一种罗茨螺杆真空机组的制作方法

本实用新型涉及真空机组技术领域，尤其涉及一种罗茨螺杆真空机组。

背景技术：

随着化工、制药行业的溶剂回收和半导体与微电子行业等高新产品的真空处理工艺需求的快速增长。传统的一种真空泵无法满足越来越复杂的生产过程中的真空需要，需要安装多组真空泵，把不同功能的真空泵加以组合改造，形成一个联合真空机组，就可集不同真空泵的优点为一身，提供多功能的真空需要。

螺杆真空泵主要应用于高纯净的真空工艺过程,真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适宜于洁净环境，且易做防腐处理，它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。

罗茨真空泵，是目前获得中、高真空泵的主要抽气设备之一，最大优点是在较低入口压强下具有较高的抽气速率，而且可以达到相对高的极限真空，该泵运行性能稳定，使用寿命长，维护费用小。

本实用新型将螺杆真空泵与罗茨真空泵联合改造，得到一种真空机组，集螺杆真空泵与罗茨真空泵的优点于一身，既可以进行高真空精馏，又能实现溶剂的回收、物料的运转。可满足一个车间的多种真空需求，既高效又环保节能。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种结构简单、成本低廉、低噪音、真空度高、功能多样、高校环保的罗茨螺杆真空机组。

为实现上述目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

本实用新型的有益效果：一种罗茨螺杆真空机组，包括螺杆真空泵、一级罗茨真空泵、二级罗茨真空泵、控制柜，其特征在于：所述一级罗茨真空泵的出气口通过管路连通至二级罗茨真空泵的进气口，所述二级罗茨真空泵的出气口经管路连通至螺杆真空泵的进气口，所述螺杆真空泵的出气口对外排气；所述一级罗茨真空泵和二级罗茨真空泵为气体循环冷却式罗茨真空泵；所述螺杆真空泵通入循环水降温，循环水回水加装水流开关与真空泵联锁，形成内部水循环降温系统；所述控制柜控制整个真空机组的开关，电机为低耗电变频电机。

进一步地，所述一级罗茨真空泵的进气口前安装有过滤器和压差变送器，所述压差变送器连接有真空表。

进一步地，所述二级罗茨真空泵和螺杆真空泵之间的管路上串联有冷却器、温度变送器。

进一步地，所述螺杆真空泵的出气口上安装有尾气回收捕集装置和消声器，所述尾气回收捕集装置包括壳体、冷凝管、旋风导流板、过滤网、不锈钢接收罐。

附图说明

图1为本实用新型的一种罗茨螺杆真空机组的工艺流程图。

图中：1、螺杆真空泵，2、一级罗茨真空泵，3、二级罗茨真空泵，4、过滤器，5、压差变送器，6、冷却器，7、温度变送器，8、尾气回收捕集装置，9、消声器，10、真空表。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步地详细描述，但该实施例不应该理解为对本实用新型的限制，仅作举例而已，同时通过说明，本实用新型的优点将变得更加清楚和容易理解。

一种罗茨螺杆真空机组，包括螺杆真空泵1、一级罗茨真空泵2、二级罗茨真空泵3、控制柜。一级罗茨真空泵2的出气口通过管路连通至二级罗茨真空泵3的进气口，二级罗茨真空泵3的出气口经管路连通至螺杆真空泵1的进气口，螺杆真空泵1的出气口对外排气。一级罗茨真空泵2和二级罗茨真空泵3为气体循环冷却式罗茨真空泵。螺杆真空泵1通入循环水降温，循环水回水加装水流开关与真空泵联锁，形成内部水循环降温系统，不需要外部的加水补水装置，实现节能减排。

控制柜控制整个真空机组的开关，电机为低耗电变频电机。

一级罗茨真空泵2的进气口前安装有过滤器4和压差变送器5, 压差变送器5连接有真空表10。二级罗茨真空泵3和螺杆真空泵1之间的管路上串联有冷却器6、温度变送器7。

螺杆真空泵1的出气口上安装有尾气回收捕集装置8和消声器9，尾气回收捕集装置8包括壳体、冷凝管、旋风导流板、过滤网、不锈钢接收罐。可将被抽气体中的颗粒物进行二次过虑，并将可凝性气体冷凝成液体并回收，这样可以阻止有毒有害气体的直接排放。剩余的空气经过消声器9降噪后再排放到大气中。

本实用新型的一种罗茨螺杆真空机组集螺杆真空泵1和罗茨真空泵的优点于一身，既可以进行高真空精馏，又能实现溶剂的回收、物料的运转。结构简单、成本低廉、低噪音、真空度高、功能多样、高效环保。