专利名称：通孔内异物检查方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及通孔内异物检查方法和装置，具体地说，涉及适宜检查直径为几十微米的通孔内部有无异物的方法和装置。
该检查装置通常的结构如
图14所示，采用将开孔的工件1配置在固定位置，其下方配置光源2，并且其上方配置显微镜单元与面积传感摄像机4一体化的图像获取装置的结构。图像获取装置可以通过Z轴自动控制机构5升降，并且面积传感摄像机4通过自动聚焦单元6与图像处理装置7连接。通过这样的检查装置，对形成图15所示的开有多个通孔8的工件1进行摄像，获取的图像以通孔8为一个单位，通过比较基准通孔的像素面积与测定像素面积，进行通孔的好坏判定。例如，通孔8存在异物的场合下，由于透过的光量减少，从而测定像素面积变小，一定阈值以下的像素面积的通孔8判定为有缺陷。
但是，上述传统的方法，当通孔数很多时有花费过多的检查时间的问题，而且，在获取高倍率的图像时，对装置的机械精度的要求很严格，因而制作费用变高。即，由于焦点深度变窄，上述的自动聚焦单元6和Z轴自动控制机构5变得必要，并且由于视野范围变窄，要求装载工件1的工作台定位精度高。而且，在进行通孔内异物检查时，使用传统的面积传感摄像机的摄像方法中由于限制了像素的数目，从而限制了分辨率，特别是在透光性异物的情况下很难进行识别，有将次品作为合格品检出的可能性。
针对上述传统的问题点，本发明的目的在于提供能够低成本、高精度、高速度检查通孔内异物的通孔内异物检查方法及装置。
利用具有上述结构的线传感摄像机，在大范围获取图像、进行高分辨率判定的同时，可以一次处理多个通孔、设定较少的图像获取次数及工作台移动次数等，从而能够缩短循环周期。此外，由于不是逐个通孔地获取图像，能够设计出省却了图像获取时工作台的定位精度、高倍率的自动聚焦功能的必要性等过剩的功能的装置。同样，使用线传感摄像机也能够缩短检查的循环周期。
另外，本发明可以这样构成，以便通过面积传感摄像机，以单个通孔为单位或包括多个通孔的组为单位，获取透过多个同一尺寸的通孔的光线作为图像数据，相互比较上述图像数据中与各个通孔对应的光接收区的大小，进行异物有无的判定。
在上述这些情况下，可以这样构成本发明，以便在对与上述通孔对应的光接收区的数目进行计数和判定之后，相互比较光接收区的面积，或者对上述光接收区的面积进行编号，相互比较编号后光接收区的面积，进行异物有无的判定。
另外，本发明的通孔内异物检查方法也可以这样构成，以便通过线传感摄像机的相对的平行移动，获取透过多个同一尺寸的通孔的光线作为图像数据，根据相邻通孔之间的光接收区差别的大小，比较接收上述图像数据中各个透过光线的区域的大小，进行异物有无的判定。
另外，本发明的通孔内异物检查方法也可以这样构成，以便通过在使上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面的情况下进行摄像来执行检查。
另外，本发明的通孔内异物检查方法也可以这样构成，以便通过在使上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面的情况下进行摄像，从而扩大所述透过的光线的摄像面积。
本发明的通孔内异物检查装置可以包括设置在开有多个通孔的工件的一侧的光源和设置在所述工件的另一侧的线传感摄像机，所述工件设置在所述光源和所述线传感摄像机之间；平行移动机构，它使上述工件和线传感摄像机相对平行移动，以便使上述线传感摄像机可以一次检测透过多个通孔的光线；以及图像处理装置，它接收由上述线传感摄像机提供的图像信号，以便获得与上述工件内的多个通孔对应的多个2值化图像数据，其中，所述图像处理装置配备有根据与各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定通孔内有无异物的判定装置。
