所述电动化单元主体连接。由此，通过简单的机构就能够转动手柄。另外，能够抓持尺寸精度较好的手柄轴而非尺寸精度较差的手柄的旋钮部。
[0070]另外，在所述手动载物台用电动化单元中，优选的是，所述电动化单元主体具备止动件，所述止动件防止所述夹持固定部脱落。由此，能够避免夹持固定部打开幅度过大而脱落的情况，因此是优选的。
[0071]另外，在所述手动载物台中，优选的是，所述滑动部件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部，在夹入所述滑动部件或所述固定部件侧分别具备弹性体，利用所述弹性体的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。如此，在通过两侧的夹持固定部夹入滑动部件或固定部件时，通过弹性体这样的简单机构从两侧挤压滑动部件或固定部件，能够可靠地防止共同转动。
[0072]另外，在所述手动载物台中，优选的是，所述滑动部件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部具备弹簧，所述弹簧连接所述夹持固定部彼此，利用所述弹簧的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。如此，在通过两侧的夹持固定部夹入滑动部件或固定部件时，通过弹簧这样的简单机构从两侧推压滑动部件或固定部件，能够可靠地防止共同转动。
[0073]另外，在所述手动载物台中，优选的是，被安装上的所述电动化单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部件的手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。如此，除了所述手动操作及自动操作以外，通过停止自动操作模式，能够通过手柄驱动用连接部用手动微调手柄。
[0074]发明的效果
[0075]如以上所述的，按照本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台，它们相对于通过手动转动手柄来使滑动部件移动的以往的手动载物台，能够提供一种通过装拆简单的机构就能自由地选择自动与手动并能通过手动进行微调的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台。
【附图说明】
[0076]图1是表示本发明的手动载物台用电动化单元的第一实施方式的概略结构立体图，是表示附有电动化单元的手动载物台的第一实施方式的概略结构分解立体图。
[0077]图2是图1的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的侧视图。
[0078]图3是本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的概略结构立体图。
[0079]图4是图3的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的俯视图。
[0080]图5是从图3的A-A方向看到的侧视图和从B-B方向看到的侧视图。
[0081]图6是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图及侧视图。
[0082]图7是成为本发明对象的X轴载物台(手柄加长型)的俯视图及侧视图。
[0083]图8是成为本发明对象的XY轴载物台的俯视图及侧视图。
[0084]图9是成为本发明对象的Z轴载物台的俯视图及侧视图。
[0085]图10是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。
[0086]图11是成为本发明对象的Z轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。
[0087]图12是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。
[0088]图13是成为本发明对象的X轴载物台(燕尾槽进给丝杠型)的俯视图、仰视图及侧视图。
[0089]图14是成为本发明对象的X轴载物台(燕尾槽细进给丝杠型)的俯视图、仰视图及侧视图。
[0090]图15是成为本发明对象的X轴载物台(燕尾槽细进给丝杠型)的俯视图、仰视图及侧视图。
[0091]图16是成为本发明对象的X轴载物台的俯视图、仰视图及侧视图。
[0092]图17是表示本发明的手动载物台用电动化单元的第三实施方式的概略结构的立体图，是表示附有电动化单元的手动载物台的第三实施方式的概略结构的分解立体图。
[0093]图18是图17的电动化单元的转动防止用夹具、马达连接部及马达结构的立体图。
