1.一种三自由度微纳定位平台，包括基座，其特征在于，所述三自由度微纳定位平台还包括装配于所述基座上的第一运动平台、设置在所述第一运动平台上的第二运动平台、以及设置在所述第二运动平台上的第三运动平台，所述第一运动平台、所述第二运动平台、以及所述第三运动平台均为惯性粘滑式跨尺度运动平台，所述惯性粘滑式跨尺度运动平台包括保护座、以及位于所述保护座内的运动机构，所述运动机构包括压电陶瓷、以及位于所述压电陶瓷两侧且由所述压电陶瓷驱动的运动组件和惯性组件，所述第一运动平台的运动组件由所述第一运动平台的压电陶瓷驱动其沿x轴方向移动，所述第二运动平台设置在所述第一运动平台的运动组件上且随所述第一运动平台的运动组件沿x轴方向移动，所述第二运动平台的运动组件由所述第二运动平台的压电陶瓷驱动其沿y方向移动，所述第三运动平台设置在所述第二运动平台的运动组件上且随所述第二运动组件沿y轴方向移动，所述第三运动平台的运动组件由所述第三运动平台的压电陶瓷驱动沿z轴方向移动。
2.如权利要求1所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述运动组件包括运动传动部件和与所述运动传动部件相连接的运动输出部件，所述惯性组件包括惯性传动部件和与所述惯性传动部件相连接的摩擦部件，所述压电陶瓷具有相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述运动传动部件相接触，所述第二端与所述惯性传动部件相接触，所述运动传动部件和所述惯性传动部件通过弹性形变组件连接，所述保护座上设置有用于对所述运动输出部件进行导向的交叉滚珠导轨，所述运动输出部件与所述交叉滚珠导轨之间的摩擦力小于所述摩擦部件与所述保护座相接触产生的摩擦力。
3.如权利要求1所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述第二运动平台位于所述第一运动平台的上方且相互平行，所述第三运动平台位于所述第二运动平台的侧面且相互垂直。
4.如权利要求2所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述惯性传动部件包括梯形件和连接件，所述摩擦部件包括相对设置在所述梯形件两侧的两个弹臂，每个所述弹臂抵持所述保护座的侧壁，每个所述弹臂与所述保护座的侧壁之间的夹角大于0。
5.如权利要求4所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述弹臂与所述梯形件之间通过紧固件可拆卸连接，所述弹臂上设置有至少两个连接孔，所述弹臂通过所述紧固件穿入其中一个所述连接孔内进而安装在所述梯形件上。
6.如权利要求5所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述弹臂与所述保护座的侧壁之间设置有滚珠，所述弹臂上设置有滚珠凹槽，所述滚珠设置在所述滚珠凹槽内。
7.如权利要求4所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述连接件为位于所述弹性形变组件框架内的t形部，所述压电陶瓷的第二端与所述t形部相接触。
8.如权利要求2所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述弹性形变组件为框架结构，所述压电陶瓷设置于所述弹性形变组件的框架中。
9.如权利要求2所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述惯性传动部件、运动传动部件和弹性形变组件为一体式结构。
10.如权利要求2所述的三自由度微纳定位平台，其特征在于，所述惯性粘滑式跨尺度运动平台还包括有光栅，所述光栅位于所述运动机构的下方。