专利名称：减震装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种减震装置机械设备，更具体地涉及一种用于对真空腔体进行
缓冲减震的的减震装置
背景技术：
在现代半导体行业的自动化和半自动化生产、平板印刷设备、光学领域以及电子 设备行业等工业成产以及实验过程中，都需要高稳定度的防震技术，震动带来的危害无疑 是致命的。然而， 一方面，我们脚下站立的这块地板却在无时不刻的经受外界的各种干扰， 如地震、附近来往的车辆、沉重的正在运转的机械、行走中的工作人员以及其他一切风吹草 动都会给地板带来或大或小的震动，对防震动要求不高的物质来说是没有任何的影响，但 是对防震动要求较高的物质来说确是有破坏性的，比如半导体工业中的光刻工艺、光栅制 作以及高分辨率电子显微镜来说，这种干扰就已经足够具有致命的破坏性；另一方面，由于 设备自身的内部运转部件在加速和减速时，也会产生高动态力造成机构性的振动现象，这 个振动现象的强弱与加速和减速时候的迅速程度有关，因此，由于振动现象的存在，促使了 设备在进行敏感运行前的的延迟现象。为了尽量减小甚至避免这种震动对工业生产带来的 破坏和对设备本身带来的危害，多年来一直在试验各种各样的防震措施，在对防震要求较 高的领域中，震动会给其带来极其严重的破坏，对设备的震动要求特别高，如果要镀一些精 密的工件，例如0LED行业，膜层要求非常精密，设备对震动的要求非常严格，此装置用在抽 真空的泵和腔体之间则可以基本上消除泵体震动对镀膜过程的影响。 目前，对震动要求较高的真空腔体为了减小震动一般采用两种方式，第一种增加 腔体或固定座的质量得以增大惯性；第二种采用波纹管连接泵体隔离放置。第一种同本实 用新型相比减震比较被动；第二种同本实用新型相比便携性不好且使用寿命较短。采用增 大惯性来减小震动的方式有两个缺点1、减震比较被动，因为这种方式简化了抽气管道，采 用泵体和腔体的刚性连接，震动还是能直接传到腔体，不能从源头上减小震动；2、成本高， 因为增加质量需增加材料，同时也增加了加工难度。采用波纹管连接减小震动的结构有三 个缺点1、寿命短，因为波纹管没有受到任何装置的保护，会受到一些挠性力，还会造成抽 气前后波纹管的压縮比过大，从而影响寿命；2、便携性不好，因为泵体隔离放置；3 ;影响对 腔内气体的抽速，因为这种减震方式的波纹管一般较长导致气体的流阻过大。 因此为了克服常规减震装置减震效果差、使用寿命短的特点，急需一种结构紧凑、 减震效果好、成本低、使用寿命长的减震装置。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构紧凑、减震效果好、成本低、使用寿命长的减震装置。 为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种减震装置，所述减震装置 安装于真空泵与真空腔体之间，所述减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，所述第一法兰及所述第二法兰均具有上表面与下表面，所述第二法兰的上表面与所述真空腔体密封 连接，所述第一法兰的下表面与所述真空泵密封连接，所述波纹管具有第一开口端及第二 开口端，所述波纹管的第一开口端与所述第一法兰的上表面密封连接，所述波纹管的第二 开口端与所述第二法兰的下表面密封连接，所述第一法兰与所述第二法兰均为圆环结构， 所述圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，所述凸出部上开设有安装孔，其中，还包 括气弹簧及螺母，所述气弹簧两端分别具有连接部，所述连接部上开设有外螺纹，所述螺母 具有与所述外螺纹相啮合的内螺纹，所述气弹簧两端的连接部对应的穿过所述第一法兰与 所述第二法兰的安装孔并与所述螺母啮合。 较佳地，所述减震装置还包括第一弹性垫圈及第二弹性垫圈，所述气弹簧的连接 部依次穿过所述第一弹性垫圈、安装孔及第二弹性垫圈并与螺母啮合。由于设置了所述第 一弹性垫圈及所述第二弹性垫圈，由于所述安装孔是均匀分布在所述第一法兰与所述第二 法兰均为圆环结构向外突出的均匀分布的凸出部的，使用所述第一弹性垫圈及所述第二弹 性垫圈过渡连接，则能使所述第一法兰及所述第二法兰的得到很好的固定，所述第一弹性 垫圈及所述第二弹性垫圈能够吸收部分震动的能量，能本实用新型使减震装置的整个结构 成为一体。 