专利名称：滑动装置及测量机的制作方法
技术领域：
本发明涉及滑动装置及测量机。
背景技术：
以往，对滑动装置有所公开(例如，文献1日本特开2002-299893号公报、文献2日本特开2003-172350号公报、文献3日本特开平9-166137号公报、文献4日本特开2003-311574号公报)。
在图7中揭示了现有技术的滑动装置。
滑动装置900包括上表面具平面的长方形的底座部910、沿底座部910的长度方向往复移动的移动座920、对移动座920的移动方向进行导向的导向机构930、驱动移动座920的驱动装置940。
导向机构930包括在底座部910的上表面上相互平行地铺设的两根导轨931、932；分别骑在导轨931、932上、并在导轨931、932上滑动的滑动部件933、934。滑动部件933、934安装于移动座920的下表面上，通过使这些滑动部件933、934沿导轨931、932滑动，来对移动座920的移动方向进行导向。
驱动组件940包括配设于两根导轨931、932之间、且与导轨931、932平行的齿条941；与齿条941啮合的小齿轮942、旋转驱动小齿轮942的电动机943。
电动机943安装固定于移动座920上，小齿轮942直接与电动机943的转子连结。
其中，齿条941的齿面设置于齿条941的一侧面(与任何一方的导轨相对的面)上，小齿轮942的旋转轴方向为与底座部910的上表面垂直的方向。
在该构造中，当发动机943进行旋转驱动时，小齿轮942被旋转驱动。于是，小齿轮942通过与齿条941的啮合而沿齿条941移动。而且，伴随着小齿轮942的移动，移动座920与电动机943一起移动。此时，移动座920沿导轨931、932滑动，从而，移动座920的移动方向被沿导轨931、932的方向导向。
在现有技术中，底座部910与移动座920由同样的材质形成，例如，移动座920和底座部910均由热变形较小的低热膨胀性材料形成。
然而，近年来，人们期望移动座920的运动高速化，为了实现这种高速化，需要用轻质材料来形成移动座920。而且，若使用轻质材料形成移动座920，则由于移动座920与底座部910的材质不同，所以会产生当温度变化时移动座920与底座部910之间的热膨胀量有差异的问题。
特别是，若在宽度方向上移动座920与底座部910的热膨胀量不同，则由于与导轨931、932正交的方向的力作用于导轨931、932上，所以在导轨931、932及滑动部件933、934上作用有压力，因而会产生导向机构930(导轨、滑动部件)的耐久性及几何精度受损的问题。进而会产生移动座920的移动精度也被降低的问题。
发明内容
本发明的主要目的在于，提供一种滑动装置及测量机，该滑动装置及测量机的移动座的运动精度得到提高的同时、其耐久性也可得到提高，从而其精度得以维持。
本发明的滑动装置，其特征在于包括底座部；移动座，该移动座设置上述底座部上，可相对于上述底座部滑动；主导向机构，该主导向机构的导向方向是作为上述移动座的移动方向的第1方向；副导向机构，该副导向机构能向与上述第1方向不同的第2方向位移，上述主导向机构包括两根或两根以上的主导轨，这些主导轨沿上述第1方向配设于上述底座部上，各主导轨之间基本相互平行；主滑动部件，该主滑动部件分别在上述主导轨上滑动；在上述移动座上配设有在上述主导轨中的任意一根上滑动的上述主滑动部件，且在上述移动座与其他主滑动部件之间夹设有上述副导向机构。
在该构造中，移动座的移动方向由在任意一根主导轨上滑动的主滑动部件导向。
在此，当移动座的变形量与底座部变形量产生差别时，通过使副导向机构容许并吸收该变形量之差来吸收移动座与底座部的变形量之差。这样，移动座与底座部的变形量之差不会作用到主导轨上，因此不会损伤主导轨机构，从而提高了主导向机构的耐久性的同时维持了其几何精度。从而可提高移动座的移动精度。