此外，本发明的通孔内异物检查装置还可以包括设置在开有多个通孔的工件的一侧的光源和设置在所述工件的另一侧的面积传感摄像机，所述工件设置在所述光源和所述面积传感摄像机之间；平行移动机构，它使上述工件和面积传感摄像机相对平行移动，以便使上述面积传感摄像机可以检测透过所述多个通孔中每一个单独的通孔的光线或者一次检测透过所述多个通孔的光线；以及图像处理装置，它接收由上述面积传感摄像机提供的图像信号，以便获得与上述工件内的多个通孔对应的多个2值化图像数据，其中，所述图像处理装置配备有根据与各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定通孔内有无异物的判定装置。
另外，本发明的通孔内异物检查装置也可以这样构成，以便这样设定上述传感摄像机和上述工件的相对位置，使得上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面。
另外，本发明的通孔内异物检查装置也可以这样构成，以便这样设定上述传感摄像机和上述工件的相对位置，使得上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面，从而可以在扩大所述透过的光线的摄像面积的情况下进行摄像。
图2是同一装置的重要部分的透视图。
图3是表示根据实施例的装置采用的线传感摄像机与工件关系的图。
图4是通过根据实施例的装置获取图像的原理图和透过通孔获得的图像实例。
图5是一般的获取图像的原理图和透过通孔获得的图像实例。
图6是通过根据实施例的装置进行处理作业过程的流程图。
图7是图像匹配的说明图。
图8是检查光接收区数目的流程图和测量的图像的实例。
图9是从工件获取的图像实例的说明图。
图10是表示工件的通孔位置与面积值的关系的趋势的图。
图11是相邻面积判定处理的基本流程图。
图12是表示同一流程图中相邻面积判定的具体处理的流程图。
图13是表示检查结果的正方向和逆方向的通孔位置与通孔面积值的关系的图。
图14是传统的异物检查装置的结构图。
图15是通过传统装置进行检查的说明图。
图1是根据实施例实施通孔内异物检查方法的检查装置的方框图，图2是同一装置的主要部分的透视图。如这些图所示，基本的结构为，多个通孔成列状排列的平板状工件10的下部配置有光源12，从背面向通孔照射光。另一方面，工件10的上部配置了多个像素成列状排列的线传感摄像机14，后者具有许多诸如CCD(电荷耦合器件)元件或C-MOS(互补金属氧化物半导体)元件的摄像元件，通过该线传感摄像机14使透过通孔的光成像。从而，通过工件10的一个平面侧配置的光源12向工件10照射光，通过跨过上述工件10、在与光源12相对的一侧配置的线传感摄像机14进行拍摄。然后，如图3所示，通过该线传感摄像机14和上述光源12相对于工件10作平行移动，拍摄所述透过的光线的平面图像。通孔内有异物的情况下，利用异物挡住光线时图像数据中对应通孔的光接收区的面积值变小的特性检查出异物。实施例中，线传感摄像机14采用大约5000像素的视野宽度来获取图像。通过使用该线传感摄像机14，提高分辨率，每个像素的分辨率能够提高到约3μm。另外，图示的例子中，要同时检查3个工件10，为此设置了3对光源12和线传感摄像机14。当然也可以构成一个单元的检查结构。
为了能够通过使线传感摄像机14相对于工件10作平行移动来获取平面图像，如图1、2所示的实施例中，工件10装载在XY工作台16上，沿着与像素列垂直的方向移动和扫描。
为了在XY工作台16的固定位置配置工件10，使用夹持工件10的固定夹具18。夹具18由下夹具18D和上夹具18U组成并通过适当的固定装置定位在工作台的固定位置并固定。夹具18中形成有与工件10的通孔列对应的狭缝20，透过的光通过狭缝20被线传感摄像机14获取，并且，使XY工作台16的下方配置的光源12形成线状的照明。另外，工作台下部安装有扩散板22，缓和来自光源12的光的强度不均，使光均匀地照射在通孔列上。
