一种具有自动清洗功能的闸阀的制作方法

[0001]
本实用新型涉及一种闸阀，尤其涉及一种具有自动清洗功能的闸阀。


背景技术：

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请参阅附图1，目前在半导体硅片生产工艺中，清洗机构包括清洗腔（200）、执行清洗腔（200）的入口打开和关闭操作的闸阀本体（100）、检视视窗(201)、清洗喷嘴（300）、硅片（400）和硅片支架（202）；工作时，从清洗喷嘴（300）喷出的超纯水（310）对硅片支架（202）上的硅片（400）进行冲洗，这样超纯水（310）就会到处飞散，同时超纯水（310）与前序清洗中的酸性物质相结合，形成附着在清洗腔（200）内壁上的液体（301），但是在长时间的生产加工中发现，这些液体（301）会带来如下问题：
[0003]
1）飞散的液体（301）溢出到硅片（400）的入口端，并且当打开闸阀（100）时，液体（301）会向下掉落，使设备受到损坏。
[0004]
2）液体（301）是超纯水（310）与前序清洗中酸性物质混合的腐蚀性物质，对人体有害。
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3）飞散的液体（301）凝结到硅片（400）出入口端的上部，并且硅片（400）进出时液体（301）掉落的话，会让硅片（400）产生缺陷，从而对生产产生不利的影响。
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所以急需设计一种能够快速有效的将液体（301）去除，从而避免硅片（400）受到损害的闸阀。


技术实现要素：

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本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种结构简单，能够快速将清洗过程中产生的液体进行去除的具有自动清洗功能的闸阀。
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为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种具有自动清洗功能的闸阀，包括与清洗腔入口相适配的闸阀；所述闸阀包括：
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闸阀本体；
[0010]
在所述闸阀本体的一端设有气体供给部和超纯水供给部；
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所述气体供给部和超纯水供给部并联设置在方向阀上；
[0012]
所述闸阀本体上与清洗腔入口相适配的一端设有护罩，且护罩与清洗腔的上下两端之间留有间隙；
[0013]
所述护罩与闸阀本体之间设有出口通道；
[0014]
所述出口通道一端与方向阀相通，另一端与所述清洗腔入口相通。
[0015]
进一步的，所述气体供给部和超纯水供给部呈u型设置在方向阀的同侧。
[0016]
进一步的，所述出口通道的数量为两个，且两个所述出口通道的一端并联设置在方向阀上，另一端的出口分别设置在护罩的上端和下端。
[0017]
进一步的，所述出口通道的出口末端形状为细缝或孔。
[0018]
进一步的，所述护罩在清洗腔入口内的一侧呈斜面状。
[0019]
进一步的，所述护罩的材质为聚四氟乙烯。
[0020]
进一步的，所述闸阀本体与清洗腔相匹配的一侧还设有o型密封圈。
[0021]
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
[0022]
本实用新型方案的具有自动清洗功能的闸阀，整体结构简单，可以提前切断由于液体飞散而损坏设备和人体的危险性的传统问题，从而防止硅片缺陷，对提高生产率有积极作用，并且提升了企业的生产竞争力，具有较高的实用性。
附图说明
[0023]
下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：
[0024]
附图1为现有技术的结构示意图；
[0025]
附图2为本实用新型的结构示意图；
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附图3为硅片通过酸性溶液清洗后实用新型与清洗腔相配合的结构示意图；
[0027]
附图4为通入超纯水后实用新型与清洗腔相配合的结构示意图；
[0028]
附图5为通入pn2后实用新型与清洗腔相配合的结构示意图；
[0029]
其中：闸阀本体100、气体供给部110、方向阀120、超纯水供给部130、出口通道140、o型密封圈150、护罩160、清洗腔200、检视视窗201、硅片支架202、清洗喷嘴300、液体301、pn2302
、
酸性溶液304、超纯水310、硅片400。
具体实施方式
[0030]
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
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请参阅附图2，本实用新型所述的一种具有自动清洗功能的闸阀，包括与清洗腔200入口相适配的闸阀；其中，所述闸阀包括：闸阀本体100；在所述闸阀本体100的一端设有气体供给部110和超纯水供给部130；所述气体供给部110和超纯水供给部130并联设置在方向阀120上；所述闸阀本体100上与清洗腔200入口相适配的一端设有护罩160，护罩160与清洗腔200的上下两端之间留有间隙；所述护罩160与闸阀本体100之间设有出口通道140；所述出口通道140一端与方向阀120相通，另一端与所述清洗腔200入口相通。
[0032]
作为进一步的优选实施例，所述气体供给部110和超纯水供给部130呈u型设置在方向阀120的同侧。
[0033]
作为进一步的优选实施例，所述出口通道140的数量为两个，且两个所述出口通道140的一端并联设置在方向阀120上，另一端的出口分别设置在护罩160的上端和下端。
[0034]
作为进一步的优选实施例，所述出口通道140的出口末端形状为细缝或孔，当然也可以为其它形状，只需能进行液体和气体的流通即可。
[0035]
作为进一步的优选实施例，所述护罩160在清洗腔200入口内的一侧呈斜面状，这样可以使得位于护罩上部飞散的液体301可以从顶部流下来。
[0036]
作为进一步的优选实施例，所述护罩160的材质为聚四氟乙烯，这种材料具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂；同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，采用这种材质的护罩160使用寿命长。
[0037]
作为进一步的优选实施例，所述闸阀本体100与清洗腔160相匹配的一侧还设有o型密封圈150，增加了o型密封圈150后，清洗腔200和闸阀本体100彼此紧密结合，以防止液
体301流出至外部，护罩的上下两端。
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请参阅附图3，当清洗腔内对硅片清洗完成后残留有酸性溶液304，此时将超纯水从超纯水供给部130流入，方向阀120打开，超纯水流入到两个出口通道140中，再从出口通道140的出口流入到护罩和清洗腔内壁之间的间隙中，最后流入到清洗腔内壁，形成了液体301，请参阅附图4；接着将pn2通入到气体供给部110中，pn2流经两个出口通道140，再从出口通道140的出口流出，将液体301冲走，避免液体301积累在清洗腔200的入口处，避免了损坏设备和人体的危险性的传统问题，同时也能避免硅片受损。
[0039]
本实用新型的具有自动清洗功能的闸阀，整体结构简单，可以提前切断由于液体飞散而损坏设备和人体的危险性的传统问题，从而防止硅片缺陷，对提高生产率有积极作用，并且提升了企业的生产竞争力，具有较高的实用性。
[0040]
以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。