另外，由于产生于移动座与底座部之间的变形量之差被容许，所以，例如能够用轻质材料(例如铝合金)等形成移动座，从而能够使移动座的高速化得以实现。
另外，即使在主导轨的平行度不精密的情况下，也由于能够由副导向机构吸收主导轨之间的间隔差异，所以即使在主导轨的平行度不精密的情况下也能维持移动座的移动精度。其结果，能够降低部件精度或安装精度，从而能够降低部件成本或组装成本。
在本发明中，上述副导向机构最好是包括副导轨，该副导轨配设于除了在上述主导轨中任意一根上滑动的主滑动部件之外的其他主滑动部件上，且沿与上述第1方向不同的第2方向；副滑动部件，该副滑动部件分别在上述副导轨上滑动。
在此，副滑动部件安装于移动座上。
采用该构造，通过使副滑动部件在副导轨上滑动，能够容许移动座与底座部的变形量之差，从而能够防止压力作用于主导向机构上。
其中，第2方向相对于第1方向的夹角可为任意角度，但最好是投影于底座部上的上述第2方向相对于投影于底座部上的上述第1方向大致正交。采用该构造，沿与主导轨正交方向的压力由副导向机构吸收。
本发明的测量机包括测量部，该测量部具有检测部，该检测部由上述移动座带着移动、通过对被测量物表面进行扫描来检测被测量物；位置检测机构，该位置检测机构用于检测上述检测部的坐标位置。
采用这种构造，能够获得与上述发明同样的作用效果。而且由于滑动装置的滑动精度高，所以能够高精度地测量被测量物。
图1是本发明的测量机的一实施方式的测量机的整体图。
图2是上述实施方式的将基盖卸下后的状态下的移动部及底座部的放大图。
图3是上述实施方式中的驱动单元的局部图。
图4是在上述实施方式中从图3中的IV方向看驱动单元的局部图。
图5是在上述实施方式中从移动座的移动方向看导向机构的局部图。
图6是上述实施方式中的移动部的俯视图。
图7是表示现有技术的滑动装置的图。
具体实施例方式
以下，参照附图和在图中各要素上标注的附图标记对本发明的实施方式进行说明。
参照图1～图6对本发明的一实施方式进行说明。
图1为测量机的整体图。图2是处于将座盖卸下状态的移动部及底座部的放大图。图3是驱动单元的局部图，图4是从图3中的IV方向看驱动单元的局部图。图5是从移动座的移动方向看导向机构的局部图。图6是移动部的俯视图。
作为本发明的测量机的三座标测量机100包括长方形的底座部200；移动部800，该移动部800设置成能够沿底座部200的长度方向往复移动；测量部700，该测量部700随着移动部800一起移动、用于对被测量物进行测量(参照图1、图2)。
底座部200包括基台部210、在其与基台部210之间间隔形成收纳空间250的座罩220、封闭底座部200的两端面的端板部230、230。
基台部210是大致长方体形状，其长度较长，上表面为平面。为了不使基台部210产生热变形，例如，由低热膨胀性的材料来形成该基台部210。
在基台部210的上表面上，设置有沿基台部210的长度方向延伸、并与基台部210同长度的3根台座211、212、213，这些台座211、212、213之间间隔开规定间隔。从基台部210的一侧边缘起依次配置台座211、台座212、台座213。
座罩220包括与基台部210的上表面大致相同形状的顶板部224、从顶板部224的两侧边缘弯曲形成的侧板部225，该座罩220设置于基台部210的上表面侧，且在其与基台部210的上表面之间间隔出预定的收纳空间250。
在顶板部224上开口形成有3条狭缝221、222、223，该3条狭缝221、222、223沿顶板部224的长度方向延伸，其长度与顶板部224的长度相同。其中，狭缝221、222、223各自的位置与台座211、212、213的位置大致对应。
