技术总结
一种压力控制模块设置于气瓶柜及后端机台之间，压力控制模块包含一集气桶通过至少一质流控制器与气瓶柜的气源连通，且储存气体于集气桶内，集气桶经由气体管路连接至后端机台；一压力检测元件用以检测集气桶之内部压力；以及一控制模块依据内部压力发送电信号至质流控制器，质流控制器依据电信号控制气源的气体进入集气桶的流量，使集气桶内部的所储存的气体的压力维持在一压力范围内。此压力控制模块提供后端机台平稳的供气压力，以解决传统因更换钢瓶而造成的气源压力波幅过大的问题，具有降低产品不良率的优点。
技术研发人员：曾宏志
受保护的技术使用者：和淞科技股份有限公司
文档号码：201720538766
技术研发日：2017.05.16
技术公布日：2017.12.12