一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵的制作方法

本实用新型涉及单晶硅加工用具技术领域，具体是一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵。

背景技术：
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水环真空泵内装有带固定叶片的偏心转子，是将水(液体)抛向定子壁，水(液体)形成与定子同心的液环，液环与转子叶片一起构成可变容积的一种旋转变容积真空泵，在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用，单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，水环真空泵是单晶硅生产加工的用具之一。

经检索，中国专利公开了一种真空泵加装压缩制冷装置(授权公告号CN201739234U)，该专利技术加装压缩制冷装置的积极效果在于预防密封水汽化状况的发生，也保证了水环真空的良好工作状态和寿命，使得发电机组真空泵冷却工作模式进入良性运转，经济性能提升，但是，现有技术中的水环真空泵冷却装置不仅结构复杂，而且实用性较差，不能对吸气口进行过滤，容易吸附杂质及灰尘，由于吸入气体时，压差非常大，吸气速度极快，固体杂质会高速撞向叶轮的叶片，对叶片造成极大的伤害，同时易受化学气体腐蚀，降低设备使用寿命，而且设备工作过程中噪音较大，稳定性较差。因此，本领域技术人员提供了一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：
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本实用新型的目的在于提供一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，以解决上述背景技术中提出的水环真空泵冷却装置不仅结构复杂，而且实用性较差，不能对吸气口进行过滤，容易吸附杂质及灰尘，由于吸入气体时，压差非常大，吸气速度极快，固体杂质会高速撞向叶轮的叶片，对叶片造成极大的伤害，同时易受化学气体腐蚀，降低设备使用寿命，而且设备工作过程中噪音较大，稳定性较差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，包括水环真空泵本体，所述水环真空泵本体的底部固定安装有固定座，且水环真空泵本体的一侧设置有制冷水箱，所述固定座的内部安装有减震器，且固定座的上表面设置有压缩泵，所述压缩泵的一侧安装有驱动电机，所述压缩泵的顶部设置有吸气口，且压缩泵的顶部位于吸气口的一侧位置处设置有排气口，所述吸气口的顶部安装有过滤器，所述制冷水箱与压缩泵的连接处安装有进水管。

作为本实用新型进一步的方案：所述过滤器的内部安装有过滤网，所述过滤网是一种活性炭材质的构件，且过滤网呈蜂窝状结构。

作为本实用新型再进一步的方案：所述制冷水箱包括注液口、树脂粒子、半导体导冷片、半导体制冷片和散热器，所述制冷水箱的顶部设置有注液口，且制冷水箱的内部设置有树脂粒子，所述制冷水箱的底部安装有半导体导冷片，所述半导体导冷片的底端安装有半导体制冷片，所述半导体制冷片的底部设置有散热器。

作为本实用新型再进一步的方案：所述减震器包括螺栓、阻尼片、防滑橡胶垫、弹簧和橡胶摩擦垫，所述减震器的顶部嵌入安装有螺栓，且减震器的底部设置有橡胶摩擦垫，所述螺栓的下方设置有阻尼片，所述阻尼片的下表面安装有防滑橡胶垫，所述橡胶摩擦垫的上端安装有弹簧。

作为本实用新型再进一步的方案：所述制冷水箱与压缩泵通过进水管贯通连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述减震器共设置有四个，且四个减震器呈矩形安装在固定座的内部。

作为本实用新型再进一步的方案：所述散热器与半导体导冷片固定连接，所述半导体制冷片安装在半导体导冷片与散热器的中间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过过滤器，能够对吸气口吸入的气体进行过滤净化，利用过滤网吸附其中的固体颗粒及腐蚀气体，使设备处于一个较为安全的环境下工作，降低设备工作过程中的腐蚀及硬性撞击现象，延长水环真空泵的使用寿命。

2、本实用新型通过制冷水箱，能够利用半导体制冷片和半导体导冷片对箱体中的水进行降温处理，半导体制冷片制冷过程产生的热量由散热器对外排出，从而降低制冷水箱中水体的温度，实现水环真空泵工作水的冷却。

3、本实用新型通过制冷水箱内部设置的树脂粒子，能够吸附硬水中的矿物质，实现硬水的软化过程，防止水环真空泵长期使用后内部积聚水垢的现象，提高设备的防腐性能，同时通过向制冷水箱中添加盐水，即可将树脂粒上吸附的矿物杂质再生还原。