移动部800包括沿底座部200的长度方向往复移动的移动座300、对移动座300的移动方向进行导向的导向机构400、驱动移动座300的驱动单元500、将驱动单元500连结于移动座300上的连结机构600。
接下来对移动座300进行说明。
移动座300包括移动座主体330、移动座罩321(参照图1)、高台部310。
移动座主体330整体形成为大致扁平长方体形状。移动座主体330在基盖220上移动，测定部700竖立设置于移动座主体330的上表面上。
而且，移动座主体330具有俯视呈矩形状的凹部320(参照图6)，该凹部320是从移动座主体330的一端面的大致中央以规定宽度朝向移动座主体330的中心切槽而成的，移动座盖321被设置成覆盖凹部320。
高台部310沿移动座主体330的两侧边缘立设于下表面上。在此，从移动座主体330的一侧边缘侧竖立设置高台311，从移动座的另一侧边缘侧竖立设置高台312。
在此，当移动座主体330在座罩220的上表面上移动时，高台部310(高台311、312)插入座罩220的狭缝221、223中，其下端位于底座部200内的收纳空间250中。
为了谋求轻量化，例如用铝合金等形成移动座300。
接下来对导向机构400进行说明。
导向机构400配设于底座部200内的收纳空间250内。
导向机构400包括主导向机构410，该主导向机构410沿底座部200的长度方向(第1方向，移动座的移动方向)导向；副导向机构450，该副导向机构450沿与底座部200的长度方向正交的方向(第2方向，与主导向机构410的导向方向正交的方向)导向(参照图2、图5、图6)。
其中，严密地说，主导向机构410的导向方向与副导向机构450的导向方向并未交叉(严密地说，是位于立体交叉的位置上)，说明书中所说的主导向机构410的导向方向与副导向机构450的导向方向交叉或正交是指各方向分别在基台部210的上表面上投影的方向交叉。
主导向机构410包括主导轨420，该主导轨420沿基台部210的长度方向配设于基台部210上表面上；主滑动部件430，该主滑动部件430在主导轨420上滑动。
主导轨420包括第1主导轨421，该第1主导轨421配设于基台部210的一侧边缘侧；第2主导轨422，该第2主导轨422配设于基台部210另一侧边缘侧的台座213的上表面上。
主滑动部件430为截面呈コ字状的部件，其骑在主导轨420上。
主滑动部件430包括在第1主导轨421上滑动的第1主滑动部件431和第2主滑动部件432、在第2主导轨422上滑动的第3主滑动部件433和第4主滑动部件434。
第1主滑动部件431及第2主滑动部件432通过副导向机构450与高台部310的下端连结。在这里，在移动座300的下表面侧，第1主滑动部件431配置于其一端侧，第2主滑动部件432配置于其另一端侧。
第3主滑动部件433安装固定于高台312的一端侧，第4主滑动部件434安装固定于高台312的另一端侧。
副导向机构450包括副导轨460，该副导轨460沿与主导向机构410的导向方向大致正交的方向分别配设于第1主滑动部件431及第2主滑动部件432的上表面上；副滑动部件470，该副滑动部件470在副导轨460上滑动。
副导轨460包括配设于第1主滑动部件431的上表面上的第1副导轨461、配设于第2主滑动部件432的上表面上的第2副导轨462。
副滑动部件470为截面呈コ字状的部件，其骑在副导轨460(第1副导轨461、第2副导轨462)上，副滑动部件470包括在第1副导轨461上滑动的第1副滑动部件471、和在第2副导轨462上滑动的第2副滑动部件472。
在此，第1副滑动部件471安装固定于高台311的一端侧，第2副滑动部件472安装固定于高台311的另一端侧。
接下来对驱动单元500进行说明。