[0094]图19是表示进给丝杠式手动载物台与电动化单元的连接方法的立体图。
[0095]图20是附有电动化单元的手动载物台的A-A剖视图(局部)。
[0096]图21是表示本发明的手动载物台用电动化单元的第四实施方式的概略结构的立体图，是表示附有电动化单元的手动载物台的第四实施方式的概略结构的局部分解立体图。
[0097]图22是表示图21所示的附有电动化单元的手动载物台的整体结构的立体图。
[0098]图23是表示电动化单元结构的立体图。
[0099]图24是表示进给丝杠式手动载物台与电动化单元的连接方法的立体图。
[0100]图25是图22所示的附有电动化单元的手动载物台的B-B剖视图。
[0101]图26是表示作为本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的变形的、第一实施例的概略结构的立体图。
[0102]图27是图26的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的俯视图。
[0103]图28是表示作为本发明的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的变形的、第二实施例的概略结构的立体图。
[0104]图29是图28的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台的俯视图。
[0105]图30是从手动载物台侧看图28的手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台时的立体图。
[0106]附图标记
[0107]I，30，200，300，400，500 (手动载物台用)电动化单元
[0108]2，40，440 电动化单元主体
[0109]3,203,303 夹钳(转动防止用夹具，转动防止部)
[0110]4，43，443，543 布线束
[0111]5，205，305 滑动固定螺丝
[0112]6 滚花轮
[0113]7,207 联轴器用爪(手柄抓持部)
[0114]8 夹钳开闭用螺丝
[0115]208，308 马达连接部
[0116]9,209,309 联轴器(手柄驱动用连接部)
[0117]10，100，210，310，410，510 手动载物台
[0118]11，44，211，311，444，544 固定部件
[0119]12，31，212，312，431，531 滑动部件
[0120]13，213，313 手柄
[0121]14，32，214，314，432，532 精密设备安装孔
[0122]15,41,441,541 齿条
[0123]16 小齿轮
[0124]17，38，217，317，438，538 基台固定孔
[0125]18，45，218，318 手柄轴
[0126]19,119,219 (手柄)旋钮部
[0127]20，50，220，320，420，520 附有电动化单元的手动载物台
[0128]21，46 齿轮
[0129]22 正齿轮
[0130]23 转轮
[0131]24,424,524 夹持固定部
[0132]33 调整孔
[0133]34，34a，34b 贯穿螺栓(六角螺栓)
[0134]35，35a，35b 盖形螺母
[0135]36，36a，36b 夹板
[0136]37，437，537 微调旋钮
[0137]39 贯穿螺栓紧固螺丝
[0138]439，539 马达
[0139]42,442,542 安装螺栓
[0140]47，447，547 固定螺丝
[0141]248，348 齿轮马达
[0142]249 连接杆
[0143]251 块体
[0144]252，352 块体固定用孔
[0145]253，353 马达轴
[0146]254 连接杆固定用螺丝
[0147]255 马达连接部固定用螺丝
[0148]256 连接杆固定用孔
[0149]257 马达连接部固定用孔
[0150]258，358 马达安装用孔
[0151]259，359 手柄轴支承台
[0152]260，360 手柄轴贯穿孔
[0153]261 手柄固定用止动件
[0154]362 马达连接部固定用螺丝
[0155]363 马达连接部固定用孔
[0156]364 转动防止部固定用螺丝
[0157]365 转动防止部固定用孔
[0158]366 止动件用螺丝
[0159]367 止动件用孔
[0160]368 连接轴
[0161]450 弹性体
[0162]550 弹簧
[0163]551 弹簧承受件
[0164]552 夹持固定部防脱件
[0165]553 夹持固定部反作用力盘
【具体实施方式】