根据上述结构，通过工件10在XY工作台16上的移动，线传感摄像机14能够拍摄到透过通孔列的光，该图像数据输入图像处理装置24，通过内置的判定装置判定通孔内有无异物。在获取图像时，如果是透光性的异物，由于判定变得困难，因而在本实施例中，把线传感摄像机14的焦点位置设定成与上述工件10的表面位置不一致，而是离开工件的表面位置。即，线传感摄像机14的位置相对于工件10的通孔，设定成比焦距L长的(L+α)，使透过光的拍摄面积明显扩大。
图4表示了该原理，图5表示了比较的例子。首先，线传感摄像机14配备有多个CCD元件成直线状排列的传感器本体26；近摄环部分28；以及光学透镜系统30(参照图4)。一般来说，在设定传感摄像机的场合，如图5(1)所示，通过调整近摄环部分28而配置成使焦点与工件10上形成的通孔32的开口的平面一致(焦距L)，获取与通孔32的开口的尺寸一致的图像。但是，在本实施例中，焦点位置设定在工件10的表面位置的上方(传感器侧)。从而，获取的图像处于聚焦状态时，如图5(2)所示，检查出由于通孔内异物遮蔽透过光而形成的例如2个像素面积大小的区域，而在本实施例中，如图4(2)所示，能够检查出8个像素面积大小的区域。换句话说，处于聚焦状态时仅仅检查出通孔32的开口部分的透过光。但是，在离焦状态的本实施例的情况下，虽然每个单位面积的光的强度降低，获取的图像中与通孔32对应的光接收区的面积值变大，同样，异物面积也明显变大。从而，根据上述的结构，测定值即透过光量的面积值X可以表示成下式。
X＝(S-α)β式中，S是对应通孔32的光接收区的面积值，α是异物区域的面积值，β表示离焦效果的面积扩大率(β＞1)。β＝1时为聚焦与工作表面一致的情况。
从而，积极地将线传感摄像机14的焦点位置设定成与上述工件10的通孔32不一致、而是错开的状态，通过离焦效果明显扩大拍摄图像，因而提高检测出异物的能力。
上述线传感摄像机14的检测信号输入由计算机组成的图像处理装置24，求出与工件10内的包括多个通孔32的列或规定区对应的多个2值图像数据。该图像处理装置24设置有这样的判定装置，该装置能够执行根据上述的2值图像数据、对与各个通孔32对应的块的数目进行计数并判定其是否与设定值相同的判定处理；以及比较相邻面积、判定异物有无的判定处理。
图6表示一系列的处理流程。即，具有判定装置的图像处理装置24，通过线传感摄像机14一次获得包含多个检查范围的区域的图像(步骤100)，为了修正检查范围的位置进行图像匹配(步骤200)。根据图像匹配，与基准图像有位置偏差时进行检查范围的位置修正(步骤300)，作为检查的前处理，对摄制的图像进行2值化处理(步骤400)。到此为止为由图像处理装置24进行的处理过程。然后转移到好坏判定处理，首先，为了确认是否存在规定数目的通孔，把对应于各个通孔32的光接收区作为一个块，对其数目进行计数，判断所开孔数是否为规定的通孔数目(步骤500)。然后，最终进行与相邻面积的比较处理、根据异物的有无作出好坏判断(步骤600)。
以下说明各个步骤的具体处理内容。首先，在每次检查开始、或每次获取图像时，相对于基准图像发生位置偏差的场合，由于作为检查对象的通孔32可能偏出检查范围，因而进行步骤200的图像匹配处理以便修正该位置偏差。如图7(a)所示，以工件10的标准的图像获取范围(二点线定位)为基准图像，计算出工件10中设定的搜索图案(●)与将原先基准图像中设定的包围通孔列的检查范围(一点线定位)的相对距离，在如图7(b)所示、获取的图像发生位置偏差的场合，移动、调整检查范围，使得搜索图案与检查范围的相对位置间隔一致，如图7(c)所示，进行位置修正使得作为检查对象的通孔列进入检查范围。
