一种电子级化学品生产用压缩空气系统的制作方法

本申请涉及电子级化学品生产，具体为一种电子级化学品生产用压缩空气系统。

背景技术：

1、某厂主要生产电子级超纯双氧水，超纯双氧水属于新材料精细化学品其中的电子化学品领域，主要应用于半导体芯片生产中的工艺间清洗，去除晶圆芯片表面有机和水性杂质。在大规模生产电子级超纯双氧水过程中，通过应用于dcs对各种阀门管道进行工艺控制，使我们的程序组态科学而高效，生产过程稳定和易操作。其中常规手段是通过压缩空气作为动力驱动气动阀门，达到控制气动阀门的目的。

2、通过空气压缩机进行压缩空气，但是由于空气中存在杂质及水蒸气，压缩空气时会产生液态水，当其中液体水积累过多后堵塞罐体或管道，会影响压缩空气的制造及输送，甚至会导致液体水沿管道进入到各种阀门管道内，造成阀门管道的损坏。因此，需要及时过滤排出压缩空气中的杂质及水分，从而避免杂质和水分随压缩空气流入各种气动阀门中而造成设备损坏。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种电子级化学品生产用压缩空气系统，以在至少一定程度上解决上述背景技术中存在的技术问题。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种电子级化学品生产用压缩空气系统，包括有用于压缩空气的空气压缩机和储气罐，其中所述空气压缩机的保存压缩空气的空气罐与所述储气罐的连通，包括有：

3、输水管，所述空气压缩机的空气罐底部设置有第一排污口，所述储气罐的底部设置有第二排污口，所述输水管分别与所述第一排污口和所述第二排污口连通，用于输送所述空气罐和所述储气罐内液体；

4、第一定时排水阀，设置在所述输水管与所述第一排污口连通的管道上；

5、第二定时排水阀，设置在所述输水管与所述第二排污口连通的管道上；

6、第一过滤器，与所述储气罐的出气端连通。

7、更进一步的，所述压缩空气系统还包括有真空冷冻干燥机，所述真空冷冻干燥机的进气端与所述第一过滤器的出气端连通。

8、更进一步的，所述真空冷冻干燥机底部设置有第三排污口，且所述第三排污口与所述输水管连通，所述第三排污口与所述输水管连通管道上设置有第三定时排水阀。

9、更进一步的，所述压缩空气系统还包括有吸附式干燥机，所述吸附式干燥机与所述真空冷冻干燥机的出气端连通。

10、更进一步的，所述吸附式干燥机底部设置有第四排污口，且所述第四排污口与所述输水管连通，所述第四排污口与所述输水管连通管道上设置有第四定时排水阀。

11、更进一步的，所述真空冷冻干燥机与所述吸附式干燥机之间连通管道上设置有第二过滤器。

12、更进一步的，所述吸附式干燥机的出口端侧连通设置有第三过滤器，再次使得压缩空气通过过滤器，从而充分去除压缩空气中的杂质。

13、更进一步的，所述第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器的过滤孔径逐渐减小设置，从而对空气压缩机产生的压缩空气中的颗粒杂质从大到小逐渐过滤去除，使得颗粒杂质去除更彻底，进而压缩空气中杂质少。

14、与现有技术相比，本申请的有益效果至少包括：

15、由于本申请所提供的一种电子级化学品生产用压缩空气系统，包括有用于压缩空气的空气压缩机、储气罐、第一定时排水阀、第二定时排水阀和第一过滤器，其中空气压缩机的保存压缩空气的空气罐与储气罐的连通，空气压缩机的空气罐底部设置有第一排污口，储气罐的底部设置有第二排污口，输水管分别与第一排污口和所述第二排污口连通，用于输送空气罐和储气罐内液体；其中第一定时排水阀设置在输水管与第一排污口连通的管道上；第二定时排水阀设置在输水管与第二排污口连通的管道上；第一过滤器与储气罐的出气端连通。本压缩空气系统通过输水管及时排出压缩空气内的液体水，从而有效避免液体水堵塞罐体及管道，同时通过设置第一定时排水阀和第二定时排水阀起到自动排水的作用；同时在储气罐出气侧设置第一过滤器，起到过滤压缩空气中颗粒杂质的作用。

技术特征：

1.一种电子级化学品生产用压缩空气系统，包括有用于压缩空气的空气压缩机(1)和储气罐(2)，其中所述空气压缩机(1)的保存压缩空气的空气罐(1-1)与所述储气罐(2)连通，其特征在于，包括有：

2.根据权利要求1所述的一种电子级化学品生产用压缩空气系统，其特征在于，所述真空冷冻干燥机(3)底部设置有第三排污口(15)，且所述第三排污口(15)与所述输水管(8)连通，所述第三排污口(15)与所述输水管(8)连通的管道上设置有第三定时排水阀(11)。

3.根据权利要求2所述的一种电子级化学品生产用压缩空气系统，其特征在于，所述吸附式干燥机(4)底部设置有第四排污口(16)，且所述第四排污口(16)与所述输水管(8)连通，所述第四排污口(16)与所述输水管(8)连通管道上设置有第四定时排水阀(12)。

技术总结
本申请公开一种电子级化学品生产用压缩空气系统，属于电子级化学品生产技术领域。包括空气压缩机、储气罐、第一定时排水阀、第二定时排水阀和第一过滤器，空气压缩机的空气罐与储气罐连通，空气罐底部设置第一排污口，储气罐的底部设置第二排污口，输水管分别与第一排污口和所述第二排污口连通；其中第一定时排水阀设置在输水管与第一排污口连通的管道上；第二定时排水阀设置在输水管与第二排污口连通的管道上；第一过滤器与储气罐的出气端连通。本压缩空气系统通过输送管及时排出压缩空气内的液体水，从而有效避免液体水堵塞罐体及管道，第一定时排水阀和第二定时排水阀起到自动排水的作用；其中第一过滤器起到过滤空气中颗粒杂质的作用。

技术研发人员：杨俊健
受保护的技术使用者：达诺尔（湖北）微电子材料有限公司
技术研发日：20231008
技术公布日：2024/5/9