用与图3及图4所示的第二实施方式有关的记载中的、在以下的与第二实施例有关的记载中没有的事项。
[0238]如图28及图29所示，所述附有电动化单元的手动载物台520的以夹入滑动部件531或固定部件644的方式进行固定的夹持固定部524的结构与图3及图4所示的第二实施方式不同。
[0239]如图29所示，夹持固定部524以夹入滑动部件531或固定部件544的两侧的方式设置。此外，如图30所示，滑动部件531或固定部件544两侧的夹持固定部524具备弹簧550，所述弹簧550被夹持固定部反作用力盘553支承，并且连接夹持固定部524彼此。如此，利用弹簧550的弹力以从两侧塞入固定滑动部件531或固定部件544的方式进行固定，由夹持固定部反作用力盘553承受弹簧550弹力的反作用力。即，在将手动载物台用电动化单元500安装到手动载物台510上时，电动化单元500的左右的夹持固定部524稍微打开并夹入滑动部件531或固定部件544。如此，通过稍微打开电动化单元500的左右的夹持固定部524，使弹簧550弹性变形并产生要复原的张力。此外，利用弹簧550的所述张力以从两侧塞入固定滑动部件531或固定部件544的方式进行固定。此外，通过固定部防脱件552防止夹持固定部524脱落。如此，通过使用了弹簧550的简单的机构就能够可靠地防止共同转动，手动载物台510通过马达539以电动的方式动作。
【主权项】
1.一种手动载物台用电动化单元，其特征在于， 所述手动载物台用电动化单元安装于手动载物台，所述手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置， 所述手动载物台用电动化单元具备: 转动防止用夹具，通过夹入所述手动载物台的所述滑动部件或所述固定部件来防止共同转动； 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并与所述手柄结合； 手柄抓持部，抓持所述手柄的旋钮部；以及 马达，使所述手柄驱动用连接部转动， 通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方。
2.根据权利要求1所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，通过用手动对所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使被所述手柄抓持部抓持的所述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。
3.根据权利要求1或2所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述转动防止用夹具是一对夹钳，所述转动防止用夹具具备开闭机构，所述开闭机构使所述夹钳的前端部相互打开或闭合，由此装拆自如地夹入所述滑动部件或所述固定部件。
4.根据权利要求3所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述开闭机构通过使齿轮以绕轴转动的方式转动，使连接的转轮转动，进行一方的夹钳的前端部的开闭，使与所述转轮啮合的正齿轮与所述转轮的转动联动，进行另一方的夹钳的前端部的开闭，由此使一对夹钳的前端部相互打开或闭合。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手柄抓持部通过爪状夹头装置装拆自如地抓持所述手柄的所述旋钮部。
6.一种手动载物台，其通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载物台的特征在于， 所述手动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动化单元具备: 转动防止用夹具，通过夹入所述滑动部件或所述固定部件来防止共同转动； 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并与所述手柄结合； 手柄抓持部，抓持所述手柄的旋钮部；以及 马达，使所述手柄驱动用连接部转动。
7.根据权利要求6所述的手动载物台，其特征在于，通过用手动对被安装上的所述电动化单元的所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使被所述手柄抓持部抓持的所述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。
8.—种手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手动载物台用电动化单元安装于手动载物台，所述手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置， 所述手动载物台用电动化单元具备: 夹持固定部，以夹入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定； 电动化单元主体，保持与手柄轴大致同轴并与所述滑动部件或所述固定部件的所述手柄连接；以及 马达，使所述手柄转动， 通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方。
9.根据权利要求8所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述夹持固定部是框架，所述框架包括开设有螺栓孔的夹板与贯穿螺栓，通过用所述框架从两侧夹入所述滑动部件或所述固定部件并拧紧螺母来紧固所述滑动部件或所述固定部件。
10.根据权利要求8或9所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述电动化单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部件的手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。
11.根据权利要求8至10中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，从所述手柄去掉了旋钮部的手柄轴与所述电动化单元主体连接。
12.—种手动载物台，其通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使滑动部件转动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载物台的特征在于， 所述手动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动化单元具备: 夹持固定部，以夹入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定； 电动化单元主体，保持与手柄轴大致同轴并与所述滑动部件或所述固定部件的所述手柄连接；以及 马达，使所述手柄转动。
13.根据权利要求12所述的手动载物台，其特征在于，被安装上的所述电动化单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部件的手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。
14.一种手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手动载物台用电动化单元安装于进给丝杠式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载物台用电动化单元的特征在于， 所述手动载物台用电动化单元具备: 手柄抓持部，抓持所述手柄的旋钮部； 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并进行连接； 马达，使所述手柄驱动用连接部转动； 转动防止用夹具，防止所述马达共同转动；以及 马达连接部，与所述马达连接，安装所述转动防止用夹具， 通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方。
15.根据权利要求14所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述转动防止用夹具是连接杆，所述连接杆嵌入多个固定用孔，所述多个固定用孔设置在所述进给丝杠式手动载物台的所述固定部件端部的块体上。