驱动单元500包括沿基台部210的长度方向配设的齿条510、与齿条510啮合的小齿轮520、摆动支承小齿轮520的摆动支承组件530、旋转驱动小齿轮520的旋转驱动单元560、朝向齿条510对小齿轮520施加力的加力机构570(参照图2、图3、图4)。
齿条510固定于台座212上，该齿条510位于第1主导轨421与第2主导轨422之间，与两导轨421、422平行。
齿条510具有齿条齿，齿条齿面设于齿条510的一侧面(与第1主导轨相对一侧的面)。即、齿条齿面的法线方向为与基台部210的上表面平行的方向，另外，其相对于主导向机构410的导向方向垂直。
小齿轮520具有与齿条510的齿啮合的小齿轮齿，小齿轮520的旋转轴方向为与基台部210的上表面垂直的方向。而且，通过小齿轮520与齿条510啮合的同时进行旋转，小齿轮520沿底座部200的长度方向往复运动。
摆动支承组件530由摆臂540构成，该摆臂540由轴支承可旋转的小齿轮520，而且其一端由与小齿轮520的旋转轴平行的摆动轴550支承，另一端可朝向相对于齿条510接近或远离的方向摆动。
摆臂540包括臂主体部541，该臂主体部541配设于移动座主体330的凹部320上；小齿轮收容部542，该小齿轮收容部542与臂主体部541的下端相连续、用于收容小齿轮520。
臂主体部541在其一端上穿入有摆动轴550，其另一端可绕该摆动轴550摆动。
小齿轮收容部542设置为框状，在臂主体部541的下端形成有相对于齿条齿面垂直的贯通孔542D，包括与臂主体部541的一端侧相连续并从该一端侧垂下的一端侧柱部542A、与臂主体部541的另一端侧连续并从该一侧垂下的另一端侧柱部542B、连接一端侧柱部542A与另一端侧柱部542B的下端的下梁部542C。在小齿轮收容部542的贯通孔542D内收纳有小齿轮520。
在此，连结小齿轮520的旋转轴与摆臂540的摆动轴的线L(参照图4)相对于齿条510大致平行。
旋转驱动单元560包括电动机(驱动源)564、传递电动机564的旋转动力的传递机构563、通过传递机构563由电动机564旋转驱动的驱动齿轮565、由驱动齿轮565旋转驱动的驱动轴566。
从臂主体部541的一侧边缘突出设置有支架562(参照图3)，该支架562与臂主体部541的一侧边缘相连续，在该支架562上设置有壳体561。而且，将电动机564配设为从壳体561垂下的状态，并在壳体561内配设传递机构563，该传递机构563包括齿轮组、皮带及皮带轮。
驱动齿轮565设置于皮带轮主体部541的上表面上并可旋转，驱动齿轮565的旋转轴线与小齿轮520的旋转轴线一致。
驱动轴566贯通臂主体部541及小齿轮收容部542且可旋转，并连结驱动齿轮565与小齿轮520的旋转轴。而且，驱动齿轮565的旋转通过驱动轴566传递至小齿轮520，小齿轮520从动于驱动齿轮565而旋转。
另外，通过驱动轴566贯通摆臂540，使驱动轴566与摆臂540接合。
加力机构570包括壁板部571，该壁板部571配设为与齿条510大致呈平行状，在它们之间设置有小齿轮520；张紧辊573，该张紧辊573与壁板部571相抵接，一边旋转一边沿壁板部571移动；杆臂572，该杆臂572被设置为与摆臂540大致平行，在大致中央处以轴支承张紧辊573，使其能够旋转；弹簧574，该弹簧574朝向从摆臂540离开的方向对弹杆臂572的一端作用弹力；连结杆576，该连结杆576从摆臂540的另一端突出设置并与摆臂540相连续，以可旋转的方式与杆臂572的另一端连结(参照图4、图6)。
壁板部571通过台座211配设于基台部210的上表面上，其隔着预定距离与齿条510相对、并在它们之间设置有小齿轮520。
张紧辊573具有旋转轴，该旋转轴大致垂直于基台部210的上表面。连结张紧辊573的旋转轴与小齿轮520的旋转轴的线与齿条510大致正交。
