产生部。一种真空泵包括：泵转子、电机和所述的真空泵用电机驱动装置。在真空泵用电机驱动装置中，Id、Iq设定部(402)在泵启动时，当转动速度(ω)为表示正转动状态的正值时，设定加速驱动的q轴电流指令，当转动速度(ω)为表示逆转动状态的负值时，始终设定减速驱动的q轴电流指令。这样一来，通过变更以往所具备的Id、Iq设定部(402)中的处理，而使电机在逆转动时必然被减速，从而可快速转移到正常的泵启动运行。
【专利说明】真空泵用电机驱动装置及真空泵
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空泵用电机驱动装置、及具备该电机驱动装置的真空泵。
【背景技术】
[0002]润轮分子泵(turbo molecular pump)等轴流式真空泵是使具有转动叶片(movingvane)的转子(rotor)高速转动，以进行真空排气。此时，一边对稀薄气体进行压缩工作一边进行排气，所以转子仅单向地转动(将该转动方向设为正转动)。因此，轴流式真空泵通常是在静止状态与正转动区域之间进行加速.减速运转，以及在正转动下进行稳态转动。
[0003]以往是基于转动传感器(sensor)的检测信号，获取转动速度信息及电机转子(motor rotor)的磁极位置信息,作为使转子转动的电机驱动所需的信息。例如，利用电感式间隙传感器检测设置在转子的目标(target)(具有阶差)的方式的真空泵，难以仅利用转动传感器，侦测转动方向。因此，一般通过研究电机驱动时(尤其产生逆转动可能性相对高的起动时)的控制顺序来解决所述情况(例如，参照专利文献I)。
[0004][【背景技术】文献]
[0005][专利文献]
[0006][专利文献I]日本专利4692891号公报
[0007]但是，存在如下问题:当将转子从静止状态开始转动(起动)时，存在激励开始时出现逆转动的情况，虽通过研究控制顺序来解决这种情况，但存在相应地启动时间变长的问题。
[0008]而且，在将涡轮分子泵等轴流式真空泵装载在大型真空腔室的情况下，当将腔室从真空状态迅速恢复为大气压状态时，气体从泵侧向腔室侧逆流，同时成为大气压，所以，因逆流的气体作用而转子逆转动的情况较为罕见。在这种情况下，为防止在逆转动状态下启动,而必须等待泵再启动开始运转,直到转子从逆转动状态变为静止状态为止。
[0009]有鉴于上述现有的真空泵用电机驱动装置及真空泵存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的真空泵用电机驱动装置及真空泵，能够改进一般现有的真空泵用电机驱动装置及真空泵，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。
【发明内容】
[0010]本发明的目的在于，克服现有的真空泵用电机驱动装置及真空泵存在的缺陷，而提供一种新型结构的真空泵用电机驱动装置及真空泵，所要解决的技术问题是使其启动时间变短和防止在逆转动状态下启动，从而更加适于实用。
[0011]本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的优选实施方式的真空泵用电机驱动装置包括:逆变器，具有多个开关元件，驱动电机；第一运算部，基于有关电机相电压(motor phase voltage)的信息及有关电机相电流(motorphase current)的信息,算出电机转子的转动速度及磁极电转角；电流指令设定部，基于转动速度与目标转动速度的差值，设定转动坐标dq系中的d轴电流指令及q轴电流指令；驱动指令产生部，基于d轴电流指令、q轴电流指令、转动速度及所述磁极电转角，产生正弦波驱动指令；以及脉宽调制(Pulse Width Modulation, PWM)信号产生部，基于正弦波驱动指令，产生用来对多个开关元件进行开关控制的PWM控制信号；且电流指令设定部在泵启动时，当转动速度ω为表示正转动状态的正值时，设定加速驱动的q轴电流指令，当转动速度ω为表示逆转动状态的负值时,始终设定减速驱动的q轴电流指令。
