一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统的制作方法

文档序号:18922901发布日期:2019-10-19 03:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统,其特征在于,包括:

钢瓶;

与钢瓶相连通的高纯水储罐;

与钢瓶相连通的废水罐;

与钢瓶相连通的离子交换树脂储罐;

与钢瓶相连通的离子交换树脂回收罐;

与钢瓶相连通的高纯保护性气体储罐;

与钢瓶相连通的超纯水储罐。

2.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,还包括抽真空装置,所述抽真空装置与钢瓶相连通。

3.根据权利要求2所述的处理系统,其特征在于,所述废水罐与离子交换树脂回收罐分别与抽真空装置相连通。

4.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,还包括高纯乙醇储罐,所述高纯乙醇储罐与钢瓶相连通。

5.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,还包括加热装置;所述加热装置用于加热钢瓶。

6.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,所述高纯保护性气体储罐包括高纯氮气储罐与高纯氦气储罐。

7.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,还包括高纯正硅酸乙酯储罐;所述高纯正硅酸乙酯储罐与钢瓶相连通。

8.根据权利要求1所述的处理系统,其特征在于,还包括检测装置;所述检测装置与钢瓶相连通。

9.根据权利要求8所述的处理系统,其特征在于,所述检测装置包括电导仪与颗粒检测仪。

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