步骤400的自动2值化处理是一般在图像处理中进行的，但在线传感摄像机中进行该处理是为了区别被来自通孔的透过光感光的CCD元件与不感光的CCD元件，以便进行图像测量、获得面积值等的特征量。这里所说的自动2值，不是指固定2值化的电平，而是能够对应光量多少的变化，自动调整2值电平的功能。
到此为止的处理为通过图像处理装置24进行的处理过程，通过上述处理获得的图像数据输入判定装置，首先进行步骤500的光接收区数目的计数处理，然后进行步骤600的相邻面积判定处理，进行好坏判定。光接收区数目的计数处理比较上述检查范围内满足一定条件的光接收区部分的数目以确定它们是否相同。具体的检查流程如图8(1)所示。为了对能够识别为与各个通孔32对应的光接收区的数目进行计数，首先检查出满足条件的光接收区(步骤510)。上述条件为测量对象的颜色、测量对象面积的上限值、测量对象面积的下限值。由于测量对象的颜色通过2值化处理，可以选择“白”或“黑”。如果面积值超出测量对象面积的上限值或下限值，则判断其不是光接收区。
例如，图8(2)所示，检查出5个光接收区候补，其面积用括弧内的数字表示，当面积的下限值为100，上限值为800时，满足条件的光接收区的数目为3。如此检查出合乎条件的光接收区的数目后，将该数目与设定值比较(步骤520)。设定值为必须包括在检查范围内的通孔数目的规定值。如果通孔数目与规定值一致，则转移到(步骤530)好坏判断的相邻面积判定处理(步骤600)。如果不一致，则视为通孔数不合格而进行检查终止处理(步骤540)。
这样的光接收区计数处理不仅可以防止后续的相邻面积判定中的漏检，而且可以用于检查对象工件的规格的判定，进一步减少无谓的图像处理。即，在进行相邻通孔之间相互比较的判定处理(步骤600)中，检查范围内的光接收区全部不合格的情况下，相对的比较值(面积值差)全部变小，不能判定为不合格，有发生异物漏检的危险性，通过在该处理之前进行光接收区数目的计数处理，能够防止漏检的发生。并且，由于检查范围可以设定成多个、各个检查范围单位中可以设定光接收区(通孔)数目，根据获取图像中的检查范围的组合，可以简单地判别工件的规格。例如，可以判别检查范围数为3、在各个检查范围的光接收区(通孔)数目设定为50、50、50的工件与光接收区数目设定为30、30、30的工件，或检查范围数为2、光接收区数目设定为30、20的工件等。而且，光接收区数目与设定值不一致时，对该工件进行检查终止的处理(步骤540)，从而减轻图像处理装置24的处理负担，并能够因此缩短处理时间。
上述光接收区数目计数处理完成后，接着进行步骤600的相邻面积判定处理，该步骤不将每个光接收区与基准面积值(上限值、下限值)比较，而是求出与相邻通孔32对应的光接收区之间的面积差，根据该面积差是否在设定面积差以上来进行好坏的判定。即，分别求出获取图像的各个检查范围中与各个通孔对应的光接收区的面积。例如，如图9所示，求出No.1350、No.2330、No.3250、No.4330……，计算出这样检查出的光接收区的面积差。如果该面积差在基准值以内，则更新一个作为对象的通孔并同样计算出面积差。如果该面积差超出基准值，则以外径较大的一个为基准，将该外径较大的通孔面积与下一个测量的光接收区面积比较。例如，面积差的基准值为“50”时，No.1与No.2的面积差是“-20”为合格，接着进行一次更新、求出No.2和No.3的面积差。该差为“80”，由于这时超出了基准值，面积较大的No.2为合格、面积较小的No.3为不合格。接着，将合格的No.2与No.4作为比较对象进行比较。从而，可以利用由于异物的存在使光接收区面积变小的特性进行好坏判定。