16.根据权利要求14或15所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，通过用手动对所述手柄抓持部进行转动操作来使被所述手柄抓持部抓持的所述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。
17.根据权利要求14至16中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手柄驱动用连接部与所述手柄抓持部组合成一体，使所述手柄轴与马达轴联动。
18.—种手动载物台，其是进给丝杠式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载物台的特征在于， 所述手动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动化单元具备: 手柄抓持部，抓持所述手柄的旋钮部； 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并进行连接； 马达，使所述手柄驱动用连接部转动； 转动防止用夹具，防止所述马达共同转动；以及 马达连接部，与所述马达连接，安装所述转动防止用夹具。
19.根据权利要求18所述的手动载物台，其特征在于，通过用手动对被安装上的所述电动化单元的所述手柄抓持部进行转动操作来使被所述手柄抓持部抓持的所述手柄的所述旋钮部转动，由此微调所述精密设备的位置。
20.一种手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手动载物台用电动化单元安装于进给丝杠式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置， 所述手动载物台用电动化单元具备: 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并进行连接； 马达，使所述手柄驱动用连接部转动； 转动防止部，防止所述马达共同转动；以及 马达连接部，与所述马达连接， 通过装拆所述手动载物台用电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方。
21.根据权利要求20所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述转动防止部通过紧固件固定于多个固定用孔，所述多个固定用孔设置在所述手动载物台的所述固定部件的端部上。
22.根据权利要求20或21所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，通过用手动对所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使所述手动载物台的所述手柄轴转动，由此微调所述精密设备的位置。
23.根据权利要求20至22中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手柄驱动用连接部与从所述手柄去掉了旋钮部的所述手柄轴连接。
24.根据权利要求23所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述手柄驱动用连接部通过连接轴与所述手柄轴连接，所述连接轴与所述手柄轴连接。
25.根据权利要求20至24中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述转动防止部与所述马达连接部和手柄轴支承台形成为一体，并夹入所述手柄驱动用连接部。
26.—种手动载物台，其是进给丝杠式手动载物台，所述进给丝杠式手动载物台通过驱动机构连接安装精密设备的滑动部件与固定在基台上的固定部件，通过使手柄绕轴转动的转动操作来使所述滑动部件移动，由此调整所述精密设备的位置，所述手动载物台的特征在于， 所述手动载物台通过安装电动化单元能够选择自动操作，所述电动化单元具备: 手柄驱动用连接部，保持与手柄轴大致同轴并进行连接； 马达，使所述手柄驱动用连接部转动； 转动防止部，防止所述马达共同转动；以及 马达连接部，与所述马达连接。
27.根据权利要求26所述的手动载物台，其特征在于，通过用手动对被安装上的所述电动化单元的所述手柄驱动用连接部进行转动操作来使所述手柄轴转动，由此微调所述精密设备的位置。
28.根据权利要求8所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述滑动部件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部，在夹入所述滑动部件或所述固定部件侧分别具备弹性体，利用所述弹性体的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。
29.根据权利要求8所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述滑动部件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部具备弹簧，所述弹簧连接所述夹持固定部彼此，利用所述弹簧的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。
30.根据权利要求28或29所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述电动化单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部件的所述手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。
31.根据权利要求28至30中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，从所述手柄去掉了旋钮部的手柄轴与所述电动化单元主体连接。
32.根据权利要求29至31中任意一项所述的手动载物台用电动化单元，其特征在于，所述电动化单元主体具备止动件，所述止动件防止所述夹持固定部脱落。
33.根据权利要求12所述的手动载物台，其特征在于，所述滑动部件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部，在夹入所述滑动部件或所述固定部件侧分别具备弹性体，利用所述弹性体的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。
34.根据权利要求12所述的手动载物台，其特征在于，所述滑动部件或所述固定部件两侧的所述夹持固定部具备弹簧，所述弹簧连接所述夹持固定部彼此，利用所述弹簧的弹力以从两侧塞入所述滑动部件或所述固定部件的方式进行固定。
35.根据权利要求33或34所述的手动载物台，其特征在于，被安装上的所述电动化单元主体具备微调旋钮，所述微调旋钮保持与所述滑动部件或所述固定部件的手柄轴大致同轴并用手动使所述手柄转动。
【专利摘要】本发明提供手动载物台用电动化单元及附有电动化单元的手动载物台，它们相对于通过手动转动手柄来使滑动部件移动的以往的载物台，通过装拆简单的机构能自如选择自动与手动，并能通过手动进行微调。手动载物台用电动化单元(1)具备：夹钳(3)，通过夹入手动载物台(10)的滑动部件(12)或固定部件(11)以防止共同转动；联轴器(9)，保持与手柄轴(18)大致同轴并与手柄(13)结合；联轴器用爪(7)，抓持旋钮部(19)；以及马达，使联轴器(9)转动，通过在手动载物台(10)上装拆该电动化单元来选择手动操作或自动操作中的任意一方，通过将该电动化单元安装到手动载物台(10)上构成附有电动化单元的手动载物台(20)。
【IPC分类】G12B5-00, B23Q5-22
【公开号】CN104704573
【申请号】CN201380051622
【发明人】村松洋明
【申请人】Miruc光学株式会社
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2013年10月2日
【公告号】DE112013004907T5, US20150263586, WO2014054188A1, WO2014069190A1