较佳地，所述波纹管为金属波纹管。金属材质的弹性效果优良，具有防腐败、防变 质的特点，使用寿命大大提高。 较佳地，所述波纹管的所述第一开口端与所述第一法兰的上表面密封焊接，所述 波纹管的所述第二开口端与所述第二法兰的下表面密封焊接。由于焊接的方式的特点是连 接牢固，由于本实用新型提减震装置是安装于真空泵与真空腔体之间，密封焊接的方式能 够使得真空泵与真空腔体保持密封，密封焊接的方式连接能使所述第一法兰、所述波纹管 及所述第二法兰之间成为一个整体。 与现有技术相比，由于本实用新型减震装置引进了所述气弹簧，还包括有所述螺 母，所述气弹簧两端分别具有连接部，所述连接部上开设有外螺纹，所述气弹簧两端的连接 部对应的穿过所述第一法兰与所述第二法兰的安装孔并与所述螺母啮合。由于设置了所述 气弹簧，所述气弹簧均匀分布于所述波纹管的周围，而且由于所述圆环结构具有向外突出 的均匀分布的凸出部，所述凸出部上开设有安装孔，所述气弹簧的连接部上开设有外螺纹， 所述气弹簧两端的连接部对应的穿过所述第一法兰与所述第二法兰的安装孔并与所述螺 母啮合。由于所述气弹簧均匀分布于所述波纹管的周围，因此所述气弹簧能够很好地吸收 震动的能量，极大的减轻了所述波纹管承载的震动的能量，而只有极小的一部分能够传递 给所述真空腔体，因此极大地提高了减震效率。由于震动能量经过所述气弹簧的吸收，能量 大大的减少，传递给所述波纹管的这部分能量在气弹簧的导向作用下则化为所述波纹管压 縮方向的力，因此所述波纹管受力就会很小且不受到任何挠性力因素，因此能够增长本实 用新型减震装置的使用寿命。 通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型减震装置的立体图。[0013] 图2为本实用新型减震装置的截面示意图。 图3为本实用新型减震装置的第一法兰的结构示意图。
具体实施方式现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如上所述，如图l和图2所示，本实用新型提供的减震装置100，安装于真空泵与真空 腔体之间，所述减震装置100包括第一法兰1、第二法兰1'及波纹管4，所述第一法兰1具 有上表面10与下表面10a，所述第二法兰l'具有上表面10'与下表面10a'，所述第二法 兰1'的上表面10'与所述真空腔体密封连接，所述第一法兰1的下表面10a与所述真空 泵密封连接，所述波纹管4具有第一开口端40及第二开口端40'，所述波纹管4的第一开 口端40与所述第一法兰1的上表面10密封连接，所述波纹管4的第二开口端40'与所述 第二法兰l'的下表面10a'密封连接，如图3所示，所述第一法兰1与所述第二法兰1'均 为圆环结构，所述圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部ll，所述凸出部11上开设有 安装孔12，其中，还包括气弹簧2及螺母13，所述气弹簧2两端分别具有连接部20，所述连 接部20上开设有外螺纹13a，所述螺母13具有与所述外螺纹13a相啮合的内螺纹(图中未 示)，所述气弹簧2两端的连接部20对应的穿过所述第一法兰1与所述第二法兰1'的安 装孔12并与所述螺母13啮合具体地，如图2所示，还包括第一弹性垫圈14a及第二弹性垫 圈14b，所述气弹簧2的连接部20依次穿过所述第一弹性垫圈14a、安装孔12及第二弹性 垫圈14b并与螺母13啮合。由于设置了所述第一弹性垫圈14a及所述第二弹性垫圈14b， 由于所述安装孔12是均匀分布在所述第一法兰1与所述第二法兰1'均为圆环结构向外突 出的均匀分布的凸出部11的，使用所述第一弹性垫圈14a及所述第二弹性垫圈14b过渡连 接，则能使所述第一法兰1及所述第二法兰1'的得到很好的固定，所述第一弹性垫圈14a 及所述第二弹性垫圈14b能够吸收部分震动的能量，能本实用新型使减震装置100的整个 结构成为一体。 较佳者，所述波纹管4为金属波纹管。金属材质的弹性效果优良，具有防腐败、防 变质的特点，使用寿命大大提高，如果使用塑料的波纹管则容易受到外界空气或者油污等 的污染，而腐败变质，失去弹性，使用寿命也受到限制。 较佳者，所述波纹管4的所述第一开口端40与所述第一法兰1的上表面10密封 焊接，波纹管4的所述第二开口40'端与所述第二法兰l'的下表面10a'密封焊接。