专利名称：激光干涉仪测量冶具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光干涉仪的配套部件。
技术背景激光干涉仪是光线零件面形精度检测的国际通用必备仪器，它的 精度一般在/20以上，该仪器有立式和卧式两大类。目前，国内外用 户大都采用立式〔垂直式〕干涉仪，因为垂直式干涉仪在检测零件 时，被测镜片直接放置在测量环上，调整和测量镜片方便、快捷，适 合批量检测。卧式干涉仪是用镜片夹持器固定被测镜片，检测比较稳 定，但检测速度慢，而且仪器价格昂贵，是立式的几倍价格，在生产 线使用代价太高。垂直式干涉仪虽然能快速检测，但承座被测镜片的 冶具(测量环〕的平行度和垂直度以及环口的宽度，直接影响到被测 光学零件的检测精度，目前国内外垂直干涉仪使用的冶具，包括干涉 仪长家提供的冶具都是根据零件的不同，采用圆环式，接触零件表面的环口，加工成平行于底座的平面，环口的宽度一般在0.2mm左右，检 测时，被测零件直接放在环口上，如果环口光洁度不好，很容易划伤 零件，造成零件报废，由于零件和冶具是整体接触，容易造成环口的 磨损，影响测量精度，因为被测镜片直接座落在测量环口上，如果环 口平行度不好，被测镜片不能全部接触环口，或垂直度不好，造成倾 斜，激光通过被测镜片后，光束产生偏离中心，而造成判读误差，影 响测量精度。发明内容本实用新型的目的在于提供一种不会划伤被测光学零件，测量精 度好的激光干涉仪测量冶具。本实用新型的技术解决方案是一种激光干涉仪测量冶具，其特征是有测量环环体，在测量环 环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。 三个钢珠的顶部水平切线在同一平面上。本实用新型结构合理，由于钢珠表面是光滑的，不会划伤被测光 学零件，而且钢珠不容易磨损，保证了测量精度，且三个受力点均 匀，进一步提高了测量精度。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。图l是本实用新型一个实施例的结构示图。图2是图1的A-A视图。
具体实施方式
一种激光干涉仪测量冶具，有测量环环体l，在测量环环体l上表 面装三个等分设置、支承被测镜片2的钢珠3。三个钢珠的顶部水平切 线在同一平面上，保证被测镜片完全接触钢珠。
权利要求1、一种激光干涉仪测量冶具，其特征是有测量环环体，在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。
2、 根据权利要求l所述的激光干涉仪测量冶具，其特征是三个 钢珠的顶部水平切线在同一平面上。
专利摘要本实用新型公开了一种激光干涉仪测量冶具，有测量环环体，在测量环环体上表面装三个等分设置、支承被测镜片的钢珠。本实用新型结构合理，由于钢珠表面是光滑的，不会划伤被测光学零件，而且钢珠不容易磨损，保证了测量精度，且三个受力点均匀，进一步提高了测量精度。
文档编号G01B9/02GK201110754SQ200720042988
公开日2008年9月3日 申请日期2007年8月20日 优先权日2007年8月20日
发明者晖 于, 刘海燕, 崔北银, 康贻兵, 钱维全 申请人:吴迪富