部件312的移动电动化。如图21所不，所述电动化单兀300由保持与手柄轴318大致同轴并进行连接的手柄驱动用连接部309、使手柄驱动用连接部309转动的齿轮马达348、防止齿轮马达348的共同转动的转动防止部303、以及与齿轮马达348连接的马达连接部308构成。此外，手动载物台310按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本实施方式的电动化单元300适用于进给丝杠式载物台。
[0208]手柄驱动用连接部309使手柄轴318与马达轴353联动。如图25的剖视图所示，手柄驱动用连接部309的一端与从齿轮马达348突出的马达轴353连接，另一端与手柄的手柄轴318连接。此外，手柄驱动用连接部309由于以同轴的方式连接手柄轴318与马达轴353，所以能够使手柄313的手柄轴318与齿轮马达348的马达轴353的转动联动。
[0209]如图23所示，转动防止部303与马达连接部308及手柄轴支承台359 —体成形，呈L形。此外，可以将手柄驱动用连接部309稳定地夹入所述L形中。由此，成为紧凑的手动载物台用电动化单元300 ο另外，如图24所示，转动防止部303通过转动防止部固定用螺丝364固定于设置在手动载物台310的固定部件311端部的两个部位的块体固定用孔352。所述转动防止部固定用螺丝364在手动载物台310的固定部件311端部的两个部位，转动受到限制。另外，如图23所示，马达连接部308通过马达连接部固定用螺丝362贯穿马达连接部固定用孔363而固定于马达安装用孔358。所述马达连接部固定用螺丝362的其中三个贯穿设置于马达连接部308的马达安装用孔358，下部的一个贯穿转动防止部303及马达连接部308。如此，转动防止部303通过固定于手动载物台310及马达348的结构能够防止马达348的共同转动。
[0210]手柄驱动用连接部309与从手柄去掉了旋钮部的手柄轴318连接。此外，手柄驱动用连接部309通过与手柄轴318连接的连接轴368与手柄轴318连接。S卩，由于手动载物台310机种的不同，手柄轴318存在尺寸不同的情况。在该情况下，能够使用适合该手动载物台310机种的手柄轴318的连接轴368与手柄驱动用连接部309连接。如此，只要预先准备必要的连接轴318就能够应对机种不同的手动载物台310。另外，通过用手动对手柄驱动用连接部309进行转动操作，能够使手动载物台的手柄轴318转动，由此能够微调精密设备的位置。
[0211]如此，本发明的手动载物台用电动化单元300相对于手动载物台310装拆自如。此夕卜，通过将电动化单元300安装于手动载物台310而切换成自动操作模式(或电动操作模式)。另外，通过将电动化单元300从手动载物台310去掉而切换成手动操作模式。S卩，通过本发明的手动载物台用电动化单元300能够选择手动操作或自动操作中的任意一方。此夕卜，即使是将电动化单元300安装于手动载物台310的自动操作模式(或电动操作模式)，也能够通过用手动转动手柄驱动用连接部309来微调精密设备的位置。由此，在自动操作模式(或电动操作模式)时也能够实现手动操作模式的优点。
[0212](附有电动化单元的手动载物台的第三实施方式的构成)
[0213]以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台220的第三实施方式。图17是附有电动化单元的手动载物台220的第三实施方式的分解立体图。附有电动化单元的手动载物台220是将手动载物台用电动化单元200与手动载物台210结合得到的载物台。另外，图20是图17的附有电动化单元的手动载物台220的剖视图。
[0214]此外，手动载物台210按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的手动载物台210适用于进给丝杠式载物台。
[0215]本附有电动化单元的手动载物台220是将电动化单元200安装在手动载物台210上得到的设备。此外，电动化单元200由防止马达共同转动的转动防止用夹具203、保持与手柄轴218大致同轴并进行连接的手柄驱动用连接部209、抓持手柄213的旋钮部219的手柄抓持部207、使手柄驱动用连接部209转动的齿轮马达248、以及与马达连接并安装有转动防止用夹具203的马达连接部208构成。
[0216]另外，通过用手动对被安装上的电动化单元200的手柄抓持部207进行转动操作来使被手柄抓持部207抓持的手柄213的旋钮部219转动，由此能够微调精密设备的位置。
[0217]如此，附有电动化单元的手动载物台220通过将电动化单元200安装于手动载物台210上而成为自动操作模式。另外，通过将电动化单元200从手动载物台210去掉而切换成手动操作模式。即，本发明的附有电动化单元的手动载物台220能够选择手动操作或自动操作(或电动操作模式)中的任意一方。此外，即使在将电动化单元200安装于手动载物台210的“自动操作”模式下，也能够通过用手动对手柄驱动用连接部209进行转动操作来微调精密设备的位置。由此，在自动操作(或电动操作模式)模式时，也能够实现手动操作模式的优点。
