一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统的制作方法

文档序号:18922901发布日期:2019-10-19 03:45阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种高纯正硅酸乙酯用钢瓶的处理系统,包括:钢瓶;与钢瓶相连通的高纯水储罐;与钢瓶相连通的废水罐;与钢瓶相连通的离子交换树脂储罐;与钢瓶相连通的离子交换树脂回收罐;与钢瓶相连通的高纯保护性气体储罐;与钢瓶相连通的超纯水储罐。与现有技术相比,本实用新型先通过高纯水清洗除去钢瓶中的颗粒,然后再通过离子交换树脂除去钢瓶内的金属离子与氯离子,使得离子含量小于0.1ppb,再通过超纯水清洗除去钢瓶中可能残留的颗粒,从而使钢瓶中的金属离子、水分和颗粒度均达到最佳水平,以适用于高纯正硅酸乙酯充装。

技术研发人员:金向华;刘晶;王新喜;孙猛
受保护的技术使用者:苏州金宏气体股份有限公司
技术研发日:2019.01.21
技术公布日:2019.10.18

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