由于 焊接的方式的特点是连接牢固，由于本实用新型提减震装置100是安装于真空泵与真空腔 体之间，密封焊接的方式能够使得真空泵与真空腔体保持密封，密封焊接的方式连接能使 所述第一法兰1、所述波纹管4及所述第二法兰1'之间成为一个整体。 结合图1-3，由于本实用新型减震装置100具有所述气弹簧2，还包括有所述螺母 13，所述气弹簧2两端分别具有连接部20，所述连接部20上开设有外螺纹13a，所述螺母13 具有与所述外螺纹13a相啮合的内螺纹，所述气弹簧2两端的连接部20对应的穿过所述第 一法兰l与所述第二法兰l'的安装12孔并与所述螺母13啮合。由于设置了所述气弹簧 2，所述气弹簧2均匀分布于所述波纹管4的周围，而且由于所述 环结构具有向外突出的 均匀分布的凸出部ll，所述凸出部11上开设有安装孔12，所述气弹簧2的连接部20上开 设有外螺纹13a，所述气弹簧2两端的连接部20对应的穿过所述第一法兰1与所述第二法兰l'的安装孔12并与所述螺母13啮合。由于所述气弹簧2均匀分布于所述波纹管4的 周围，因此所述气弹簧2能够很好地吸收震动的能量，极大的减轻了所述波纹管4承载的震 动的能量，而只有极小的一部分能够传递给所述真空腔体，因此极大地提高了减震效率。由 于震动能量经过所述气弹簧2的吸收，能量大大的减少，传递给所述波纹管4的这部分能量 在气弹簧2的导向作用下则化为所述波纹管4压縮方向的力，因此所述波纹管4受力就会 很小且不受到任何挠性力因素，因此能够增长本实用新型减震装置100的使用寿命。 以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实用新型的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种减震装置，安装于真空泵与真空腔体之间，所述减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，所述第一法兰及所述第二法兰均具有上表面与下表面，所述第二法兰的上表面与所述真空腔体密封连接，所述第一法兰的下表面与所述真空泵密封连接，所述波纹管具有第一开口端及第二开口端，所述波纹管的第一开口端与所述第一法兰的上表面密封连接，所述波纹管的第二开口端与所述第二法兰的下表面密封连接，所述第一法兰与所述第二法兰均为圆环结构，所述圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，所述凸出部上开设有安装孔，其特征在于还包括气弹簧及螺母，所述气弹簧两端分别具有连接部，所述连接部上开设有外螺纹，所述螺母具有与所述外螺纹相啮合的内螺纹，所述气弹簧两端的连接部对应的穿过所述第一法兰与所述第二法兰的安装孔并与所述螺母啮合。
2. 如权利要求l所述的减震装置，其特征在于还包括第一弹性垫圈及第二弹性垫圈， 所述气弹簧的连接部依次穿过所述第一弹性垫圈、安装孔及第二弹性垫圈并与螺母啮合。
3. 如权利要求1所述的减震装置，其特征在于所述波纹管为金属波纹管。
4. 如权利要求1所述的减震装置，其特征在于所述波纹管的所述第一开口端与所述 第一法兰的上表面密封焊接，所述波纹管的所述第二开口端与所述第二法兰的下表面密封 焊接。
专利摘要本实用新型公开了一种减震装置，减震装置包括第一法兰、第二法兰及波纹管，第二法兰的上表面与真空腔体密封连接，第一法兰的下表面与真空泵密封连接，波纹管具有第一开口端及第二开口端，波纹管的第一开口端与第一法兰的上表面密封连接，波纹管的第二开口端与第二法兰的下表面密封连接，第一法兰与第二法兰均为圆环结构，圆环结构具有向外突出的均匀分布的凸出部，凸出部上开设有安装孔，其中，还包括气弹簧及螺母，气弹簧两端分别具有连接部，连接部上开设有外螺纹，螺母具有与外螺纹相啮合的内螺纹，气弹簧两端的连接部对应的穿过第一法兰与第二法兰的安装孔并与螺母啮合。本实用新型减震装置结构紧凑、减震效果好、成本低、使用寿命长。
文档编号F16F9/02GK201507593SQ20092019338
公开日2010年6月16日 申请日期2009年8月25日 优先权日2009年8月25日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司