[0012]本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0013]在进而优选的实施方式中，第一运算部包括:反向电压(reverse voltage)运算部，基于有关电机相电压的信息及有关电机相电流的信息，运算固定坐标α β系中的第一反向电压；第一转换部，被反馈(feedback)输入磁极电转角，且基于该磁极电转角，将第一反向电压转换成转动坐标dq系中的第二反向电压；第二运算部，将第二反向电压的矢量(vector)相位角设为Ψ时，当转动速度为正时，以Ψ-π /2收敛为零的方式算出磁极相位偏差，当转动速度为负时，以Ψ+/ 2收敛为零的方式算出磁极相位偏差；第三运算部，基于第一反向电压算出转动速度；以及第四运算部，算出由第三运算部算出的转动速度的积分值；且第一运算部将磁极相位偏差与积分值之和作为磁极电转角输出，电流指令设定部在转动速度为负的情况下，始终将q轴电流指令设定为正，进行减速驱动。
[0014]在进而优选的实施方式中，第一运算部包括:反向电压运算部，基于有关电机相电压的信息及有关电机相电流的信息，运算固定坐标α β系中的第一反向电压；第一转换部，反馈输入有磁极电转角，且基于该磁极电转角，将第一反向电压转换为转动坐标dq系中的第二反向电压；第二运算部，将第二反向电压的矢量相位角设为Ψ时，以Ψ-π / 2收敛为零的方式算出磁极相位偏差；第三运算部，基于第一反向电压算出转动速度；及第四运算部，算出由第三运算部算出的转动速度的积分值；且第一运算部将磁极相位偏差与所述积分值之和作为磁极电转角输出，电流指令设定部在转动速度为负的情况下，始终将q轴电流指令设定为负，进行减速驱动。
[0015]在进而优选的实施方式中，第三运算部包括:第二转换部，反馈输入有将所述和符号反转所算出的电转角，且基于该电转角，将第一反向电压转换成转动坐标dq系中的第三反向电压；以及转动速度运算部，基于第二反向电压的矢量成分相位、及第三反向电压的矢量成分相位，算出转动速度。
[0016]在进而优选的实施方式中，转动速度运算部基于以规定时间间隔获取的第二反向电压的矢量成分相位的差值与以所述规定时间间隔获取的第三反向电压的矢量成分相位的差值的平均值，算出转动速度。
[0017]而且，转动速度运算部也可能够以规定时间间隔获取第二反向电压的矢量成分相位与第三反向电压的矢量成分相位的平均值，且基于以规定时间间隔获取到的所述平均值的差值，算出转动速度。
[0018]在进而优选的实施方式中，第三运算部具备第三转换部，所述第三转换部反馈输入有将转动速度进行积分所得的电转角，且基于该积分值电转角，将第一反向电压转换成转动坐标dq系中的第四反向电压；且第三运算部基于第四反向电压的矢量成分相位，算出转动速度。[0019]在进而优选的实施方式中，第三运算部基于由反向电压运算部运算的第一反向电压的矢量成分相位，算出转动速度。
[0020]在进而优选的实施方式中，第一运算部包括:反向电压运算部，基于有关电机相电压的信息及有关电机相电流的信息，运算固定坐标α β系中的第一反向电压；磁极电转角运算部，基于第一反向电压算出磁极电转角；及转动速度运算部，基于由磁极电转角运算部算出的磁极电转角，算出转动速度；且磁极电转角运算部在从转动速度运算部反馈输入的转动速度为正时，通过eztarTY-Ea / E β )算出磁极电转角，在从转动速度运算部反馈输入的转动速度为负时，通过Θ ZtarT1 (Ea / -E β )算出磁极电转角，电流指令设定部在转动速度为负时，始终将q轴电流指令设定为正，进行减速驱动。
[0021]在进而优选的实施方式中，第一运算部包括:反向电压运算部，基于有关电机相电压的信息及有关电机相电流的信息，运算固定坐标α β系中的反向电压成分Ea、Εβ ;磁极电转角运算部，当磁极电转角设为Θ时，通过QztarT1 (-E a / Εβ )算出磁极电转角 '及转动速度运算部，基于由磁极电转角运算部算出的磁极电转角，算出转动速度；且电流指令设定部在转动速度为负的情况下，始终将q轴电流指令设定为负，进行减速驱动。
[0022]本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明提出的优选实施方式的真空泵包括形成有排气功能部的泵转子、转动驱动泵转子的电机、及所述真空泵用电机驱动装置中的任一者。
[0023]发明的效果
[0024]借由上述技术方案，本发明至少具有可一面缩减成本，一面快速解决启动时的电机反转的优点。
[0025]上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【专利附图】
【附图说明】
[0026]图1是表示本实施方式的真空泵中的泵单元I的构成的图。
[0027]图2是表示控制单元的概略构成的框图。
[0028]图3是表不有关电机M的电机驱动控制系统的图。
[0029]图4是说明正弦波驱动控制部400的框图。
