技术总结
本发明公开了一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座，内圈以及外圈，所述的内圈、外圈共圆心，且内圈与外圈之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块，第二驱动模块，第三驱动模块；所述的驱动模块包括压电叠堆，位移放大机构；所述压电叠堆设置在位移放大机构的内部，本发明通过相应的控制，将三组驱动模块运动的相互配合，实现各方向对称的作动范围，且能够实现X轴平动和Y轴平动；通过利用三角放大原理将压电叠堆的输出位移放大，可用小的压电叠堆控制大范围，此机构具有结构简单、运动范围大、高精度等特点，能有应用显微镜的精密定位、光学防抖、精密制造等领域。
技术研发人员：崔志勇;黄卫清;孙梦馨;王寅
受保护的技术使用者：南京航空航天大学
文档号码：201611036623
技术研发日：2016.11.23
技术公布日：2017.06.13