三通阀和进气系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及三通阀，特别是涉及切换空气等流体的流路的三通阀和使用该三通阀的进气系统。
【背景技术】
[0002]以往，已知这样的三通阀，其配设在与进气源连接的配管上，用于切换在配管中流动的流体的流路。例如，在专利文献I中，提出了下述这样的三通阀，所述三通阀具备:由中空椭圆柱状的弹性体构成的阀芯；和形成有将该阀芯收纳成能够旋转的椭圆柱状的空洞的阀室，通过使阀芯在阀室内不晃动地旋转滑动，由此切换2个出口端口的开闭状态。另外，在专利文献2中，提出了下述这样的三通阀:在两侧设有阀孔的阀室内收纳有一对阀芯和凸轮，所述一对阀芯以交替地开闭阀孔的方式一体地移动，所述凸轮选择性地将这些阀芯推压至闭阀位置，随着开闭轴的转动，利用凸轮选择性地将阀芯推压至闭阀位置。
[0003]专利文献1:日本特开2013-57352号公报
[0004]专利文献2:日本特开2009-299736号公报
[0005]可是，在上述的专利文献I所述的三通阀中，阀芯具有相对于阀室的一部分滑动的部分。另一方面，在上述的专利文献2所述的三通阀中，凸轮的一部分具有相对于阀芯滑动的部分。在像这些在驱动阀芯的结构中包含滑动的部分的情况下，由于该滑动部分发生磨损而可能发生流路的开闭性能恶化的情况。
[0006]为了防止这样的滑动部分的磨损，可以考虑涂敷润滑油等。可是，在这种情况下，可能会发生润滑油的一部分泄漏到配管内的情况。润滑油的泄漏会成为具备三通阀的装置阀体中的不良情况的原因。例如，如后述那样，在将三通阀应用于对加工台的表面进行抽吸的进气系统中的情况下，可能会发生油分附着于加工台上的加工对象上这样的情况。
[0007]另外，将上述的三通阀例如应用于这样的进气系统:利用分支管使单一的进气源分支，对配置在多个部位的加工台上的异物等进行抽吸。在这样的进气系统中，通过使用三通阀来切换分支管内的流路，能够对抽吸异物等的加工台进行切换。
[0008]在这样的进气系统中，优选的是，与分支管内的流路的状态无关地将对加工台的抽吸力维持得固定。例如，还可以想象到这样的情况:在对特定的加工台的抽吸力对应于分支管内的流路的状态发生变动的情况下，抽吸力脱离规定的范围而对不必要的构成部件进行抽吸。因此，在这样的进气系统中，为了将抽吸部的抽吸力维持得固定，要求能够调整流体的流入量的三通阀。
【发明内容】
[0009]本发明是鉴于这样的问题而完成的，目的在于提供一种能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量的三通阀和使用该三通阀的进气系统。
[0010]本发明的三通阀具备:阀体，其具备与第I端口对置的第2端口、和第I端口与第2端口之间的第3端口 ；和开闭构件，其使第I端口和第2端口以切换的方式开闭，所述三通阀的特征在于，开闭构件至少由下述部件构成:面积为能够封闭第I端口或第2端口的板状的封闭板；和使封闭板在第I端口与第2端口之间往返的板移动部，在第I端口或第2端口上具备用于调整端口的开口面积的调整部。
[0011]根据上述三通阀，开闭构件通过利用板移动部使封闭板在第I端口与第2端口之间往返，从而使第I端口和第2端口以切换的方式开闭。因此，不存在相对于阀体等发生滑动的部分，就能够以切换的方式开闭第I端口和第2端口。由此，能够避免三通阀的构成部件发生磨损的情况，并且能够抑制流路的开闭性能恶化。另外，通过调整部来调整第I端口或第2端口的开口面积。因此，能够调整从第I端口或第2端口流入阀体内的流体的流入路径的面积。由此，能够调整从第I端口或第2端口流入的流体的流入量。其结果，能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量。