[0218](附有电动化单元的手动载物台的第四实施方式的构成)
[0219]以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台320的第四实施方式。图22是附有电动化单元的手动载物台320的第四实施方式的立体图。附有电动化单元的手动载物台320是将手动载物台用电动化单元300与手动载物台310结合得到的载物台。另外，图25是附有电动化单元的手动载物台320的剖视图。
[0220]此外，手动载物台210按照其滑动机构，例如包括燕尾槽式载物台、进给丝杠式载物台、直线滚珠式载物台、交叉滚子式载物台、简易滚珠式载物台、燕尾槽滑轨式载物台等，本发明的手动载物台310适用于进给丝杠式载物台。
[0221]本附有电动化单元的手动载物台320是将电动化单元300安装于手动载物台310得到的设备。此外，电动化单元300由保持与手柄轴318大致同轴并进行连接的手柄驱动用连接部309、使手柄驱动用连接部309转动的齿轮马达348、通过夹入手柄驱动用连接部309来防止共同转动的转动防止部303、以及与马达348连接的马达连接部308构成。另外，如图21所示，手柄驱动用连接部309为了适合手柄轴318的尺寸，也可以具备连接轴368。此外，图22表示无需具备所述连接轴368的情况。
[0222]另外，通过用手动对被安装上的电动化单元300的手柄驱动用连接部309进行转动操作，由此能够使手柄轴318转动，从而能够对精密设备的位置进行微调。
[0223]如此，附有电动化单元的手动载物台320通过将电动化单元300安装于手动载物台310而成为自动操作模式。另外，通过将电动化单元300从手动载物台310去掉而切换成手动操作模式。即，本发明的附有电动化单元的手动载物台320能够选择手动操作或自动操作(或电动操作模式)中的任意一方。此外，即使是将电动化单元300安装于手动载物台310的“自动操作”模式，也可以通过用手动使手柄驱动用连接部309转动来微调精密设备的位置。由此，在自动操作(或电动操作模式)模式时也能够实现手动操作模式的优点。
[0224](附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的第一实施例的构成)
[0225]以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元400的第二实施方式的第一实施例。该第一实施例是图3及图4所示的第二实施方式的变形。图26是表示手动载物台用电动化单元400的第一实施例概略结构的立体图。手动载物台用电动化单元400安装于手动载物台410，在手动载物台410上发挥自动载物台的功能。另外，图27是图26的手动载物台用电动化单元400的俯视图。在以下的第一实施例的记载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明其与第二实施方式的差异。因此，引用与图3及图4所示的第二实施方式有关的记载中的、在以下的与第一实施例有关的记载中没有的事项。
[0226]如图26及图27所示，所述电动化单元400的以夹入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定的夹持固定部424的结构与图3及图4所示的第二实施方式不同。
[0227]如图27所示，夹持固定部424以夹入滑动部件431或固定部件444的两侧的方式设置。此外，所述夹持固定部424在夹入滑动部件431或固定部件444侧分别具备弹性体450。由此，利用弹性体450的弹力以从两侧塞入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定。即，在将手动载物台用电动化单元400安装在手动载物台410上时，电动化单元400的左右的夹持固定部424稍微打开并夹入滑动部件431或固定部件444。弹性体450从夹持固定部424的与滑动部件431或固定部件444接触的面稍微突出。因此，弹性体450在夹持固定部424夹入滑动部件431或固定部件444时被压缩。如果左右的夹持固定部424夹入滑动部件431或固定部件444，则弹性体450被压缩而弹性变形并产生要复原的弹力。此外，利用弹性体450的所述弹力以从两侧塞入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定。如此，通过利用了弹性体450的简单的机构就能够可靠地防止共同转动。
[0228](附有电动化单元的手动载物台的第二实施方式的第二实施例的构成)
