一种pump监测方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及一种PUMP监测方法及装置。
【背景技术】
[0002]在集成电路的制造中，LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposit1n,低压化学气相沉积)炉管广泛应用于当前国内集成电路生产线。LPCVD炉管中气体流量、温度、持续时间等条件将直接影响到产品的良率，尤其是LPCVD炉管中的低压环境，一旦低压环境遭到破坏将会导致产品的最终相关参数超出设计范围而报废。
[0003]现有技术中，通常通过PUMP (泵)来制造并维持低压环境。在实际运行过程中，PUMP的老化、保养不佳等不确定因素影响，会导致PUMP在运行过程中存在异常，甚至跳电。而通常技术人员是无法发现PUMP的运行是否稳定。当发现PUMP已跳电的时候，产品只能返工或报废，设备人员需要花费大量的时间才能使机台恢复，从而导致人力物力浪费。
[0004]可见，现有技术中存在无法监测PUMP运行状态的技术问题。
【发明内容】
[0005]本发明实施例提供一种PUMP监测方法及电子设备，用于实现对PUMP运行状态的监测，减少PUMP跳电的概率。
[0006]本申请实施例提供一种PUMP监测方法，所述方法包括:
[0007]通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；
[0008]根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息。
[0009]可选的，所述根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息，具体包括:
[0010]判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；
[0011]当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息。
[0012]可选的，在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，所述方法还包括:
[0013]检测是否存在复位操作；
[0014]若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；
[0015]若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。
[0016]可选的，所述根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运行状态的指示信息，具体包括:
[0017]判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；
[0018]当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；
[0019]当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；
[0020]当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。
[0021]可选的，在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，所述方法还包括:
[0022]检测是否存在复位操作；
[0023]若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；
[0024]若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。
[0025]本申请实施例还提供一种PUMP监测装置，所述装置包括:
[0026]输出单元，用于根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP当前运检测单元，用于通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；
[0027]行状态的指示信息。
[0028]可选的，所述输出单元包括:
[0029]第一判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于一上限电流值，获得第一判断结果；
[0030]第一输出子单元，用于当所述第一判断结果表明所述当前电流值大于所述上限电流值时，输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息。
[0031]可选的，所述输出单元还用于:
[0032]在所述输出用于表征所述当前电流值高于所述上限电流值的第一指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第一指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第一指示信息。
[0033]可选的，所述输出单元还包括:
[0034]第二判断子单元，用于判断所述当前电流值是否大于零，获得第二判断结果；
[0035]第二输出子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值不大于零时，输出用于表征所述PUMP跳电的第二指示信息；
[0036]第三判断子单元，用于当所述第二判断结果表明所述当前电流值大于零时，判断所述当前电流值是否小于下限电流值，获得第三判断结果；
[0037]第三输出子单元，用于当所述第三判断结果表明所述当前电流值小于所述下限电流值时，输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息。
[0038]可选的，所述输出单元还用于:
[0039]在所述输出用于表征所述当前电流值低于所述下限电流值的第三指示信息之后，检测是否存在复位操作；若存在所述复位操作，停止输出所述第三指示信息；若不存在所述复位操作，持续输出所述第三指示信息。
[0040]本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果:
[0041]通过电流互感器检测获得PUMP运行时的当前电流值，根据PUMP的当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，从而提示技术人员PUMP的当前运行状态，以便于技术人员尽早的发现PUMP的异常情况从而及时的进行修复，进而减少PUMP跳电的概率。
【附图说明】
[0042]图1为本申请实施例一提供的一种PUMP监测方法的流程示意图；
[0043]图2为本申请实施例一提供的电流互感器监测电路示意图；
[0044]图3为本申请实施例一提供的根据当前电流值输出指示信息的流程图；
[0045]图4为本申请实施例一提供的PUMP指示信息输出的电路示意图；
[0046]图5为本申请实施例一提供的指示信息输出的示例示意图；
[0047]图6为本申请实施例二提供的一种装置的结构方框图。
【具体实施方式】
[0048]在本申请实施例提供的技术方案中，通过电流互感器对PUMP运行时的电流值进行检测，并根据检测获得的电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息，以帮助技术人员了解PUMP的运行状态并在其出现异常时进行修改，进而减少PUMP跳电的概率。
[0049]下面结合附图对本申请实施例技术方案的主要实现原理、【具体实施方式】及其对应能够达到的有益效果进行详细的阐述。
[0050]实施例一
[0051]请参考图1，本申请实施例提供一种PUMP监测方法，该方法包括:
[0052]SlOl:通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值；
[0053]S102:根据所述当前电流值，输出用于表征所述PUMP的当前运行状态的指示信肩、O
[0054]在具体实施过程中，PUMP的电流大小是PUMP运行状况真实直观的反应，因此在PUMP运行时执行SlOl通过电流互感器检测获得PUMP的当前电流值。电流互感器能够在不接入PUMP电路的情况下，通过电磁感应原理检测获得PUMP运行时的当前电流值，避免检测电路对PUMP的运行造成不必要的影响。具体的，可以采用穿心式电流互感器来检测获得PUMP的当前电流值。请参考图2，将PUMP的线路穿过穿心式电流互感器，并将穿心式电流互感器的输入输出端接入一电流表，从而实现对PUMP的当前电流值的检测，其中，电流表可以选择I秒至少采集一次电流的四位双显示电流表，以更准确的检测获得PUMP的当前电流值。
[0055]在SlOl检测获得PUMP的当前电流值时，进一步执行S102根据该当前电流值输出用于表征PUMP当前运行状态的指示信息。具体的，表征PUMP当前运行状态的指示信息可以是当前电流值；也可以是当前电流值对应的运行状态如运行异常、运行正常、运行不稳定等；还