适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件的制作方法

本实用新型涉及一种减震组件，尤其涉及一种适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件。

背景技术：

就现有的晶元制造来看，大型半导体工厂采用的第四代天车系统(晶圆厂内天车搬运系统下货，又称自动物料搬送系统)来运输晶元。但是，现有的晶圆厂内天车搬运系统下货，结构过于简单，缺乏必要的缓冲组件，导致运送期间振动较大，震动容易对晶圆片产生影响，可能会导致晶圆片震动破裂，并影响放置效果。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件。

本实用新型的适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，包括有支架，其中：所述支架为矩形支架，所述矩形支架通过若干缓冲组件，连接有上位平台。

进一步地，上述的适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其中，所述缓冲组件包括有圆柱缓冲减震器，所述圆柱缓冲减震器的上下两端均设置有定位片，所述定位片上设置有连接螺杆。

更进一步地，上述的适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其中，所述圆柱缓冲减震器为橡胶桶，或是为弹簧套筒。

更进一步地，上述的适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其中，所述矩形支架，向内延伸设置有延展条，所述缓冲组件设置有延展条上。

更进一步地，上述的适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其中，所述上位平台上设置有用于缓冲组件连接的衔接孔，所述衔接孔上安装有锁紧螺母，所述上位平台还设置有用于其他器械定位的定位孔。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、设有独立的缓冲组件，有效减少振动，避免晶圆震动损坏。

2、圆柱缓冲减震器结构简单，易于装配。

3、整体结构稳固，易于使用与维护。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件的结构示意图。

图2是圆柱缓冲减震器的构造示意图。

图中各附图标记的含义如下。

1矩形支架 2上位平台

3圆柱缓冲减震器 4定位片

5连接螺杆 6延展条

7定位孔

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1的适用于圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，包括有支架，其与众不同之处在于：支架为矩形支架1，矩形支架1通过若干缓冲组件，连接有上位平台2。

结合本实用新型一较佳的实施方式来看，为了拥有较佳的缓冲效果，能够在实际使用时，大幅度减少因天车与轨道移动时产生振动所造成的颗粒扬起。同时，所采用的缓冲组件包括有圆柱缓冲减震器3，圆柱缓冲减震器3的上下两端均设置有定位片4，定位片4上设置有连接螺杆5。当然，为了有效提升缓冲效果，圆柱缓冲减震器3为橡胶桶，制造起来较为便捷。同时，针对某些特殊应用的需要，亦可以采用弹簧套筒。

进一步来看，采用的矩形支架1，向内延伸设置有延展条6，缓冲组件设置有延展条6上。这样，更有利于缓冲组件的定位。同时，可以实现缓冲组件的环状分布，满足多方位的缓冲需要，尽可能消除颗粒扬起的缺陷。

再进一步来看，考虑到实际装配的便利，上位平台2上设置有用于缓冲组件连接的衔接孔，衔接孔上安装有锁紧螺母(图中未示出)。实际装配时，可通过锁紧螺母实现对缓冲组件的连接锁定。当然，考虑到后续其他器件的安装定位需要，上位平台2还设置有用于其他器械定位的定位孔7。

通过上述的文字表述并结合附图可以看出，采用本实用新型后，拥有如下优点：

1、设有独立的缓冲组件，有效减少振动，避免晶圆震动损坏。

2、圆柱缓冲减震器结构简单，易于装配。

3、整体结构稳固，易于使用与维护。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。