真空阀的制作方法

真空阀的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种真空阀，包括：带有第一和第二阀开口的阀壳体，阀开口具有平行的轴线且相应由阀座包围；第一和第二阀板，其可在打开位置、中间位置与关闭之间调节；以及承载单元，由其来承载阀板且承载单元具有驱动元件以用于在中间位置－在其中阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起－与闭合位置之间调节第一和第二阀板，驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室的气缸和布置在气缸室中的带有活塞杆的至少一个活塞，活塞与阀板中的一个相连接。承载单元具有至少一个第一和第二支杆，驱动元件的气缸与支杆刚性地相连接，其中，气缸相应地跨越处在第一和第二支杆之间的中间腔，支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边。
【专利说明】真空阀
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空阀，包括:带有第一和第二阀开口的阀壳体，该阀开口具有平行的轴线且相应由阀座包围；第一和第二阀板，其可在打开位置(在其中阀板开启相应的阀开口)、中间位置(在其中阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起)以及闭合位置(在其中阀板贴靠在相应的阀座处)之间进行调节；承载单元，由该承载单元来承载阀板且该承载单元具有驱动元件以用于在中间位置与闭合位置之间调节第一和第二阀板，该驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室的气缸和布置在气缸室中的带有活塞杆(其与阀板中的一个相连接)的至少一个活塞。
【背景技术】
[0002]从文件WO 2011/096613 Al、文件 KR I — 2010 — 0061214 以及文件 US2006/0225811 Al中已知一种带有第一和第二阀板的真空阀，阀板在真空阀的闭合的状态中封闭阀壳体的第一和第二阀开口。在其中，承载阀板的承载单元安装在至少一个阀杆处，该阀杆可在其纵轴线的方向上移动。可通过移动阀杆在打开位置(在其中，阀板开启相应的阀开口)与中间位置(在其中，阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起)之间调节阀板。活塞一气缸单元(在其活塞杆处安装有阀板)集成到板状或方形的承载单元中。借助于活塞一气缸单元可在中间位置与闭合位置(在其中，阀板封闭相应的阀开口)之间调节阀板。
[0003]从文件US 6 899 316 B2中得知一种真空阀，在其中，单个的阀板由承载单元来承载。作为用于阀板的驱动元件的活塞一气缸单元(在其活塞杆处安装有阀板)集成到方形的承载单元中。承载单元安装在在其纵轴线的方向上可调节的阀杆处。类似的真空阀已通过使用而变得已知。在其中，作为用于阀板的驱动元件重新设置有活塞一气缸单元，其在此固定在板状的承载单元的外侧处。活塞一气缸单元的活塞杆在端侧构造成带有扩大的头部。活塞杆的头部驶入到凹陷的槽口中，阀板设有该槽口。在阀板的表面处限制相应的槽口的纵向边缘因此形成容纳切口以用于相应的活塞杆以活塞杆的联接到头部区段处的颈部区段的驶入。固定螺栓(其穿过阀板旋入到活塞杆中)用于将头部固定在槽口中。同样在文件KR 10/2010 - 061214的真空阀中，阀板与承载单元的驱动元件以类似的方式相连接。
[0004]文件US 2004/0079915 Al和文件US 6 561 484 B2显示了真空阀，在其中，阀板和相对而置的支撑板由承载单元来承载并且可借助于活塞一气缸单元相对于承载单元进行调节。在闭合的状态中，支撑板支撑在阀壳体处以便将阀板压紧到阀座处。
[0005]在从文件US 2008/0066811 Al中已知的真空阀中，承载单元(在该承载单元处在相对而置的侧部上安装有第一和第二阀板)借助于推杆来移动以便或者将第一阀板压紧到阀座处或者将第二阀板压紧到阀座处。推杆由布置在阀壳体处的活塞一气缸单元来操纵。
[0006]从文件US 2011/0095218 Al中得知一种真空阀，在其中，第一和第二阀板不可运动地固定在承载单元处。为了将阀板中的一个交替地压紧到阀座中的一个处，承载单元借助于阀杆来调节。阀板通过引导部推移到承载单元上，其中，承载单元的突出部接合到相应的阀板的凹陷的槽口中。

【发明内容】

[0007]本发明的目的在于提供一种开头所提到的类型的有利的且成本有利的真空阀。根据本发明,这通过带有权利要求1的特征的真空阀来实现。