4、本实用新型通过减震器，能够达到一定的减震降噪效果，降低设备工作过程中产生的噪音污染，同时增加水环真空泵的稳定性。

附图说明：

图1为一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵的结构示意图；

图2为一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵中过滤器的结构示意图；

图3为一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵中制冷水箱的结构示意图；

图4为一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵中减震器的结构示意图。

图中：1、水环真空泵本体；2、固定座；3、减震器；4、压缩泵；5、驱动电机；6、制冷水箱；7、吸气口；8、过滤器；9、排气口；10、进水管；11、过滤网；12、注液口；13、树脂粒子；14、半导体导冷片；15、半导体制冷片；16、散热器；17、螺栓；18、阻尼片；19、防滑橡胶垫；20、弹簧；21、橡胶摩擦垫。

具体实施方式：

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种单晶硅加工用具有冷却装置的水环真空泵，包括水环真空泵本体1，水环真空泵本体1的底部固定安装有固定座2，且水环真空泵本体1的一侧设置有制冷水箱6，固定座2的内部安装有减震器3，且固定座2的上表面设置有压缩泵4，压缩泵4的一侧安装有驱动电机5，压缩泵4的顶部设置有吸气口7，且压缩泵4的顶部位于吸气口7的一侧位置处设置有排气口9，吸气口7的顶部安装有过滤器8，制冷水箱6与压缩泵4的连接处安装有进水管10。

在图2中：过滤器8的内部安装有过滤网11，过滤网11是一种活性炭材质的构件，且过滤网11呈蜂窝状结构，为了对吸入的固体颗粒及杂质进行过滤。

在图3中：制冷水箱6包括注液口12、树脂粒子13、半导体导冷片14、半导体制冷片15和散热器16，制冷水箱6的顶部设置有注液口12，且制冷水箱6的内部设置有树脂粒子13，制冷水箱6的底部安装有半导体导冷片14，半导体导冷片14的底端安装有半导体制冷片15，半导体制冷片15的底部设置有散热器16，为了到达制冷水箱6的制冷效果，实现设备的自动冷却功能。

在图4中：减震器3包括螺栓17、阻尼片18、防滑橡胶垫19、弹簧20和橡胶摩擦垫21，减震器3的顶部嵌入安装有螺栓17，且减震器3的底部设置有橡胶摩擦垫21，螺栓17的下方设置有阻尼片18，阻尼片18的下表面安装有防滑橡胶垫19，橡胶摩擦垫21的上端安装有弹簧20，为了达到一定的减震降噪效果，增加设备的稳定性。

在图1中：制冷水箱6与压缩泵4通过进水管10贯通连接，为了实现制冷水箱6与压缩泵4的连接。

在图1中：减震器3共设置有四个，且四个减震器3呈矩形安装在固定座2的内部，为了实现减震降噪的效果。

在图3中：散热器16与半导体导冷片14固定连接，半导体制冷片15安装在半导体导冷片14与散热器16的中间，为了实现制冷水箱6对水体制冷的功能。

本实用新型的工作原理是：首先，通过过滤器8对吸气口7吸入的气体进行过滤净化，利用过滤网11吸附其中的固体颗粒及腐蚀气体，使设备处于一个较为安全的环境下工作，降低设备工作过程中的腐蚀及硬性撞击现象，延长水环真空泵的使用寿命，然后，通过制冷水箱6能够利用半导体制冷片15和半导体导冷片14对箱体中的水进行降温处理，半导体制冷片15制冷过程产生的热量由散热器16对外排出，从而降低制冷水箱6中水体的温度，实现水环真空泵工作水的冷却，进一步的，通过制冷水箱6内部设置的树脂粒子13，能够吸附硬水中的矿物质，实现硬水的软化过程，防止水环真空泵长期使用后内部积聚水垢的现象，提高设备的防腐性能，同时通过向制冷水箱6中添加盐水，即可将树脂粒子13吸附的矿物杂质再生还原，实现持续工作，最后，通过减震器3能够达到一定的减震降噪效果，降低设备工作过程中产生的噪音污染，同时增加水环真空泵的稳定性。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。