[0166](手动载物台用电动化单元的第一实施方式的构成)
[0167]以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元I的第一实施方式。图1是手动载物台用电动化单元I的第一实施方式的概略结构的立体图。手动载物台用电动化单元I安装于手动载物台10，在手动载物台10上发挥自动载物台的功能。另外，图2是图1的手动载物台用电动化单元I的侧视图。
[0168]手动载物台10的滑动部件12与固定部件11例如通过齿条和小齿轮式、进给丝杠式等驱动机构连接。图1虽表示齿条15及小齿轮16 (参照图2)啮合并滑动的齿条和小齿轮式手动载物台的情况，但是例如也可以是进给丝杠式手动载物台等其他手动载物台。此夕卜，在图1所示的手动载物台10的情况下，手柄13及手柄的旋钮部19安装于滑动部件12。此外，通过手柄13的转动，与滑动部件12连接的小齿轮16转动，并在安装在固定部件上的齿条15上移动。此外，在将手柄13安装于固定部件11上的情况下，通过手柄13的转动，与固定部件11连接的小齿轮16转动，并在安装在滑动部件12上的齿条15上移动。手动载物台10的利用者通过对手柄的旋钮部19以使其绕轴转动的方式进行转动操作，使滑动部件12相对于固定部件11移动，由此进行精密设备的位置的调整。另外，通过拧紧手动载物台10的图2所示的滑动固定螺丝5，能够将滑动部件12固定于固定部件11上的任意位置。此外，通过旋松滑动固定螺丝5，能够移动滑动部件12。另外，精密设备(未进行图示)通过紧固件安装于精密设备安装孔14。此外，通过将紧固件拧入基台固定孔17，将固定部件11固定于基台(未进行图示)。
[0169]本发明的手动载物台用电动化单元I安装于手动载物台10并使手动载物台10的滑动部件12的移动电动化。如图1所示，所述电动化单元I由作为转动防止用夹具的夹钳3、作为手柄驱动用连接部的联轴器9、作为手柄抓持部的联轴器用爪7以及内置于电动化单元主体2中的马达(未进行图示)构成。另外，在电动化单元主体2上安装有布线被集束而成的布线束4。另外，手动载物台10按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的电动化单元I除了燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台以外，也适用于在所述手动载物台10中能够安装电动化单元I的手动载物台10。
[0170]夹钳3从两侧夹入手动载物台10的滑动部件12或固定部件11，产生由马达转动产生的扭力的反作用力，防止电动化单元I的共同转动。另外，联轴器9保持与手柄轴18大致同轴并与手柄13结合。此外，通过马达(未进行图示)使所述联轴器9转动。另外，联轴器用爪7抓持手柄13的旋钮部19以将联轴器9的转动传递至手柄13。该联轴器用爪7上设置有“爪”状夹头装置，夹入并以装拆自如的方式抓持手柄13的旋钮部19。
[0171]如图2所示，所述夹钳3成为前端部相互打开或闭合并以装拆自如的方式夹入滑动部件12或固定部件11的开闭机构。该开闭机构通过利用夹钳开闭用螺丝8使齿轮21以绕轴转动的方式转动，由此使连接的转轮23转动并进行一方的夹钳3的前端部的开闭。另外，通过使与转轮23啮合的正齿轮22与转轮23的转动联动地转动，进行另一方的夹钳3的前端部的开闭。此外，通过安装于电动化单元主体2上的夹钳开闭用螺丝8的转动方向及转动量，调整所述一对夹钳3的前端部的开闭方向及开闭幅度。如此，通过一对夹钳3的前端部相互打开或闭合就能够简单地夹入滑动部件12或固定部件11。另外，通过所述开闭机构也可以夹入不同尺寸的滑动部件12或固定部件11。另外，通过所述开闭机构也能够可靠地夹入尺寸精度存在偏差的滑动部件12或固定部件11。
[0172]联轴器9是与手柄13结合的机构，在圆形的外周具备作为旋钮部的滚花轮6。如果在联轴器用爪7抓持住手柄13的旋钮部19的状态下，则通过用手动对滚花轮6进行转动操作，由此能够使手柄13的旋钮部19转动来微调精密设备的位置。
[0173]如此，本发明的手动载物台用电动化单元I相对于手动载物台10装拆自如。此外，通过将电动化单元I安装于手动载物台10而切换成自动操作模式(或电动操作模式)。另夕卜，通过将电动化单元I从手动载物台10去掉而切换成手动操作模式。即，通过本发明的手动载物台用电动化单元I能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。此外，即便是将电动化单元I安装于手动载物台10的自动操作模式(或电动操作模式)，也能够通过用手动转动滚花轮6来微调精密设备的位置。由此，自动操作模式(或电动操作模式)时也能够实现手动操作模式的优点。
[0174](手动载物台用电动化单元的第二实施方式的构成)
[0175