[0008]在根据本发明的真空阀中承载单元具有至少一个第一和第二支杆，驱动元件的气缸与支杆刚性地相连接。气缸在此相应地跨越处在第一和第二支杆之间的中间腔，其中，第一和第二支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边。
[0009]由此可提供有利的且节省材料的结构，其可以简单的方式与真空阀的不同的尺寸相匹配。
[0010]优选地，承载单元具有正好两个支杆，其中，第一支杆在一侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边而第二支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边。在此一种可能的构造方案设置成气缸在其周面中(其包围气缸的至少一个气缸室的纵轴线)具有贯穿支杆的凹处。在此可存在用于每个支杆的单独的凹处或者周面可具有围绕的、环槽状的凹处。
[0011]优选地,在相应的气缸中一有利地相应在自身的气缸室中布置有第一和第二活塞，其中，第一活塞的活塞杆与第一阀板相连接而第二活塞与第二阀板相连接。驱动元件中的相应的一个因此用来调节两个阀板。但还可考虑的和可能的是针对第一和第二阀板存在不同的驱动元件，该驱动元件相应仅具有活塞，活塞的活塞杆与所关联的阀板相连接。
[0012]在本发明的一有利的实施形式中，承载单元附加地具有至少一个引导元件，该引导兀件包括壳体和可从壳体移动的至少一个引导杆，该引导杆与阀板中的一个相连接。引导元件的壳体在此固定在第一和第二支杆处并且跨越处在第一和第二支杆之间的中间腔。有利地，相应的引导元件具有可移动地支承的至少两个引导杆，在其中，一个与第一阀板相连接而另一个与第二阀板相连接。但还可考虑且可能的是针对第一和第二阀板设置有不同的引导元件，即存在仅与第一阀板相关联的至少一个引导元件和仅与第二阀板相关联的至少一个引导兀件。
[0013]优选地,至少一个引导兀件的壳体具有密封的内腔，该内腔由壳体和关于至少一个阀开口的轴线的方向在相对而置的侧部上由与壳体密封地相连接的、柔性的膜片来限制，并且在该内腔中可移动地支承有至少一个引导杆。该密封的内腔通过通入到其中的管路与环境相连接或抽空(=泵出)。
[0014]至少一个引导元件用来可移动地引导阀板或者在该引导时至少支持驱动元件以及至少部分地接收由于阀板的重量引起的力，即承载阀板或者在此至少支持驱动元件。
[0015]因此总体上为承载单元构造有框架结构，其包括支杆和驱动元件和如有可能至少一个引导元件。为了构造不同大的真空阀的不同大的结构单元可使用相同的驱动元件和相同的引导元件(只要存在这样的引导元件)，如有可能根据承载单元的尺寸以不同的数量且附加地相应于长的支杆来使用。倘若支杆由挤压型材(Strangpressprofile)来构成,如其优选地那样，可简单地将挤压型材剪切(abgelhgt)到所希望的长度上。挤压型材具有该优点，即伸延通过支杆的通道可在制造时一同压制，这允许高效的制造。因此在真空阀的阀开口的不同的纵向大小的情况下总体上可以简单的方式实现用于不同尺寸的真空阀的承载单元。
[0016]优选地，第一和第二支杆处在共同的平面中，该平面处在第一和第二阀板处于其中的第一和第二平面之间，其中，支杆处于其中的平面平行于与平行的第一和第二平面。
[0017]为了连接阀板中的相应的一个与承载单元而有利地存在连接装置，该连接装置相应地包括连接件和容纳件。连接件具有喉部区段和扩大的、相对于喉部区段向外突出的头部区段，即构造成蘑菇状。相应的容纳件具有容纳切口，连接件的喉部区段可在朝容纳切口的纵向方向上取向的引入方向上引入到该容纳切口中直至引入到连接件的终端位置中。容纳切口的切口宽度至少在连接件在其终端位置中位于其中的区域中(优选地在容纳切口的整个纵向延伸上)小于连接件的头部区段的在容纳切口的宽度延伸的方向上测量的直径，从而位于其终端位置中的连接件不可垂直于容纳切口的纵向延伸部从容纳切口中抽出。为了防止引入到容纳切口中直至引入到其终端位置中的连接件可重新与引入方向相反地从容纳切口中抽出，容纳件中的至少一个可在引入位置与卡锁位置之间旋转。在引入位置中，所属的连接件的喉部区段可推入到容纳切口中直到连接件的终端位置中。在连接件的终端位置中将容纳件旋转到卡锁位置中，优选地旋转90°。有利地，容纳件中的至少两个可在引入位置与卡锁位置之间围绕旋转轴线旋转，其中，旋转轴线处于彼此平行。
[0018]至少一个可旋转的容纳件的旋转轴线尤其处得垂直于引入方向且垂直于阀板处于其中的平行的平面。
[0019]通过所说明的阀板与承载单元的连接能够实现将阀板简单且可靠地装配在承载单元处。尤其为了执行维修可以简单的方式来拆卸相应的阀板，即从承载单元拆除。
[0020]有利地，借助于所说明的连接装置使驱动元件的所有的活塞杆和引导元件的所有的引导杆(只要存在)与相应相关联的阀板相连接。在此优选的是容纳件安装在阀板处，其中，容纳件中的至少一个可相对于阀板(容纳件直接或通过至少一个支承件安装在该阀板处)围绕旋转轴线在引入位置与卡锁位置之间旋转，优选地对于每个阀板容纳件中的至少两个可以这种方式旋转。然后连接件与相应的活塞杆或相应的引导杆(倘若存在)刚性地相连接或构造成与该活塞杆或引导杆成一体。在后面的情况中，连接件由此由活塞杆或引导杆(倘若存在)的区段形成。