获取的图像中，如果作为检查对象的通孔32的光接收区面积值非常小，那么，异物检测条件变得严格。结果，由于例如工件的弯曲等引起的各工件的个别状态，或许在每次摄制图像时，与各个通孔对应的光接收区面积会发生变化。从而，如图10所示，由于预先用光接收区面积的绝对值设定了进行好坏判定的阈值，会发生虽然实际上没有异物但是由于面积值小而误检(图10的A处)、或虽然有不合格处但是由于光接收区面积值大而不能检测出不合格处(图10的B处)的情况。因而，本实施例中，通过比较与相邻通孔32对应的光接收区之间的面积值，没有工件弯曲的情况等所谓的倾向值的影响，可以进行没有误检的稳定的检查。
从No.1到No.n进行正向判定处理，然后，从No.n到No.1进行反向判定处理。然后，在最后的合格或不合格判定中(步骤640)获得正向和反向测量结果的AND(逻辑与)。甚至当作为检查对象的多个通孔32不排列成行时，如果在同一检查范围内检查对象具有相同的尺寸，那么也可以用类似的方式处理。在这种情况下，可以利用图像处理装置的编号功能，以便按照编号的次序获得光接收区之间的面积差值。采用根据其坐标将它们按次序编号的方法进行所述编号。
相邻面积判定处理的具体例子的流程如图11所示。首先将第一阶段的光接收区(通孔)数目的计数和判定处理(步骤500)中判定为合格(OK)的工件10作为面积判定对象，开始进行处理(步骤530)。根据本发明的实施例，对其中通孔排成一列的检查对象进行检查。在这种情况下，利用图像处理装置24的编号(号码赋予)功能。
相邻通孔的光接收区面积判定的具体处理流程如图12所示。分别计算扫描工件所获取的图像中的检查范围内与多个通孔对应的光接收区的面积值，首先，为了进行第一次判定而设定参数(步骤621)。No.1的通孔的光接收区面积值设定为参数A，用于作为比较对象的通孔的光接收区面积值，作为检查对象的相邻的No.2的通孔的光接收区面积值设定为参数B。为了进行后续的判定，为了转移与下次判定用的检查对象的通孔对应的光接收区而进行变量设定(步骤622)，然后，进行相邻通孔32的光接收区之间面积的比较(步骤623)。该比较处理通过上述光接收区面积值的差(A-B)与规定值比较、基于下式进行判定。
|A-B|≤规定值规定值可以根据通孔10的尺寸和异物尺寸等设定。
当各光接收区的面积差值在规定值以内时，A通孔判定为合格品，同时参数B变换成A(步骤624)。另外，当所述光接收区的面积差值超过规定值时，比较A和B的面积值(步骤625)，对应于具有小面积值的光接收区的通孔被判定为不合格通孔。这是由于异物的存在使面积值变小。A＜B的情况下，A成为不合格点，将B更新成下一次的比较对象通孔(步骤626)。A＞B的情况下，B成为不合格点，继续维持A作为下一次检查的比较对象通孔(步骤627)。通过转移检查对象的通孔(步骤628)，重复上述操作直到通孔数目达到设定的通孔数目为止(步骤629)。
相邻通孔光接收区面积的判定处理沿着通孔列的正方向和逆方向进行，该实际的测定结果如表1和2所示。该结果是在通孔数为13、规定值为100的情况下得出的。表1表示正方向的情况，表2表示逆方向的情况。另外，图13(1)是表示正方向的通孔位置与通孔光接收区面积值的关系的图，图13(2)是表示逆方向的通孔位置与通孔光接收区面积值的关系的图。表1《正方向相邻面积判定》
表2《逆方向相邻面积判定》
表1中，首先，通孔位置No.2成为检查对象(成为B)，进行No.1(A)和No.2(B)的比较，由于面积差在规定值以内，No.1判定为合格，No.3成为检查对象时，No.2和No.3进行比较，由于同样光接收区面积差在规定值以内，No.2判定为合格。No.3和No.4比较时，面积差为161，由于No.4的面积值大，根据步骤626，No.4判定为合格，No.3判定为不合格。另外，例如，No.7成为检查对象时，由于比较对象No.6的通孔对应的光接收区面积大(A＞B)，No.7判定为不合格，No.6成为下一次的比较对象。以下进行相同的判定处理。另外，表2所示的逆方向的判定中，No.13(成为B)和No.12(成为A)比较时，由于偏差为108且B＞A，根据步骤626，No.13判定为不合格，No.12判定为合格。通过这样的处理，求出在正方向和逆方向上表1、2所示的判定结果。