[0030]图5是说明d轴及q轴的方向的图。
[0031 ]图6是表示转动速度.磁极位置估计部407的详情的图。
[0032]图7 (a)、图7 (b)是说明反向电压E (E α、Ε β )与磁极方向(磁极位置)的关系的图。
[0033]图8是表示第二实施方式中的转动速度.磁极位置估计部407的图。
[0034]图9是表示转动速度运算部4078中的估计运算的一例的框图。
[0035]图10 (a)、图10 (b)是说明转动坐标dq系中的相位偏移的图。
[0036]图11是表示第三实施方式中的转动速度.磁极位置估计部407的图。
[0037]图12是表示第四实施方式中的转动速度.磁极位置估计部407的图。
[0038]图13是表示第五实施方式中的转动速度.磁极位置估计部407的详情的图。[0039]【主要元件符号的说明】
[0040]1:泵单元4:泵转子
[0041]5:轴4a:转动翼
[0042]4b:圆筒部10:电机定子
[0043]11:电机转子40:AC/DC转换器
[0044]41:DC / DC 转换器42:DC 电源
[0045]43:逆变器44:控制部
[0046]45:激励放大器46:电磁铁
[0047]50:电流侦测部51:电压侦测部
[0048]60:底座60a:排气口
[0049]61:泵壳61a:吸气口
[0050]61b:卡止部61c:固定凸缘
[0051]62:固定翼63:隔离环
[0052]64:螺杆定子65:排气孔
[0053]66a、66b:机械轴承67、68、69:磁力轴承
[0054]400:正弦波驱动控制部401:速度控制部
[0055]402:1d、Iq设定部403:等效电路电压转换部
[0056]404:dq-两相电压转换部405:两相-三相电压转换部
[0057]406 =PWM信号产生部407:转动速度.磁极位置估计部
[0058]409、410:低通滤波器441、442:PWM控制信号
[0059]443:有关电机M的信号444:有关磁力轴承的信号
[0060]4071,4072:三相-两相转换部 4073:等效电路电压转换部
[0061]4074:反向电压运算部4075、4110:两相-dq电压转换部
[0062]4076,4111:相位角运算部4077:校正量Λ φ运算部
[0063]4078:转动速度运算部4079:积分运算部
[0064]4100:相位角运算部4101:转动速度估计部
[0065]4112:转动速度偏移校正部4113、4114:差值运算部
[0066]4115:ω产生部4116:符号反转部
[0067]4300:栅极驱动电路Dl~D6:续流二极管
[0068]E α、E β、Ed、Eq、Eld、Elq、Emd> Emq:反向电压
[0069]1、Id、Iq:电流指令M:电机
[0070]R:转动体单元SWl~SW6:开关元件
[0071]VcUVq:电压指令ia、i@:电流信号
[0072]iv、iu、iw:三相电流侦测信号 V a、V β:两相电压指令
[0073]Vu、Vv、Vw:三相电压指令να'、νβ':两相电压信号
[0074]να、νβ:电压信号vv、vu、vw:相电压侦测信号
[0075]θ、Θ m、Θ 1:磁极电转角ω:转动速度
[0076]co1:目标转动速度/ codt:积分值
[0077]Ψ、Ψ1:相位角Ψι?:相位[0078]ΛΨ、ΛΨπι:差值【具体实施方式】
[0079]为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种真空泵用电机驱动装置及真空泵其【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0080]-第一实施方式-
[0081]图1是表示本实施方式的真空泵的泵单元(pump unit) I的构成的图。真空泵包括图1所示的泵单元1、以及驱动泵单元I的控制单元(control unit)(未图示)。另外，图1所示的真空泵是磁悬浮式涡轮分子泵。
[0082]泵单元I具有包括转动翼4a和固定翼62的涡轮泵段、及包括圆筒部4b和螺杆定子(screw stator) 64的牵引泵(drag pump)段(螺纹槽泵)。此处，在螺杆定子64侧形成有螺纹槽，但也可以在圆筒部4b侧形成螺纹槽。作为转动侧排气功能部的转动翼4a及圆筒部4b是形成在泵转子4。泵转子4是紧固在轴(shaft) 5。转动体单元R包含泵转子4及轴5。