在壁板部571与小齿轮收容部542之间，杆臂572配设成分别相对于壁板部571和小齿轮收容部542大致平行且可摆动。而且，在杆臂572的大致中央设置有可旋转的张紧辊573。由此，杆臂572成为以张紧573的旋转轴为支点的“杠杆”。
另外，在杆臂572的一端与小齿轮收容部542的一端(一端侧柱部542A)之间夹装弹簧574，由该弹簧574对杆臂572的一端作用朝向使其从小齿轮收容部542的一端离开的方向(使杆臂572的一端接近壁板部571的方向)的弹性作用力。
连结杆576从小齿轮收容部542的另一端(另一端侧柱部542B)朝向壁板部571突出设置、并与该小齿轮收容部542的另一端相连续，杆臂572的另一端枢支于连结杆576上，可相对于该连结杆576自由旋转。
在此，当杆臂572的一端由弹簧574朝向使其从齿条510离开的方向施加弹力时，杆臂572的另一端被被朝向齿条510侧施加力。由此，经由连结杆576摆臂540的另一端被朝向齿条510侧施加力。
接下来对连结组件600进行说明。
连结组件600包括摆动支承框610、连结部件620、620(参照图2、图6)。
摆动支承框610是具有贯通孔的框状部件，其套于摆臂540的一端上，使得在上述贯通孔中穿入摆臂540。而且，贯通摆动支承框610和摆臂540的一端设置有摆动轴550，以摆动轴55为中心，摆臂540可相对于摆动支承框610摆动。
连结部件620、620是截面呈L字状的部件，其用于将摆动支承框610安装于移动座主体330上。
在此，由底座部200与移动座800构成了滑动装置。
测量部700包括Z立柱710，该Z柱710竖立设置于移动座300的上表面上；Y测杆720，该Y测杆720设置在Z柱710上，可在Z柱710上自由升降，且其长度方向与底座部200的长度方向正交。Y测杆可自由伸缩，在Y测杆前端设有测头730，该测头730与被测量物(未图示)抵接而检测被测量物的表面。
最好是在规定部位上设置用于检测测头730的坐标的位置检测机构740。这种位置检测机构740可使用以下构造。
例如，可以是检测移动座300的位置的检测机构，也可以是用于检测第2主导轨422与第3主滑动部件433(或第4主滑动部件434)的相对位移量的位移检测机构741(参照图5)。或者也可以是用于检测电动机564的旋转的旋转检测装置742(参照图3)。或者也可以是用于检测小齿轮520的转速的旋转检测机构743(参照图6)。
另外，最好是具有用于检测Y测杆720相对于Z立柱710的升降量、和Y测杆的伸缩量的位移检测机构。
接下来对具有这种构造的三座测量机的动作进行说明。
首先，对移动座300朝向底座部200的长度方向往复移动的动作进行说明。
当电动机564进行旋转驱动时，电动机564的动力经由传递机构563传递到驱动齿轮565，从而旋转驱动驱动齿轮565。
在驱动齿轮565的旋转带动下，驱动轴566旋转，通过驱动轴566的旋转，驱动齿轮565的旋转动力传递到小齿轮520，小齿轮520从动于驱动齿轮565而旋转。
当小齿轮520以与齿条510啮合的状态被旋转驱动时，小齿轮520沿齿条510移动。
当驱动轴566与小齿轮520共同沿齿条510移动时，由于驱动轴566与摆臂540接合着(驱动轴566贯通摆臂540)，所以摆臂540与驱动轴566共同沿齿条510移动。
由于摆臂540通过摆动轴550与摆动支承框610相连(摆动轴550贯通摆动支承框610和摆臂540)，所以摆动支承框610与摆臂540(驱动单元500)一起沿齿条510移动。
由于摆动支承框610通过连结部件620、620固定于移动座300上，所以移动座300与摆动支承框610共同沿齿条510移动。