这种判定处理用于最终的通孔位置的好坏判定。如步骤640(图)所示，采用正方向、逆方向的测定结果的AND(逻辑与)，进行最终的好坏判定。该判定处理的结果如下表所示。表3
从而，分别进行正方向、逆方向的好坏判定，通过采用它们的AND(逻辑与)，正确地进行开始通孔、终端通孔的好坏判定。
根据上述实施例的通孔内异物检查方法及装置，线传感摄像机14对开有多个通孔的工件10进行扫描，一次获取包含多个检查范围的区域，对获取的图像中设定的每个检查范围，求出由来自各个通孔的透过光形成的光接收区的数目和光接收区的面积，与以单个通孔为单位进行比较的检查处理相比较，处理速度可以显著加快。即，大范围地获取图像，一次处理多个通孔。虽然也取决于工件的形状，现在可以一次获取与大约300个通孔对应的图像数据，可获得非常高的效率。另外，这时由于错开了线传感摄像机14的焦点位置进行拍摄，通孔内的异物即使是透明物，与正常的通孔的光接收区面积的差变大，可以容易地进行比较判定。检查出的透明异物的大小(面积)达到基准通孔的光接收区面积的15％以上。另外，如果是有色异物，可以检查出更小的异物。
在异物判定时，由于首先判定检查范围内的光接收区数目是否设定的通孔数目，可以防止第二判定处理中的相邻通孔的光接收区面积判定中的漏检的发生。如果不能识别设定的通孔数目的光接收区，终止对该工件10的检查作业，从而减轻图像处理装置24的处理负担。并且，对具有正规的通孔数目的工件，求出与其相邻通孔的光接收区的面积差，不判断各个通孔的光接收区的面积值，而是与相邻通孔的光接收区面积值进行比较，从而可以防止由工件弯曲等引起的误检和漏检的发生。
应当指出，由于离焦使异物检查条件变得严格，在不同的工件之间或者在获取图像时，与通孔对应的光接收区的面积可能发生变化。因此，在单纯将通孔的光接收区面积值与作为阈值的基准面积值进行比较、判断好坏的情况下，有发生误检漏检的危险性，而在进行相邻通孔的光接收区之间的面积值相互比较的处理中，可以获得稳定的检查。
应当指出，上述方法也适用于不使用线传感摄像机，而使用面积传感摄像机的情况。该装置的结构可以通过用面积传感摄像机取代图1中的线传感摄像机14而实现。在使用面积传感摄像机拍摄工件的情况下，可以将通孔32作为一个单位拍摄，但为了提高速度，最好一次获取多个通孔组的拍摄数据。面积传感摄像机被透过通孔的光感光，将对应各个通孔32的光接收区2值化，可以通过计算单位摄像元件求出光接收区面积值。从而，每个通孔32的光接收区面积作为一个块、求出块的数目，与基准数目进行比较，判断其是否相同。然后，与各个通孔对应的光接收区的面积值之间相互比较，可以判断异物的有无。该判定处理与上述采用线传感摄像机14获取图像数据对应的处理过程相同。
根据上述实施例，不一定采用线传感摄像机14而是采用面积传感摄像机，由此，按照与上述类似的方法，将所述各光接收区的大小彼此相互比较，也可以对通孔32是否存在异物作出精确的判定。甚至当工件10弯曲时，也能够用比传统方法简单的设备结构，获得高精度的异物检查效果。
权利要求
1.一种通孔内异物检查方法，其特征在于通过线传感摄像机的相对的平行移动，获取透过多个同一尺寸的通孔的光作为图像数据，相互比较接收上述图像数据中各个透过光线的区域的大小，进行异物有无的判定。
2.一种通孔内异物检查方法，其特征在于通过面积传感摄像机，以单个通孔为单位或包括多个通孔的组为单位，获取透过多个同一尺寸的通孔的光线作为图像数据，相互比较上述图像数据中与各个通孔对应的光接收区的大小，进行异物有无的判定。