【专利附图】

【附图说明】
[0021 ] 接下来借助于附图来阐述本发明的其它的优点和细节，其中，
图1显示了根据本发明的真空阀的实施例的斜视图；
图2在一视图中显示了真空阀，其中，真空阀处于闭合的状态中，即阀板处于闭合位置
中；
图3显示了沿着图2的线AA的截面；
图4显示了图3的放大的细节P ;
图5显示了沿着图2的线BB的截面；
图6显示了沿着图2的线JJ的截面；
图7显示了图6的放大的细节M ;
图8显示了真空阀的视图，其中，阀板处于中间位置中； 图9显示了沿着图8的线CC的截面；
图10显示了沿着图8的线KK的截面；
图11显示了图10的放大的细节N;
图12显示了真空阀的视图，其中，真空阀处于开启的状态中，即阀板处于打开位置中； 图13显示了沿着图12的线DD的截面；
图14显示了承载单元与安装在承载单元处的阀板以及阀杆与阀杆驱动装置的斜视
图；
图15显示了图14的放大的细节Q ;
图16显示了承载单元与阀杆和阀杆驱动装置的斜视图；
图17显示了图16的放大的细节R ;
图18显示了驱动元件与连接装置的连接件的分解图；
图19显不了相应于图18但基于另一视角的分解图；
图20显示了驱动元件与连接装置的连接件的视图；
图21显示了沿着图20的线UU的截面；
图22显示了沿着图20的线VV的截面；
图23显示了引导元件与连接装置的连接件和容纳件的分解图；
图24显不了相应于图23但基于另一视角的分解图；
图25显示了引导元件与连接装置的连接件和容纳件的视图；
图26显示了沿着图25的线SS的截面；
图27显示了承载单元和从承载单元中拆除的阀板的斜视图，其中，对于前置的第一阀板仅示出安装在其处的容纳件；
图28显示了图27的放大的细节W ;
图29显示了相应于图27的斜视图，但阀板与容纳件推移到连接件的头部区段上，其中，可转动的容纳件位于其引入位置中；
图30显示了图29的放大的细节X ;
图31显示了相应于图29的图示，其中，但可转动的容纳件位于其卡锁位置中；
图32显示了图31的放大的细节Y ;
图33在视图中显示了在图31的状态中图31的零件。
[0022]附图具有不同的比例。
[0023]参考标号列表 I阀壳体
2第一阀开口 3第二阀开口 4轴线 5轴线 6阀座 7阀座 8容纳腔 9承载单元10第一阀板IOa密封圈11第二阀板Ila密封圈12阀杆
13阀杆驱动装置14活塞一气缸单元15活塞一气缸单元16轭状件17滚轮18导轨19第一支杆20第二支杆21中间腔22驱动元件23引导元件24气缸25第一气缸室26第二气缸室27第一活塞28第二活塞29压缩空气管路30压缩空气管路31气缸体32气缸盖33气缸盖34活塞杆35活塞杆36中间壁37引导栓38引导栓39凹进40凹进41周面42凹处43凹处45连接件46，46’容纳件47颈部区段 48头部区段 49容纳切口 50引入方向 51纵向孔 52纵向孔 53螺栓 54螺栓 55凸出部 56接合元件 57膜片 58膜片 59密封圈 60中间容积 61中间容积 62管路 63密封圈 64连接件 65壳体 66内腔 67膜片 68膜片 69密封圈 70联接件 71联接件 72密封圈 73引导杆 74突出部 75引导衬套 76凹处 77凹处 78管路 79管路 80旋转轴线。
【具体实施方式】
[0024]在附图中示出了根据本发明的真空阀的实施例。真空阀包括带有第一和第二阀开
口 2、3的阀壳体1，阀开口具有平行的轴线4、5。阀开口 2、3布置在阀壳体I的相对而置的
壁中并且彼此对准。具有阀开口 2、3的壁在其彼此面向的内侧处具有包围阀开口 2、3的阀
座 6、7。[0025]在处在阀壳体I的内部的容纳腔8中布置有承载单元9，由该承载单元来承载第一和第二阀板10、11。阀板10、11处在平行的平面中，该平面处于垂直于阀开口 2、3的轴线
4、5。阀板10、11用于在真空阀的完全闭合的状态中密封阀开口 2、3。
[0026]承载单元9安装在阀杆12处。为此在所显示的实施例中在阀杆12的处在容纳腔8的端部处固定有连接件64(参见图16)，在该连接件处本身固定有承载单元9，特别固定有下面进一步说明的承载单元9的支杆19。阀杆12可由阀杆驱动装置13在其纵轴线的方向上调节。阀杆驱动装置13在此由两个活塞一气缸单元14、15形成，在其中，气缸或活塞杆与阀壳体I相连接，且活塞杆或气缸与轭状件16相连接,该轭状件本身与阀杆12的处在阀壳体I的外部的区段相连接，优选地与阀杆12的端部相连接。阀杆12通过密封的线性穿引部引入到容纳腔8中。
[0027]借助于阀杆驱动装置13 (其还可以其其方式来构造，例如仅可具有单个的活塞一气缸单元)对阀板10、11在其打开位置(参见图12和13，在其中，阀板10、11有利地完全开启阀开口 2、3)与其中间位置(参见图8至11，在其中，阀板10、11覆盖阀开口 2、3(朝轴线4、5的方向上来观看)但从阀座6、7提起)之间调节。