[0083]多段的固定翼62是相对于轴方向而与转动翼4a交替地配置。各固定翼62是隔着隔离环(spacer ring)63载置在底座(base)60上。若利用螺钉(bolt)将泵壳(pumpcasing) 61的固定凸缘(flange) 61c固定在底座60,则经叠层的隔离环63被夹在底座60与泵壳61的卡止部61b之间，从而将固定翼62定位。
[0084]轴5由设置在底座60的磁力轴承(magnetic bearing) 67、68、69非接触支撑。各磁力轴承67、68、69包括电磁铁及位移传感器。利用位移传感器来检测轴5的悬浮位置。另夕卜，构成轴方向的磁力轴承69的电磁铁是以在轴方向上夹住设置在轴5下端的转盘(rotordisk)55的方式配置。轴5是由电机M转动驱动。
[0085]电机M是同步电机，且例如使用永久磁铁同步电机。电机M包括配置在底座60的电机定子(motor stator) 10、及设置在轴5的电机转子11。电机转子11中设置着永久磁铁。在磁力轴承未运行时，轴5由用于紧急情况的机械轴承(mechanical bearing) 66a、66b支撑。
[0086]在底座60的排气口 60a设置排气孔(port) 65，且在该排气孔65连接有前级泵(back pump)。通过使转动体单元R —边磁悬浮一边被电机M高速转动驱动，而将吸气口61a侧的气体分子向排气孔65侧排出。
[0087]图2是表示控制单元的概略构成的框图。来自外部的交流(AlternatingCurrent, AC)输入由设置在控制单元的交流/直流(Alternating Current / DirectCurrent, AC / DC)转换器(converter) 40转换成DC输出(DC电压)。从AC / DC转换器40输出的DC电压被输入到DC / DC转换器41，且利用DC / DC转换器41产生电机M用的DC电压及磁力轴承用的DC电压。
[0088]电机M用的DC电压是输入到逆变器43。磁力轴承用的DC电压是输入到磁力轴承用的DC电源42。磁力轴承67、68、69构成五轴磁力轴承，且磁力轴承67、68各具有两对电磁铁46,磁力轴承69具有一对电磁铁46。从相对于五对电磁铁46即十个电磁铁46而设置的十个激励放大器(amplifier) 45单独地对该五对电磁铁46即十个电磁铁46供给电流。
[0089]控制部44是对电机及磁力轴承进行控制的数字(digital)运算器，且例如使用现场可编程门阵列(Field Programmable Gate Array,FPGA)等。控制部44对逆变器43输出用来对逆变器43中所含的多个开关元件进行开关控制的PWM控制信号441，且分别对各激励放大器45输出用来对各激励放大器45中所含的开关元件进行开关控制的PWM控制信号442。而且，对于控制部44如下所述地输入有关电机M的信号(有关相电压或相电流的信号)443。而且，对于控制部44输入有关磁力轴承的信号(激励电流信号或移位信号)444。
[0090]图3是表示有关电机M的电机驱动控制系统的图。电机驱动控制系统包括正弦波驱动控制部400及逆变器43。逆变器43包括多个开关元件SWl~开关元件SW6、及用来开关驱动开关元件SWl~开关元件SW6的栅极驱动(gate drive)电路4300。开关元件SWl~开关元件SW6中可使用金属氧化物半导体场效应晶体管(Metal-Oxide-SemiconductorField Effect Transistor, M0SFET)或绝缘栅双极型晶体管(Insulated Gate BipolarTransistor, IGBT)等功率半导体元件。另外，各开关元件SWl~开关元件SW6中并列连接着续流二极管(freewheeling diode)Dl~续流二极管D6。
[0091 ] 在电机定子10的U相线圈、V相线圈、W相线圈中流动的电流分别由电流侦测部50检测，且将作为检测结果的电流侦测信号通过低通滤波器(low-pass filter)409输入到控制部44的正弦波驱动控制部400。而且，U相线圈、V相线圈、W相线圈的各端子及中性点的电压由电压侦测部51进行检测，且将作为检测结果的电压侦测信号通过低通滤波器410输入到正弦波驱动控制部400。
[0092]正弦波驱动控制部400基于由低通滤波器409、410去除噪声的电流侦测信号及电压侦测信号，产生用来对开关元件SWl~开关元件SW6进行开关控制的PWM控制信号。栅极驱动电路4300基于PWM控制信号，产生栅极驱动信号，从而将开关元件SWl~开关元件SW6导通断开。由此，将调变为正弦波且经PWM化的电压分别施加至U相线圈、V相线圈、W相线圈。