[0012]例如，在上述三通阀中，调整部具备:用于调整开口的面积的调整板；使调整板活动的可动部；和利用可动部控制调整板的位置的位置控制部，通过位置控制部对调整板的位置控制来调整开口面积。根据该结构，能够通过对调整板的位置控制将第I端口或第2端口调整为所期望的开口面积。由此，能够灵活地调整从第I端口或第2端口流入的流体的流入量。
[0013]本发明的进气系统具备:第I抽吸部和第2抽吸部，它们通过分支管从鼓风机用马达的抽吸口开始至少向两个方向分支，并至少对两处加工台进行抽吸；由上述的任意三通阀构成的第I三通阀，其配设在连接分支管和第I抽吸部的第I配管上；由上述的任意三通阀构成的第2三通阀，其配设在连接分支管和第2抽吸部的第2配管上；以及切换控制部，其对第I三通阀和第2三通阀的开闭进行切换控制，所述进气系统的特征在于，使第I三通阀的第3端口与分支管连接，使第I三通阀的第I端口与第I抽吸部连接，第I三通阀的第2端口能够向大气开放，使第2三通阀的第3端口与分支管连接，使第2三通阀的第I端口与第2抽吸部连接，第2三通阀的第2端口能够向大气开放，通过切换控制部使第I三通阀的开闭构件和第2三通阀的开闭构件中的某一方动作，使第I三通阀和第2三通阀中的一方的开闭构件动作以封闭第I端口，并且，使大气从通过调整部调整了开口面积的第2端口进入，使从与第I三通阀和第2三通阀中的另一方的第I端口连接的抽吸部进入的进气量与第I三通阀和第2三通阀中的所述一方的第I端口被封闭之前相同。
[0014]根据上述进气系统，在使第I三通阀(第2三通阀)的开闭构件动作而将第I三通阀(第2三通阀)的第I端口封闭的前后，能够使从与第2三通阀(第I三通阀)的第I端口连接的抽吸部进入的进气量相同。由此，能够与第I三通阀(第2三通阀)的状态无关地将与第2三通阀(第I三通阀)连接的抽吸部中的抽吸力维持得固定。其结果是，能够防止因与第2三通阀(第I三通阀)连接的抽吸部的抽吸力对应于第I三通阀(第2三通阀)的状态发生变化而引起的不良情况。
[0015]例如，在上述进气系统中，在第I配管和第2配管上分别配设有测量配管内部的风速的风速测量部，上述位置控制部控制成风速测量部测量出的风速不变化。根据该结构，能够基于第1、第2配管内部的风速的变化来利用位置控制部控制调整板的位置。由此，即使切换了第I三通阀的开闭状态，也能够高精度地将来自第2抽吸部的进气量维持得固定。
[0016]根据本发明，能够在抑制流路的开闭性能恶化的同时调整流体的流入量。
【附图说明】
[0017]图1是示出第I实施方式的三通阀的结构的示意图。
[0018]图2是示出第2实施方式的三通阀的结构的示意图。
[0019]图3是应用了第2实施方式的三通阀的进气系统的结构的说明图。
[0020]标号说明
[0021]10、20:三通阀；
[0022]20a:第I三通阀；
[0023]20b:第2三通阀；
[0024]20c:第3三通阀；
[0025]11:阀体；
[0026]Ila:第 I 端口;
[0027]lib:第 2 端口；
[0028]lie:第 3 端口;
[0029]12:开闭构件；
[0030]12a:封闭板；
[0031]12b:板移动部；
[0032]12c:轴；
[0033]13:调整部；
[0034]131:调整板；
[0035]132:可动部；
[0036]133:位置控制部；
[0037]14:配管；
[0038]14a:第 I 配管；
[0039]14b:第 2 配管；
[0040]14c:第 3 配管；
[0041]15:鼓风机用马达；
[0042]151:抽吸口；
[0043]152:排出口；
[0044]16:分支管；
[0045]17a:第I抽吸部；
[0046]17b:第2抽吸部；
[0047]17c:第3抽吸部；