[0028]为了在在阀板的打开位置与阀板的中间位置之间调节阀板10、11时居中地在阀壳体I中引导承载单元9，可旋转地支承在承载单元9处的滚轮17(其在两侧布置在阀壳体I的容纳腔8中的、平行于阀杆12延伸的槽口状的导轨18中行进)用于相对于阀壳体I引导承载单元9。相反的布置方案(即滚轮可旋转地支承在阀壳体I处而槽口状的导轨布置在承载单元9处)原则上也是可考虑的和可能的。
[0029]还可设置有平行的两个或更多的阀杆12，在该阀杆处安装有承载单元9。
[0030]至少一个阀杆12优选地垂直于阀开口 2、3的轴线4、5延伸。
[0031]阀板10、11和阀开口 2、3构造成矩形并且比起宽度优选地具有超过两倍的那样大的长度。阀板10、11和阀开口 2、3的纵向延伸部在此处于垂直于阀杆12且垂直于阀开口
2、3的轴线4、5。
[0032]承载单元9具有第一和第二支杆19、20。处于彼此平行的支杆19、20处于垂直于阀开口 2、3的轴线4、5且垂直于阀杆12，即支杆具有处于垂直于阀开口 2、3的轴线4、5且垂直于阀杆12的纵向延伸部。第一和第二支杆19、20关于阀杆12的方向彼此间隔开且因此在支杆之间具有中间腔21。该中间腔由驱动元件22和引导元件23跨越。驱动元件22和引导元件23相应地不仅固定在第一支杆19处而且固定在第二支杆20处，在本实施例中直接固定在支杆处。以这种方式构造了一种用于承载单元9的自承载的框架结构的类型。代替驱动元件22和引导元件23直接固定在第一和第二支杆19、20处，固定还可通过处于支杆之间的至少一个零件来实现。
[0033]驱动元件22处在共同的直线(其处于平行于第一和第二支杆19、20)上并且沿着该直线布置成彼此间隔开。引导元件23同样处在该直线上。如下面还将进一步补充说明的那样，引导元件23还可在修改的实施形式中被取消或者可存在多于一个引导元件23。
[0034]在相邻的驱动元件22之间承载单元9具有贯穿承载单元9的自由腔。如果存在下面进一步更精确地说明的至少一个引导元件23，那么在该引导元件23或相应的引导元件23与相邻的驱动元件22之间存在承载单元9的自由腔，该自由腔贯穿承载单元9。
[0035]驱动元件22相应地包括带有第一和第二气缸室25、26的气缸24。在第一气缸室25中布置有与第一阀板10相连接的第一活塞27而在第二气缸室中布置有与第二阀板11相连接的第二活塞28。借助于通过压缩空气管路29、30(其由气缸24的孔形成)供给的压缩空气可使活塞27、28移动到气缸室25、26中。
[0036]气缸24相应地包括气缸体31，该气缸体在其相对而置的、朝待安装在承载单元9处的两个阀板10、11指向的侧部上是开着的，其中，气缸体31包围第一和第二气缸室25、26的处在共同的直线上的纵轴线。两个气缸盖32、33密封地与气缸体31相连接并且在相对而置的侧部上封闭气缸体，从开口来看，以活塞27、28为起点的活塞杆34、35密封地穿弓I通过该开口。活塞杆34、35处于平行于阀开口 2、3的轴线4、5。气缸体31的中间壁36使中间腔25、26彼此隔开。引导栓37、38在两侧以中间壁36为出发点，引导栓在气缸室25、26的纵轴线的方向上延伸，即在活塞27、28在其中可移动的方向上延伸，并且引导栓突起到活塞27、28和活塞杆34、35的中心的凹进39、40中。由此来构造用于活塞27、28和活塞杆34、35的引导部。
[0037]气缸体31的包围气缸室25、26的周面41相对而置地设有凹处42、43，支杆19、20伸延通过该凹处。在该凹处42、43的区域中将支杆19、20旋紧到气缸体31处。
[0038]可借助于驱动元件22将阀板10、11平行于阀开口 2、3的轴线4、5从其中间位置(参见图8至11)调节到其闭合位置(参见图2至7)中，在该闭合位置中，阀板10、11压紧到阀座6、7处且因此闭合真空阀。在阀板10、11的闭合位置中，阀板10、11的弹性的密封圈10a、lla压紧在阀座6、7的密封面处。还可考虑且可能的是密封圈10a、lla布置在阀座
6、7处而密封面布置在阀板10、11处。
[0039]为了使阀板10、11从其中间位置行进到其闭合位置中压缩空气管路30加载有压缩空气(而压缩空气管路29排气)，而为了将阀板10、11从其闭合位置调节到其中间位置中压缩空气管路29加载有压缩空气(而压缩空气管路30排气)。代替共同的压缩空气管路29和/或30还可为两个活塞27、28设置单独的压缩空气管路29和/或30，其中，活塞27、28可彼此独立地来调节。
