一种真空涂层设备新型卫星盘装置的制作方法

本实用新型涉及一种卫星盘装置，具体是一种真空涂层设备新型卫星盘装置。

背景技术：

新型卫星盘主要负责真空涂层设备中, 通过与离子束接触形成最大且有效用的装载量，卫星盘装置在真空涂层的过程中，对装载量和涂层质量起着非常关键的作用。卫星盘是根据真空腔体不同尺寸，形状和涂层要求来设计的，其直径120mm是通过计算和多次实验得到的最佳值，在功能上既能要满足涂层的要求，同时又能保证涂层的均匀性。现有的类似装置结构不灵活，难以于配置，工作性能不稳定，大大影响了生产效率，同时也影响了涂层品质。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种真空涂层设备新型卫星盘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种真空涂层设备新型卫星盘装置，包括卫星盘座，所述的卫星盘座中心轴位置设有卫星盘固定孔，卫星盘固定孔方便固定，卫星盘固定孔插入转轴，转轴下方一侧依次设有行星齿轮和从动齿轮，卫星盘座上均匀设有多组行星轴，行星轴通过轴承插入设置在卫星盘座，行星轴底端设有小齿轮。

作为本实用新型进一步的方案：所述的卫星盘座用不锈钢制作。

作为本实用新型再进一步的方案：所述的卫星盘座通过从动齿轮与转盘齿轮相连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述的卫星盘座通过小齿轮与行星齿轮啮合与T台装置连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述的卫星盘座直径为120mm，小齿轮直径为33.6mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型卫星盘装置结构灵活，易于配置，工作性能稳定，最大幅度提高了生产效率，同时保证了涂层品质。

附图说明

图1为真空涂层设备新型卫星盘装置的结构示意图。

图2为真空涂层设备新型卫星盘装置的尺寸示意图。

图3为真空涂层设备新型卫星盘装置中轴承的结构示意图。

图4为真空涂层设备新型卫星盘装置中转轴的结构示意图。

图中：1、卫星盘固定孔，2、行星轴，3、卫星盘座，4、小齿轮，5、轴承，6、转轴，7、行星齿轮，8、从动齿轮。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例一：请参阅图1-4，一种真空涂层设备新型卫星盘装置，包括卫星盘座3，卫星盘座3中心轴位置设有卫星盘固定孔1，卫星盘固定孔1方便固定，卫星盘固定孔1插入转轴6，转轴6下方一侧依次设有行星齿轮7和从动齿轮8，卫星盘座3上均匀设有多组行星轴2，通过轴承5插入设置在卫星盘座3，行星轴2底端设有小齿轮4。卫星盘用不锈钢制作，卫星盘是通过从动齿轮8与转盘齿轮相连接，需要涂层的工件放置在卫星盘上就可完成两转要求。而卫星盘上设置的T台装置（直径35mm）通过小齿轮4与行星齿轮7啮合，需要涂层的工件放置在T台上如细长工件，镶件等小尺寸工件则可以完成三转要求，因此工件在涂层过程中，可以按要求配置不同的卫星盘，这样需要涂层的工件就可到达致两或三转要求， 从而确保最大装载量，并且有效保证涂层的均匀性。

实施例二：与实施例一的区别在于所述的卫星盘座3直径为120mm，小齿轮4直径为33.6mm。

需要特别说明的是，本申请中行星轴、卫星盘座等为现有技术的应用，各个元件的相互组合连接为本申请的创新点，其有效解决了卫星盘装置结构不灵活，难以于配置，工作性能不稳定的问题。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。