专利名称：一种阵列基板光学检测模块的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种液晶显示阵列基板检测技术，特别涉及一种减少阵 列基板光学检测不良的阵列基板光学检测模块。
背景技术：
液晶显示技术近年来发展迅速，产业规模不断扩大，产品应用越来越广 泛。液晶显示屏生产工艺复杂，生产成本高，是典型的资本、知识密集型企 业，如何提高产品良率，以降低生产成本，成为所有生产企业的目标。因此， 在产品生产过程中，及时进行检测，不仅可以避免不良品的流出，提升最终 制品的品质，还可以通过及时发现不良，在后续工艺中进行修复，从而提高 良率。
利用光学检测系统对阵列基板进行检测，是当前液晶显示屏生产企业广 泛采用的一类重要技术。其基本原理是利用光学系统，对阵列基板上的像素 区图样进行检测，并以检测模块所得到的信息与正常像素或周边像素进行对 比，从而找出不良像素，为后续的修复工艺提供数据，以减少阵列基板上的 不良数目，使其品质得到提升。
现有技术的检测系统简图如图1所示。参见图1，检测模块2内部主要 包括一成像系统，主要结构如图2所示，其中包括线性光源21,聚焦系统22， 感光系统23，线性光源21发出的光经待检测的阵列基板1反射，进入感光 系统23成像，再利用与之连接的图像处理系统进行处理，将所得每个像素的 图像与周围的若干像素进行对比，从而检出与周围像素图像不一致的异常像 素。在检测过程中，检测模块相对于阵列基板沿图1中的箭头方向移动，逐 步完成对整张基板的检测。
但是，由于是利用光学系统进行检测，并不能模拟液晶显示屏的工作状 态，因此，其检出不良中，很大一部分并不会对该像素的显示功能产生明显 影响，以降低最终制品的质量，也无需进行维修，如在搬运过程中落在基板 上的漂浮型灰尘颗粒，这部分数据对后续修复工艺而言，加大了工作量，对 改善产品品质作用不大。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种阵列基板光学检测 模块，通过利用洁净压缩气体，在对某一区域进行检测之前，将该区域表面 的飘浮型灰尘颗粒吹走，以减少检测出的不良。
为了实现上述目的，本实用新型提供一种阵列基板光学检测模块，包括 一检测模块本体，其中所述检测模块本体的一边或多边设置有硬质管，硬质 管中通有压缩气体，硬质管斜下方设置有压缩气体喷出口。
上述方案中，所述硬质管的材料为金属、高分子材料或陶瓷等硬质材料。 所述硬质管在检测模块本体侧面的投影比检测模块侧面长度长0-10cm;所述 硬质管长度方向与检测模块本体側壁成0-60度角夹度。所述压缩气体喷出口 为一狭长的开口槽。所述开口槽的开口宽度为0. 1-0. 5cm，长度比该硬质管 总长短0-10cm。所述开口槽中压缩气体喷出的方向与阵列基板表面成0-90 度夹角。
相对于现有技术，本实用新型利用检测模块本体上设置的压缩气体硬质 管吹出洁净压缩气体，在检测模块对阵列基板上某一区域进行检测之前，将 该区域表面的飘浮型灰尘颗粒吹走，减少了这部分不良的检测出，从而可以 减少修复工艺中的工作量，在不降低产品品质的前提下，节约了设备和人力 成本。
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步更为详细地说明。
图1是现有技术中的检测系统简图2是现有技术的检测模块内部示意简图3为本实用新型的检测系统简图4为本实用新型检测模块俯视简图5为本实用新型的压缩气体硬质管的剖面图。
图中标记1、阵列基板；2、检测模块；21、线性光源；22、聚焦系统； 23、感光系统；3、硬质管；4、硬质支架。
具体实施方式
本实用新型是在光学检测模块上添加通有洁净压缩气体的硬质细管，随 着检测模块与阵列基板的相对运动，压缩气流能通过硬质管上的开口以一定 角度喷射到阵列基板上，将漂浮型灰尘颗粒吹走，达到减少不良的目的。
图3为本实用新型具体实施例的检测系统简图。如图3所示，本实用新 型的检测模块是在现有技术中的检测模块1上添加了硬质管3部件，图中硬 质管3为金属、高分子材料或陶瓷等材质的细长管，数量为3根，分别设置 在检测模块靠近阵列基板的下边上，每根硬质管3中通有洁净压缩气体，洁 净压缩气体的成分可为空气、氮气等，压强高于外部气压1-100kPa。每一硬 质管3通过一硬质支架4固定在检测模块1的侧壁上，其直径为0. 5-5cm。
本具体实施列中的硬质管的数量可以根据实际吹进基板的效果进行增加 或减少；此外，检测模块每边设置的硬质管数量也增加为多根。
图4为本实用新型具体实施例检测模块的俯视简图。如图4所示，硬质 管3在检测模块侧面的投影比检测模块长度长0-10cm,其长度方向与检测模 块側面成0-60度夹角a,其最低点与基板表面间距离为0. 5-5cm。
图5为该硬质细管剖面图。如图5所示，该细管斜下方有一狹长开口槽， 其宽度为0. l-O. 5cm,长度比该金属管总长小l一10cm，使气流沿开口喷射到
阵列基板上，从而将灰尘颗粒吹走，达到减少检测到的不良的目的。箭头所
示为压缩气流沿开口喷出方向，其与检测模块側壁所成角度(3值可在0-90度 间进行调整。通过对气流开关进行控制，使气流与检测模块和阵列基板的相 对运动同步，当发生相对位移时，气流打开；相对静止时，气流关闭。
本实施列中的狭长开口槽也可进行变通，如变更为一排小孔，或小孔与 槽的结合等情况。
最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限 制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术 人员应当理解按照需要可使用不同材料和设备实现之，即可以对本实用新型 的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和 范围。
权利要求1、一种阵列基板光学检测模块，包括一检测模块本体，其特征在于所述检测模块本体的一边或多边设置有硬质管，硬质管中通有压缩气体，硬质管斜下方设置有压缩气体喷出口。
2、 根据权利要求1所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于所述硬 质管的材料为金属、高分子材料或陶瓷。
3、 根据权利要求l所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于所述硬 质管在检测模块本体侧面的投影比检测模块侧面长度长0-1 Ocm;所述硬质管 长度方向与4企测模块本体侧壁成0-60度角夹度。
4、 根据权利要求1至3任一所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于 所述压缩气体喷出口为一狭长的开口槽。
5、 根据权利要求4所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于所述开 口槽的开口宽度为0. 1-0. 5cm,长度比该硬质管总长短0-10cm。
6、 根据权利要求5所述的阵列基板光学检测模块，其特征在于所述开 口槽中压缩气体喷出的方向与阵列基板表面成0-90度夹角。
专利摘要本实用新型公开了一种阵列基板光学检测模块，包括一检测模块本体，检测模块本体的一边或多边设置有硬质管，硬质管中通有压缩气体，硬质管斜下方设置有压缩气体喷出口。其中硬质管的材料为金属、高分子材料或陶瓷；压缩气体喷出口为一狭长的开口槽。本实用新型通过利用洁净压缩气体，在对某一区域进行检测之前，将该区域表面的飘浮型灰尘颗粒吹走，以减少检测出的不良。
文档编号G01M11/00GK201004129SQ20072010350
公开日2008年1月9日 申请日期2007年2月7日 优先权日2007年2月7日
发明者斌 徐 申请人:北京京东方光电科技有限公司