[0040]活塞杆34、35通过连接装置与阀板10、11相连接。相应的连接装置包括与相应的活塞杆34、35刚性地相连接的连接件45和安装在相应的阀板10、11处的容纳件46、46’。相应的连接件45具有带有颈部区段47和扩大的、相对于该颈部区段47关于连接件45的纵轴线向外突出的头部区段48的蘑菇状的构造。相应的容纳件46、46’具有容纳切口 49。相应的连接装置的连接件45的颈部区段47可在引入方向50上被推入到连接装置的容纳件46、46’的容纳切口 49中直至推入到终端位置中。容纳切口 49的切口宽度小于连接件45的头部区段48的直径，从而头部区段48不可在连接件45的纵轴线的方向上从容纳切口49中抽出。
[0041]容纳件46、46’相应地在其面向相应的阀板10、11(容纳件安装在阀板处)的侧部上具有凹处，通过该凹处来构造容纳切口 49的阶梯状的拓宽部。利用其颈部区段47推入到容纳切口 49中的连接件的头部区段48处在容纳切口 49的该阶梯状的拓宽部中。通过相应的容纳件46、46’与阀板10、11(容纳件46、46’安装在阀板处)一起来由此在整体上构造用于相应的连接件45的凹陷的容纳槽口。推入到凹陷的容纳槽口中的连接件45的头部区段48在此在连接件45的终端位置中处在容纳槽口的凹陷的区域中。该容纳槽口例如构造成呈T形槽口的形式，如这在本实施例中为此种情况。[0042]代替所显示的构造方案还可设置成容纳件本身设有凹陷的容纳槽口。那么在相应的容纳件的表面处限制容纳槽口的纵向边缘形成容纳切口以用于连接件的颈部区段的驶入。
[0043]在本实施例中，在容纳件46、46’中处于外侧的(相对于支杆19、20的纵向延伸部)两个容纳件可在引入位置与卡锁位置之间旋转，亦即相应地围绕旋转轴线80旋转，该旋转轴线处于垂直于引入方向50并且处于平行于与容纳件46’相连接的连接件45的纵轴线。旋转轴线80处于垂直于这样的平面，即通过连接装置与承载单元9相连接的阀板10、11处于该平面中。容纳件46’的可旋转性在所显示的实施例中通过纵向孔51、52来实现，该纵向孔圆弧形地围绕与容纳件46’相连接的连接件45的纵轴线伸延且由螺栓53、54贯穿(仅在图27、28中标明)，螺栓穿过纵向孔51、52被拧入到有关的阀板10、11中。代替直接可旋转地支承在相应的阀板10、11处，容纳件46’还可可旋转地支承在相应的支承件处，该支承件本身固定在相应的阀板10、11处。
[0044]其余的容纳件46刚性地与相应的阀板10、11相连接，其中，其容纳切口 49处于彼此平行并且处于平行于位于其引入位置中的容纳件46’的容纳切口 49。如果可旋转的容纳件46’位于其引入位置中，所有的容纳切口 49在朝相同的侧部是开启的，参见图27和28。引入方向50处于平行于容纳件46的容纳切口 49且平行于位于其引入位置中的容纳件46’的容纳切口 49。如果相应的阀板10、11与承载单元9相连接，越过容纳切口 49的开启的端部将颈部区段47引入到容纳切口 49中直至引入容纳件46、46’的终端位置中，参见图29和30。原则上容纳切口 49还可具有带有扩大的宽度的区域，头部区段48可在连接件45的纵轴线的方向上(即垂直于容纳切口 49的纵向延伸部)被引入到该区域中以便然后在容纳切口 49的纵向方向上移动到终端位置中。
[0045]在容纳件46、46’的终端位置中将可旋转的容纳件46’从其引入位置旋转到其卡锁位置中，参见图31至33。凸出部55用来旋转相应的容纳件46’，该凸出部具有用于接合相应的旋转工具的接合元件56。相应的容纳件46’可通过摩擦连接保持在其卡锁位置中。此外还可设置附加的固定件，例如螺栓。在本实施例中使可旋转的容纳件46’在其引入位置与其卡锁位置之间旋转了 90°。更大或更小的旋转角原则上也是可能的。
[0046]还可考虑且可能的是所有存在的容纳件可构造成围绕处于彼此平行的旋转轴线80旋转。
[0047]不可旋转的容纳件46还可构造成与相应的阀板10、11成一体。
[0048]在相对而置的侧部上柔性的膜片57、58借助于弹性的密封圈63密封地与气缸体31相连接，亦即在膜片57、58的外部的周缘的区域中。膜片57、58相应地具有居中的开口，在开口的区域中膜片密封地与相应的活塞杆34、35相连接。为了该目的，在本实施例中，相应的膜片57、58由与相应的活塞杆34、35相连接的连接件45压向处于膜片57、58与活塞杆34、35之间的弹性的密封圈59 (参见图22)。膜片57、58因此相应地隔开密封的中间容积60、61。中间容积60、61通过管路62 (参见图21)与环境相连接。中间容积60、61还可通过管路62被抽空(=泵出)。由于存在的中间容积60、61，利用压缩空气来加载的气缸室25、26不必直接相对于真空阀的处于阀壳体I的容纳腔8中的真空区域来密封。
[0049]承载单元9附加地包括引导元件23，其布置在关于支杆19、20的纵向延伸部的中间的区域中。引导元件23在此跨越在支杆19、20之间的中间腔21并且不仅固定在第一支杆19处而且固定在第二支杆20处。因此引导元件同样有助于承载单元9的框架结构且因此有助于承载单元9的总体的稳定性。