3.权利要求1或2的通孔内异物检查方法，其特征在于在对与上述通孔对应的光接收区的数目进行计数和判定之后，相互比较光接收区的面积。或者对上述光接收区的面积进行编号，相互比较编号后光接收区的面积，进行异物有无的判定。
4.权利要求1或2的通孔内异物检查方法，其特征在于对上述光接收区的面积进行编号，相互比较编号后光接收区的面积，进行异物有无的判定。
5.一种通孔内异物检查方法，其特征在于通过线传感摄像机的相对的平行移动，获取透过多个同一尺寸的通孔的光线作为图像数据，根据相邻通孔之间的光接收区差别的大小，比较接收上述图像数据中各个透过光线的区域的大小，进行异物有无的判定。
6.一种通孔检查方法，其特征在于在使线传感摄像机或面积传感摄像机的摄像焦点离开工件的表面的情况下来进行摄像。
7.权利要求6的通孔检查方法，其特征在于在使线传感摄像机或面积传感摄像机的摄像焦点离开工件的表面的情况下来进行摄像，从而扩大所述透过的光线的图像面积。
8.一种通孔内异物检查装置，它包括设置在开有多个通孔的工件的一侧的光源和设置在所述工件的另一侧的线传感摄像机，所述工件设置在所述光源和所述线传感摄像机之间；平行移动机构，它使上述工件和线传感摄像机相对平行移动，以便使上述线传感摄像机可以一次检测透过多个通孔的光线；以及图像处理装置，它接收由上述线传感摄像机提供的图像信号，以便获得与上述工件内的所述多个通孔对应的多个2值化图像数据；其中，所述图像处理装置配备有根据与所述各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定所述通孔内有无异物的判定装置。
9.一种通孔内异物检查装置，它包括设置在开有多个通孔的工件的一侧的光源和设置在所述工件的另一侧的面积传感摄像机，所述工件设置在所述光源和所述面积传感摄像机之间；平行移动机构，它使上述工件和面积传感摄像机相对平行移动，以便使上述面积传感摄像机可以检测透过所述多个通孔中每一个单独的通孔的光线或者一次检测透过所述多个通孔的光线；以及图像处理装置，它接收由上述面积传感摄像机提供的图像信号，以便获得与上述工件内的多个通孔对应的多个2值化图像数据；其中，所述图像处理装置配备有根据与各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定通孔内有无异物的判定装置。
10.一种通孔检查装置，其特征在于这样设定上述传感摄像机和上述工件的相对位置，使得上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面。
11.权利要求10的通孔检查装置，其特征在于这样设定上述传感摄像机和上述工件的相对位置，使得上述线传感摄像机或上述面积传感摄像机的摄像焦点离开上述工件的表面，从而可以在扩大所述透过的光线的摄像面积的情况下进行摄像。
全文摘要
能够低成本、高精度、高速度检查通孔内异物的通孔内异物检查方法及装置。所述装置配备有设置在开有多个通孔的工件10的一侧的光源12和设置在所述工件的另一侧的线传感摄像机14(或面积传感摄像机),所述工件设置在所述光源和所述线传感摄像机之间。设置平行移动机构(XY工作台),用以使上述工件和线传感摄像机相对平行移动,以便使上述线传感摄像机可以一次检测透过多个通孔的光线;并且设置图像处理装置24,用以接收由上述线传感摄像机提供的检测信号,以便获得与上述工件内的所述多个通孔对应的多个2值化图像数据。图像处理装置配备有根据与各个通孔对应的光接收区之间的偏差判定通孔内有无异物的判定装置。
文档编号G01N21/94GK1383485SQ01801799
公开日2002年12月4日 申请日期2001年3月29日 优先权日2000年4月27日
发明者后藤登, 齐藤干男 申请人:精工爱普生株式会社