此时，在主导向机构410中，由于第3主滑动部件433和第4主滑动部件434与第2主导轨422滑动配合，因此，移动座300沿着由主导向机构410导向的方向(即沿齿条510的方向)的方向移动。
接下来，对齿条510的齿条齿有高有低的情况下，通过小齿轮520的旋转使得移动座300移动的动作进行说明。
当齿条齿有高有低时，在小齿轮520旋转时，与齿条510垂直的方向(与移动方向正交的方向)的力作用于小齿轮520上。于是，小齿轮520在与移动方向正交的方向上振动。
当小齿轮520在与移动方向正交的方向上振动时，驱动轴566与小齿轮520一起振动。
在此，由于摆臂540设置成以其一端侧的摆动轴550为摆动中心可摆动，所以摆臂540的另一端与小齿轮520和驱动轴566一起振动。
于是，与移动方向正交的方向上的小齿轮520的振动被摆臂540的摆动吸收，从而不会传递到设置于摆臂540一端的摆动支承框610上，从而，移动座300在不会从由主导向机构410导向的方向偏离状态下移动。
此时，由于通过加力机构570，小齿轮收容部542的另一端被朝向齿条510侧施加力，所以小齿轮520和齿条510以一定的啮合压力啮合。
接下来，对当产生温度变化时移动座300和基台部210的热膨胀量不同的情况下的动作进行说明。
当移动座300由轻质的铝合金等形成，基台部210由低热膨胀性材料形成时，当产生温度变化时，移动座300和基台部210的热膨胀量(热变形量)不同。
特别是，当在宽度方向(与移动方向正交的方向)上变形量产生差异时，移动座300的宽度变得与第1主导轨421与第2主导轨422之间的间隔不同。
此时，由于在第1主滑动部件431和第2主滑动部件432的上表面上设置副导轨460(第1副导轨461、第2副导轨462)，在该副导轨460上滑动配合有副滑动部件470(第1副滑动部件471、第2副滑动部件472)，所以对应于移动座300的变形，副滑动部件470朝向与移动方向正交的方向滑动。
于是，吸收了移动座300与基台部210的变形量的差异。
接下来，对测量被测量物的情况进行说明。
当测量被测量物时，测头730以接触被测量物的状态对被测量物表面进行扫描。即、为了保持测头730与被测量物表面接触的状态由预定的控制装置来对移动座300的移动动作、Y测杆720的升降动作、对Y测杆720的伸缩动作等进行控制。
若采用具有这种构造的本实施方式，则能够达到以下效果(1)当齿条510的齿条齿有高低不同等等时，由于小齿轮520由摆臂540摆动支承着，所以小齿轮520能够朝向与齿条510大致正交的方向摆动而退让。因此，小齿轮520与齿条510之间不会产生过大的啮合压力，能够防止小齿轮520和齿条510受损伤并维持其几何精度。
(2)即使齿条510的齿条齿存在高低不同等等，与齿条510正交的方向上的应力也能够通过摆臂540的摆动被吸收。因此，在主导向机构410(特别是第2主导轨422、第3主滑动部件433、第4主滑动部件434)上不会作用与导向方向异向的压力，能够防止主导向机构410的损伤、并可维持其几何精度。其结果为，移动座300可高精度滑动。
(3)由于小齿轮520是由加力机构570，经由摆臂朝向齿条510施加力的，所以齿条510与小齿轮520的啮合压力保持恒定。于是，不仅能够防止两者的啮合脱开等，还能够防止齿条510与小齿轮520间产生大齿隙。
(4)由于摆臂540以与齿条510大致平行的状态被摆动支承，所以能够朝向齿条510侧对摆臂540的另一端施加力，或与齿条510的齿面大致垂直地对小齿轮520施加力。由于能够相对于齿条510大致垂直地对小齿轮520施加力，所以无论齿条510与小齿轮520的相对移动方向(移动座的移动方向)如何，都能够获得合适的啮合压力。
(5)通过以张紧辊573的旋转轴为支点使杆臂572摆动，能够利用简单的杠杆原理朝向齿条510侧对摆臂540的另一端施加力。