[0050]弓I导元件23包括壳体65，其在相对而置的侧部上朝待安装在承载单元9处的两个阀板10、11是开着的。为了朝该侧部密封壳体的内腔66而设置有柔性的膜片67、68，其在其外部的周向边缘的区域中借助于弹性的密封圈69密封地与壳体65相连接。膜片67、68具有居中的开口，联接件70、71穿引通过该开口。膜片67、68在围绕其居中的开口的区域中借助于位于相应的膜片67、68与相应的联接件70、71之间的密封圈72来密封地连接。
[0051]联接件70、71与阀板10、11相连接，亦即同样通过已经说明的连接装置。此外在本实施例中将连接件45固定在联接件70、71处，其中，膜片67、68由连接件45压向密封圈72。为固定在联接件70、71处的连接件45相应地关联有安装在相应的阀板10、11处的容纳件46。在连接阀板10、11与承载单元9时将固定在联接件70、71处的连接件45的颈部区段47引入到容纳件46的容纳接口 49中。
[0052]在本实施例中连接装置具有刚性地安装在相应的阀板10、11处的容纳件46。这样的实施例也是可考虑的和可能的，在其中，一个或多个引导元件23通过带有可在引入位置与卡锁位置之间转动的容纳件46’的连接装置与相应的阀板10、11相连接。
[0053]相应的联接件70、71与两个引导杆73刚性地相连接，该引导杆可移动地支承在壳体65的内腔66中。此外壳体65的外罩具有向内凸起的突出部74，该突出部具有容纳引导杆73的引导衬套75。引导杆73和引导衬套75处于平行于驱动元件22的活塞杆34、35。引导杆73的可移动的引导部还可以不同于所示出的方式来构造。
[0054]在本实施例中存在的四个引导杆73 (每个阀板10、11两个)在壳体65的周向方向上彼此间隔开的部位处可移动地被引导。
[0055]壳体65在相对而置的侧部上在其包围内腔66的纵轴线的周面中具有凹处76、77。支杆19、20伸延通过该凹处76、77并且在凹处的区域中将支杆19、20旋紧到壳体65处。
[0056]通过引导元件23可移动地引导与承载单元9相连接的阀板10、11，亦即在阀板的运动方向上在其相应的中间位置与其相应的终端位置之间可移动地被引导。还可通过引导元件23接收相应的阀板10、11的重力的至少一部分。
[0057]密封的内腔66通过通入到其中的管路78(其由通过壳体65的孔形成)来排气。除此之外，内腔66还可通过该管路78抽空(=泵出)。在内腔66中形成的颗粒一尤其由于滑动引导的引导杆73的运动一因此未到达到真空阀的真空区域中。
[0058]除了关于支杆19、20的纵向延伸部居中地所处的引导元件23或代替该引导元件还可存在处在关于支杆19、20的纵向延伸部的中心的区域之外的一个或多个引导元件23，其以所说明的方式来构造。相应的引导元件23还可具有可移动地支承在内腔66中的或多或少的引导杆73。还可设置有用于两个阀板10、11的单独的引导元件，在其中，相应地阀板10、11中的仅仅一个可移动地被引导。联接件70、71还可被取消并且引导杆73可直接与连接件45相连接或者构造成与连接件成一体。
[0059]倘若阀板10、11仅通过可移动地引导驱动元件22的活塞27、28和/或活塞杆34、35便可足够地可移动地引导且承载，则还可取消附加的引导元件23。
[0060]承载单元9与阀板10、11通过连接装置如此连接使得阀板10、11的热膨胀可被充分地吸收。在执行真空制造工艺时在相对于承载单元9的相应的温度差的情况下可产生阀板10、11的如有可能强烈的变热。为了吸收阀板10、11的热膨胀，连接装置在支杆19、20的纵向延伸的方向上具有足够的间隙。在此连接装置中的一个(例如关于支杆19、20的纵向延伸部居中地所处的连接装置)关于支杆19、20的纵向延伸的方向基本上构造成无间隙(例如具有小于0.5mm优选小于0.3mm的间隙)，而另外的连接装置在支杆19、20的纵向延伸的两个方向上具有间隙，其随着与基本上无间隙的连接装置的逐渐增加的间距而增加(例如增加到大于2mm)。在具有最小的与最大的这种间隙的连接装置(其处在支杆19、20的纵向延伸部的不同的部位处)之间在与支杆19、20的纵向延伸有关的间隙方面的差别有利地为至少因子5，其中，例如差别可存在于因子20的范围中。
[0061]如果应执行阀板10、11中的一个的维修，例如为了更换密封圈10a、lla，那么在此可有利地使阀板10、11中的另一个保留在其闭合位置中且密封处于真空下的真空腔。在此，如果使容纳腔8和可通过另一阀板来封锁的真空腔通风且在该状态中使压缩空气管路29通风，则存在的压差可将该阀板保持在闭合位置中。此外，利用滚轮17引导承载单元9可允许承载单元9从其中心的位置中的足够的移动，例如通过滚轮17的灵活性。还可考虑的是设置有用于两个活塞27、28的单独的压缩空气管路29，以便可单独地操控活塞27、28。
[0062]压缩空气管路29、30与在支杆19中的通道相连接，支杆中的通道通过在连接件64中的通道与在阀杆12中的通道相连接，通过阀杆中的通道可供给压缩空气(在附图中为了简化的目的而省略在阀杆12的处在阀壳体的外部的区域中的压缩空气管路的相应的接n)。
