1.一种用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该些感测单元系选自于压力感测器、力量感测器、温度感测器、光学感测器、影像感测器、振动感测器、惯性感测器及电流感测器所组成之族群中之至少一者或至少两者。
3.如权利要求2所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该些感测单元之复数个取样区间系循序或重叠。
4.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系接收及分析设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元中之该至少一者先后获得之该两感测数据间或者是该些感测单元中之该至少一者所获得之该感测数据与该预设数据间于讯号时域或频域上是否存在该差异，借以判断该智慧型阀门、该制程室或该周边单元是否存在该异常现象。
5.如权利要求4所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系进一步分析该差异是否超过一阀值，借以判断该智慧型阀门、该制程室或该周边单元是否存在该异常现象。
6.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元更接收及分析设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元中之该至少一者之该感测数据，借以判断该制程室是否放置有一晶圆或该晶圆是否破损。
7.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元更接收及分析设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元中之该至少一者之该感测数据，借以判断该第一密封表面及该第二密封表面上之微粒数量与分布。
8.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元更指定复数个权重给设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之对应之该些感测单元之该些感测数据，借以进行加权边缘运算及决策。
9.如权利要求8所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系依据该封合件以该移动模式进行往复移动时所花费时间，推算出设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元取得该些感测数据时，该封合件以该移动模式进行往复移动时之复数个当前位置。
10.如权利要求9所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中对应于该些感测数据之该些权重系对应于该封合件以该移动模式进行往复移动时之该些当前位置。
11.如权利要求8所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该封合件之该第二密封表面之位置越接近该阀体之该第一密封表面，则设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元之该些感测数据之该些权重越高。
12.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该封合件之一移动速度系随着该封合件之该第二密封表面相距该关闭位置之一第一间距值减少而对应地降低。
13.如权利要求12所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中当该第一间距值系小于一第一临界值时，该封合件之该移动速度系随着该封合件之该第二密封表面相距该关闭位置之该第一间距值减少而对应地降低，且当该第一间距值大于该第一临界值时，该封合件之该移动速度系呈加速、减速或等速。
14.如权利要求1或8所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该封合件之一移动速度系随着该封合件之该第二密封表面相距该开启位置之一第二间距值减少而对应地降低。
15.如权利要求14所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中当该第二间距值系小于一第二临界值时，该封合件之该移动速度系随着该封合件之该第二密封表面相距该开启位置之该第二间距值减少而对应地降低，且当该第二间距值大于该第二临界值时，该封合件之该移动速度系呈加速、减速或等速。
16.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该封合件之一移动速度系随着设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元所测得之该阀体之该阀口之内部与外部之压力差增加而对应地降低。
17.如权利要求1所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系将设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元之该些感测数据输入一学习训练模型进行边缘运算及决策，借以对应地线上即时更新该运作参数。
18.如权利要求17所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元更将设置于该智慧型阀门、该制程室和/或该周边单元上之该些感测单元中之该至少一者之该感测数据校正输入至该学习训练模型中之该些感测单元中之至少另一者之该感测数据，借以进行边缘运算及决策。
19.如权利要求18所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系利用一学习训练架构依据复数个训练资料建立该学习训练模型，该些训练资料包含训练用之运作参数及训练用之感测数据。
20.如权利要求19所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系线下利用该学习训练架构依据该些训练资料建立该学习训练模型。
21.如权利要求20所述的用于真空制程的智慧型阀门，其特征在于，其中该处理及控制单元系将该些感测数据输入该学习训练模型进行边缘运算及决策，借以线上即时更新该运作参数以便将该封合件之该移动模式调整为一最适移动模式以和/或者将该周边单元之该运作环境调整为一最适运作环境，使得该制程室进行该真空制程。
22.一种真空制程系统，其特征在于，至少包含：