[0093]本实施方式是基于电机电流侦测信号及电机电压侦测信号，估计转动速度、磁极位置。另外，在如本实施方式那样不具有检测电机转子11的转动位置的转动传感器的无传感器电机的情况下，通常基于电机电流侦测信号及电机电压侦测信号来估计转动速度、磁极位置。
[0094]图4是说明正弦波驱动控制部400的框图。虽也在图3中进行说明，但在电机M中流动的三相电流由电流侦测部50检测，且将经检测的电流侦测信号输入到低通滤波器409。另一方面，电机M的三相电压由电压侦测部51检测，且将经检测的电压侦测信号输入到低通滤波器410。
[0095]已通过低通滤波器409的电流侦测信号及已通过低通滤波器410的电压侦测信号分别被输入到转动速度?磁极位置估计部407。详情将在下文叙述，但转动速度?磁极位置估计部407是基于电流侦测信号及电压侦测信号来估计电机M的转动速度ω及磁极位置(电转角Θ)。另外，磁极位置是利用电转角Θ表示，所以，下面将磁极位置称作磁极电转角Θ。将所算出的转动速度ω输入到速度控制部401、Id、Iq设定部402、及等效电路电压转换部403。而且，将已算出的磁极电转角Θ输入到dq-两相电压转换部404。
[0096] 速度控制部401基于已输入的目标转动速度与估计的当前转动速度ω的差值，进行PI (proportion integral)控制(比例控制及积分控制)或者P (proportion)控制(比例控制)，且将电流指令I输出。详情将在下文叙述，但IcUIq设定部402基于电流指令I,设定转动坐标dq系中的电流指令Id、Iq。如图5所示,转动坐标dq系的d轴是将正在转动的电机转子11的N极设为正方向的坐标轴。q轴是相对于d轴超前90度所得的直角方向的坐标轴，且其朝向成为正转动时的反向电压方向。
[0097]等效电路电压转换部403使用基于由转动速度?磁极位置估计部407算出的转动速度ω及电机M的电子等效电路常数的下式(I)，将电流指令IcUIq转换成转动坐标dq系中的电压指令Vd，Vq。另外，等效电路分为电机线圈的电阻成分r及电感成分L。r、L的值是从电机规格等中获得，并且预先存储在存储部(未图示)。
[0098][数I]
【权利要求】
1.一种真空泵用电机驱动装置，其特征在于包括: 逆变器，具有多个开关元件，且驱动电机； 第一运算部，基于有关电机相电压的信息及有关电机相电流的信息，算出电机转子的转动速度及磁极电转角； 电流指令设定部，基于所述转动速度与目标转动速度的差值而设定转动坐标dq系中的d轴电流指令及q轴电流指令； 驱动指令产生部，基于所述d轴电流指令、所述q轴电流指令、所述转动速度及所述磁极电转角，产生正弦波驱动指令 '及 脉宽调制信号产生部，基于所述正弦波驱动指令，产生用来对所述多个开关元件进行开关控制的脉宽调制控制信号； 所述电流指令设定部是在泵启动时，当所述转动速度为表示正转动状态的正值时，设定加速驱动的所述q轴电流指令，当所述转动速度为表示逆转动状态的负值时，设定减速驱动的所述q轴电流指令。
2.根据权利要求1所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第一运算部包括: 反向电压运算部， 基于有关所述电机相电压的信息及有关所述电机相电流的信息，运算固定坐标α β系中的第一反向电压； 第一转换部，反馈输入有所述磁极电转角，且基于该磁极电转角，将所述第一反向电压转换为所述转动坐标dq系中的第二反向电压； 第二运算部，将所述第二反向电压的矢量相位角设为Ψ时，当所述转动速度为正时，以Ψ- π /2收敛为零的方式算出磁极相位偏差，当所述转动速度为负时，以Ψ+ π / 2收敛为零的方式算出所述磁极相位偏差； 第三运算部，基于所述第一反向电压，算出所述转动速度；及 第四运算部，算出由所述第三运算部算出的所述转动速度的积分值； 所述第一运算部将所述磁极相位偏差与所述积分值之和作为所述磁极电转角输出，所述电流指令设定部在所述转动速度为负时，将所述q轴电流指令设定为正，进行减速驱动。