(6)由于具有副导向机构450，所以即使因温度变化在移动座300和基台部210之间产生热变形量差，也能够通过副滑动部件470沿与主导向机构410的导向方向正交的方向在副导轨460上的滑动来吸收该热变形量差。其结果为，在主导向机构410上不会加载来自除导向方向以外方向的压力，从而可维持主导向机构410的几何精度。
(7)由于容许移动座300与基台部210之间产生的热变形量差，所以能够由轻质材料(例如铝合金)等形成移动座300。其结果为，能够实现移动座300的高速化。
(8)即使第1主导轨421和第2主导轨422的平行度不精密，也能够由副导向机构450(副导轨460、副滑动部件470)吸收主导轨之间的间隔差异。因此，即使第1主导轨421和第2主导轨422的平行度不精密也能够维持移动座300的移动精度，其结果为，能够降低对部件精度或安装精度的要求，所以能够降低部件成本和组装成本。
其中，本发明并不限定于上述实施方式，能够达到本发明的目的的范围内的变更、改良等都包含于本发明之中。
例如，在上述实施方式中，齿条设置于基座部上、小齿轮设置于移动座上，但也可以相反地将齿条设置于移动座上、而将小齿轮设置于基座部上。
加力机构的构造并不限定于上述实施方式，只要是在朝向齿条侧对摆臂的摆动端施加力的构造即可。
在导向机构中，以设置两根主导轨为例进行了说明，但也可以是例如3根、4根。在这种情况下，在主导轨中的一根上滑动的主滑动部件安装固定于移动座上，在其他的主导轨上滑动的主滑动部件的上表面上配设副导向机构。另外，在本实施方式中，副导向机构由副导轨和副滑动部件构成，但也可以是例如，在主滑动部件与移动座之间夹设滚珠，或主滑动部件与移动座之间由弹簧等弹性部件相连等，对其构造未作特别限定。
权利要求
1.一种滑动装置，其特征在于，包括底座部；移动座，该移动座设置上述底座部上，可相对于上述底座部滑动；主导向机构，该主导向机构的导向方向是作为上述移动座的移动方向的第1方向；副导向机构，该副导向机构能向与上述第1方向不同的第2方向位移，上述主导向机构包括两根或两根以上的主导轨，这些主导轨沿上述第1方向配设于上述底座部上，各主导轨之间基本相互平行；主滑动部件，该主滑动部件分别在上述主导轨上滑动；在上述移动座上配设有在上述主导轨中的任意一根上滑动的上述主滑动部件，且在上述移动座与其他主滑动部件之间夹设有上述副导向机构。
2.如权利要求1所述的滑动装置，其特征在于，上述副导向机构包括副导轨，该副导轨配设于除了在上述主导轨中任意一根上滑动的主滑动部件之外的其他主滑动部件上，且沿与上述第1方向不同的第2方向；副滑动部件，该副滑动部件分别在上述副导轨上滑动。
3.一种测量机，其特征在于，包括权利要求1或权利要求2所述的滑动装置；测量部，该测量部具有检测部，该检测部由上述移动座带着移动、通过对被测量物表面进行扫描来检测被测量物；位置检测机构，该位置检测机构用于检测上述检测部的坐标位置。
全文摘要
一种滑动装置，包括底座部；移动座，该移动座设置为可相对于底座部滑移；主导向机构，该主导向机构其导向方向为作为移动座的移动方向的第1方向；副导向机构，该副导向机构容许向与上述第1方向相反的第2方向的位移。主导向机构包括两根主导轨，这些主导轨沿第1方向配设于底座部上，两主导轨间相互平行；主滑动部件，该主滑动部件分别在各主导轨上滑动。副导向机构包括副导轨，该副导轨沿第2方向配设于主滑动部件上；副滑动部件，该副滑动部件在副导轨上滑动。
文档编号F16C29/00GK1680772SQ200510064519
公开日2005年10月12日 申请日期2005年4月11日 优先权日2004年4月9日
发明者大坪圣一, 竹迫康次, 福田满 申请人:株式会社三丰