[0229]以下参照附图详细说明本发明的手动载物台用电动化单元的第二实施方式的第二实施例。该第二实施例是图3及图4所示的第二实施方式的变形。图28是表示手动载物台用电动化单元500的第二实施例概略结构的立体图。手动载物台用电动化单元500安装于手动载物台510，在手动载物台510上发挥自动载物台的功能。另外，图29是图28的手动载物台用电动化单元500的俯视图。此外，图30是从手动载物台510侧看图28的手动载物台用电动化单元500时的立体图。在以下第二实施例的记载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明与第二实施方式的差异。因此，引用了与图3及图4所示的第二实施方式有关的记载中的、在以下的与第二实施例有关的记载中没有的事项。
[0230]如图28及图29所示，所述电动化单元500的夹入固定滑动部件531或固定部件544的夹持固定部524的结构与图3及图4所示的第二实施方式不同。
[0231]如图29所示，夹持固定部524以夹入滑动部件531或固定部件544的两侧的方式设置。此外，如图30所示，滑动部件531或固定部件544的两侧的夹持固定部524具备弹簧550，所述弹簧550被夹持固定部反作用力盘553支承并连接夹持固定部524彼此。如此，利用弹簧550的弹力以从两侧塞入滑动部件531或固定部件544的方式进行固定，由夹持固定部反作用力盘553承受弹簧550弹力的反作用力。即，当把手动载物台用电动化单元500安装在手动载物台510上时，电动化单元500的左右的夹持固定部524稍微打开并夹入滑动部件531或固定部件544。如此，通过电动化单元500的左右的夹持固定部524稍微打开，使弹簧550弹性变形从而产生要复原的张力。此外，利用弹簧550的所述张力以从两侧塞入固定滑动部件531或固定部件544的方式进行固定。此外，通过固定部防脱件552防止夹持固定部524脱落。如此，通过使用了弹簧550的简单的机构就能够可靠地防止共同转动，手动载物台510通过马达539以电动的方式动作。
[0232](手动载物台的第二实施方式的第一实施例的构成)
[0233]以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台420的第一实施例。图26是表示附有电动化单元的手动载物台420的第一实施例的立体图。附有电动化单元的手动载物台420是将手动载物台用电动化单元400与手动载物台410结合的得到的载物台。另外，图27是图26的附有电动化单元的手动载物台420的俯视图。在以下第一实施例的记载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明与第二实施方式的差异。因此，引用与图3及图4所示的第二实施方式有关的记载中的、在以下的与第一实施例有关的记载中没有的事项。
[0234]如图26及图27所示，所述附有电动化单元的手动载物台420的以夹入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定的夹持固定部424的结构与图3及图4所示的第二实施方式不同。
[0235]如图27所示，夹持固定部424以夹入滑动部件431或固定部件444的两侧的方式设置。此外，所述夹持固定部424在夹入滑动部件431或固定部件444侧分别具备弹性体450。如此，利用弹性体450的弹力以从两侧塞入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定。即，在将手动载物台用电动化单元400安装到手动载物台410上时，电动化单元400的左右的夹持固定部424稍微打开并夹入滑动部件431或固定部件444。弹性体450从夹持固定部424的与滑动部件431或固定部件444的面稍微突出，使得在夹持固定部424夹入滑动部件431或固定部件444时被压缩。因此，如果左右的夹持固定部424夹入滑动部件431或固定部件444，则弹性体450被压缩并弹性变形，从而产生要复原的弹力。此外，利用弹性体450的所述弹力以从两侧塞入滑动部件431或固定部件444的方式进行固定。如此，通过利用了弹性体450的简单的机构就能够可靠地防止共同转动。
[0236](手动载物台的第二实施方式的第二实施例的构成)
[0237]以下参照附图详细说明本发明的附有电动化单元的手动载物台520的第二实施例。图28是表示附有电动化单元的手动载物台520的第二实施例的立体图。附有电动化单元的手动载物台420是将手动载物台用电动化单元500与手动载物台510结合得到的载物台。另外，图29是图27的附有电动化单元的手动载物台520的俯视图。在以下第二实施例的记载中，省略与图3及图4所示的第二实施方式相同的记载，仅说明与第二实施方式的差异。因此，引