[0063]管路78与在支杆19中的通道相连接，支杆的通道通过在连接件64中的通道与在阀杆12中的通道相连接，阀杆中的通道在阀杆的处于阀壳体的外部的区域中与外腔相连接或者阀杆中的通道在阀杆12的处在阀壳体的外部的区域中与联接到泵处的泵出管路相连接。
[0064]壳体65的内腔66通过由在壳体65中的孔形成的管路79与在第二支杆20中的通道相连接，并且在第二支杆20中的该通道与管路62相连接。以这种方式实现中间容积60,61的通风或泵出。
[0065]壳体I的容纳腔8可通过在附图中不可见的管路(其可由穿过阀壳体I引导到容纳腔8中的孔形成)来抽空(=泵出)和通风。由此可实现不必使阀板10、11克服压差(其处于环境压力的数量级中)从其闭合位置调节到其中间位置中。
[0066]在所显示的实施例中，在相对而置的侧部上在侧向在驱动元件22的活塞杆旁边相应地存在正好一个支杆19、20，从而总体上存在正好两个支杆19、20。原则上还可考虑和可能的是至少在一侧部上在侧向在活塞杆旁边或者在两侧部上在侧向在活塞杆旁边存在多于一个支杆19、20，其中，每个支杆有利地与所有驱动元件22和所有的引导元件23 (倘若存在)刚性地相连接。
[0067]所显示的实施例的不同的进一步的修改是可能的，而未离开本发明的范围。因此例如对于连接装置来说相反的构造是可能的，在其中，连接件45固定在阀板10、11处，而容纳件46、46’与活塞杆34、35相连接或者至少不可旋转的容纳件46与活塞杆构造成一体。相反的布置还可设置成仅用于连接装置的一部分。同样可为至少一个引导元件23 (倘若存在)以类似的方式设置这种相反的布置。
[0068]根据存在的驱动元件22和如有可能存在的引导元件23的数量而可存在或多或少的连接装置，以便所有的活塞杆和所有的如有可能存在的引导杆(直接或通过联接件70)与阀板10、11相连接。在所显示的实施例中，布置在外部的两个连接装置具有可旋转的容纳件46’。取而代之或附加地，驱动元件22和/或如有可能存在的引导元件23中的至少另一个还可通过连接装置(其容纳件46’是可旋转的)与相应的阀板10、11相连接。在此还可总地仅设置有唯一的可旋转的容纳件46’，其例如与中间的引导元件23或代替其而设置的中间的驱动元件22相关联，而其其所有容纳件46不可旋转。但优选地存在至少两个可旋转的容纳件46’。
[0069]代替膜片57、58和/或67、68还可存在刚性的零件，活塞杆34、35或联接件70、71密封地穿引通过该零件，例如借助于相应的密封圈以滑动穿引的方式或借助于波纹管以波纹管穿引的方式。
[0070]在根据本发明的真空阀中，阀板还可以其它方式通过所显示的连接装置与驱动元件和至少一个引导元件(倘若存在)相连接。
【权利要求】
1.一种真空阀，包括: -带有第一和第二阀开口(2，3)的阀壳体(1)，该阀开口具有平行的轴线(4，5)并且相应地由阀座(6，7)包围， -第一和第二阀板(10，11)，该阀板可在打开位置、中间位置以及闭合位置之间进行调节，在该打开位置中所述阀板(10，11)开启相应的所述阀开口(2，3)，在该中间位置中所述阀板(10，11)覆盖相应的所述阀开口(2，3)但从相应的所述阀座(6.7)提起，在该闭合位置中所述阀板(10，11)贴靠在相应的所述阀座(6，7)处， -承载单元(9)，由该承载单元来承载所述阀板(10，11)且该承载单元具有驱动元件(22)以用于在所述中间位置与所述闭合位置之间调节所述第一和第二阀板(10，11)，该驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室(25，26)的气缸(24)和布置在所述气缸室(25，26)中的带有活塞杆(34，35)的至少一个活塞(27，28)，该活塞杆与所述阀板中的一个(10，11)相连接， 其特征在于，所述承载单元(9)具有至少一个第一和第二支杆(19，20)，所述驱动元件(22)的气缸(24)与该支杆刚性地相连接，其中，所述气缸(24)相应地跨越处在所述第一和第二支杆(19，20)之间的中间腔，该支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在所述驱动元件(22)的活塞杆 (34，35)旁边。
2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述支杆(19，20)具有处于垂直于所述阀开口(2，3)的轴线(4，5)的纵向延伸部。
3.根据权利要求1或2所述的真空阀，其特征在于，所述承载单元(9)安装在至少一个阀杆(12)处，该阀杆可由阀杆驱动装置(13)在所述阀杆(12)的纵轴线的方向上进行调节以用于在所述打开位置与所述中间位置之间调节所述第一和第二阀板(10，11)。