3.根据权利要求1所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第一运算部包括: 反向电压运算部，基于有关所述电机相电压的信息及有关所述电机相电流的信息，运算所述固定坐标α β系中的所述第一反向电压； 第一转换部，反馈输入有所述磁极电转角，且基于该磁极电转角，将所述第一反向电压转换成所述转动坐标dq系中的所述第二反向电压； 第二运算部，将所述第二反向电压的所述矢量相位角设为Ψ时，以Ψ-η / 2收敛为零的方式算出所述磁极相位偏差； 第三运算部，基于所述第一反向电压，算出所述转动速度；及 第四运算部，算出由所述第三运算部算出的所述转动速度的积分值； 所述第一运算部将所述磁极相位偏差与所述积分值之和作为所述磁极电转角输出， 所述电流指令设定部在所述转动速度为负时，将所述q轴电流指令设定为负，进行减速驱动。
4.根据权利要求2或3所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第三运算部包括: 第二转换部，反馈输入有将所述和符号反转所算出的电转角，且基于该电转角，将所述第一反向电压转换成所述转动坐标dq系中的第三反向电压；及 转动速度运算部，基于所述第二反向电压的矢量成分相位、及所述第三反向电压的矢量成分相位，算出所述转动速度。
5.根据权利要求4所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述转动速度运算部基于以规定时间间隔获取的所述第二反向电压的所述矢量成分相位的差值与以所述规定时间间隔获取的所述第三反向电压的所述矢量成分相位的差值的平均值，算出所述转动速度。
6.根据权利要求4所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述转动速度运算部以规定时间间隔获取所述第二反向电压的所述矢量成分相位与所述第三反向电压的所述矢量成分相位的平均值，且基于以所述规定时间间隔获取到的所述平均值的差值，算出所述转动速度。
7.根据权利要求2或3所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第三运算部包括第三转换部，该第三转换部反馈输入有将所述转动速度进行积分所得的所述电转角，且基于该积分值 电转角，将所述第一反向电压转换成所述转动坐标dq系中的第四反向电压，且 所述第三运算部基于所述第四反向电压的所述矢量成分相位，算出所述转动速度。
8.根据权利要求2或3所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第三运算部基于由所述反向电压运算部运算所得的所述第一反向电压的所述矢量成分相位，算出所述转动速度。
9.根据权利要求1所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第一运算部包括: 反向电压运算部，基于有关所述电机相电压的信息及有关所述电机相电流的信息，运算所述固定坐标dP系中的所述反向电压成分Ea、Εβ ； 磁极电转角运算部，基于所述反向电压成分Ea、Εβ，算出所述磁极电转角；及 转动速度运算部，基于由所述磁极电转角运算部算出的所述磁极电转角，算出所述转动速度； 所述磁极电转角运算部在所述磁极电转角设为Θ时，当从所述转动速度运算部反馈输入的所述转动速度为正时，通过QztarT1 (-E a / E β )算出所述磁极电转角，当从所述转动速度运算部反馈输入的所述转动速度为负时，通过eztarTHEa / -E β )算出所述磁极电转角， 所述电流指令设定部在所述转动速度为负时，将所述q轴电流指令设定为正，进行减速驱动。
10.根据权利要求1所述的真空泵用电机驱动装置，其特征在于其中所述第一运算部包括: 反向电压运算部，基于有关所述电机相电压的信息及有关所述电机相电流的信息，运算所述固定坐标α β系中的所述反向电压成分Ea、Εβ ； 磁极电转角运算部，将所述磁极电转角设为Θ时，通过Θ ZtarT1 (-E a / Εβ)算出所述磁极电转角；及 转动速度运算部，基于由所述磁极电转角运算部算出的磁极电转角，算出所述转动速度； 所述电流指令设定部在所述转动速度为负时，将所述q轴电流指令设定为负，进行减速驱动。
11.一种真空泵，其特征在于包括: 泵转子，形成有排气功能部； 电机， 将所述泵转子转动驱动；及 根据权利要求1至10中任一项所述的真空泵用电机驱动装置，驱动所述电机。
【文档编号】F04D19/04GK103973184SQ201310671260
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2013年12月11日 优先权日:2013年1月28日
【发明者】小崎纯一郎 申请人:株式会社岛津制作所