4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于，所述支杆(19，20)具有处于垂直于所述至少一个阀杆(12)的纵向延伸部的纵向延伸部。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，在所述相对而置的侧部上侧向地在所述驱动元件(22)的活塞杆(34,35)旁边相应地布置有所述承载单元(9)的正好一个支杆(19，20)。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，相应的支杆(19，20)接合到在相应的所述气缸(24)的周面(41)中的凹处(42，43)中。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，在相应的气缸(24)中布置有第一活塞(27)和第二活塞(28),该第一活塞的活塞杆(34)与所述第一阀板(10)相连接，该第二活塞的活塞杆(35)与所述第二阀板(11)相连接。
8.根据权利要求7所述的真空阀，其特征在于，相应的活塞杆(34，35)密封地从相应的所述气缸室(25，26)中引出并且存在柔性的膜片(57，58)，该膜片在一侧与相应的所述气缸(24)密封地相连接而在另一侧与相应的所述活塞杆(34，35)密封地相连接，其中，位于相应的所述膜片(57，58)与相应的所述气缸(24)之间的中间容积(60，61)与环境相连接或者被抽空。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，相应的所述阀板(10，11)与所述承载单元(9)通过至少两个连接装置来连接，该连接装置相应地具有连接件(45)和容纳件(46，46’)，该连接件具有喉部区段(47)和扩大的、相对于所述喉部区段(47)突出的头部区段(48)，该容纳件相应地具有容纳切口(49)，所述连接件(45)的喉部区段(47)可引入到该容纳切口中直至引入到所述连接件(45)的终端位置中，并且该容纳切口具有切口宽度，该切口宽度至少在所述连接件(45)在其终端位置中位于其中的区域中小于所述连接件(45)的头部区段(48)的在所述切口宽度的方向上测量的直径，其中，为了防止所述连接件(45)从所述容纳切口(49)中移出，所述连接装置的所述容纳件(46’)中的至少一个可围绕旋转轴线(80)从引入位置旋转到卡锁位置中，在该引入位置中，所属的所述连接件(45)可利用其喉部区段(47)引入到所述容纳切口(49)中直至引入到所述终端位置中。
10.根据权利要求9所述的真空阀，其特征在于，为了通过连接装置连接所述活塞杆(34，35)与所述阀板(10，11)，相应的所述连接装置的连接件(45)固定在相应的所述活塞杆(34，35)处或者构造成与该活塞杆成一体，而相应的所述连接装置的所属的容纳件(46，46’)安装在相应的所述阀板(10，11)处或者构造成与该阀板成一体。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述承载单元(9)附加地具有至少一个引导元件(23)，该引导元件包括壳体(65)和由所述壳体(65)可移动地引导的至少一个引导杆(73)，该引导杆与所述阀板中的一个(10，11)相连接，其中，所述壳体(65)固定在所述第一和第二支杆(19，20)处并且在此跨越处在所述第一和第二支杆(19，20)之间的所述中间腔(21)。
12.根据权利要求11所述的真空阀，其特征在于，所述引导元件(23)具有密封的内腔(66),该内腔由所述壳体(65)和关于所述阀开口(2,3)的轴线(4,5)的方向在相对而置的侧部上由柔性的膜片(67，68)来限制，并且在该内腔中可移动地支承有所述至少一个引导杆(73)并且该内腔通过管路(78)与环境相连接或被抽空。
13.根据权利要求9和权利要求11或12中任一项所述的真空阀，其特征在于，为了通过连接装置来连接所述引导杆(73)与所述阀板(10，11)，相应的所述连接装置的连接件(45)与相应的所述引导杆(73)刚性地相连接或者构造成与该引导杆成一体，而相应的所述连接装置的所属的容纳件(46，46`’)安装在相应的所述阀板(10，11)处。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述支杆(19，20)为挤压型材。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述承载单元(9)在相邻的驱动元件(22)之间具有自由空间，该自由空间贯穿所述承载单元(9)。
【文档编号】F16K51/02GK103574139SQ201310304286
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年7月19日 优先权日:2012年7月19日
【发明者】F.埃尔内 申请人:Vat 控股公司