专利名称：用于测量被聚焦的激光束的测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于测量被聚焦的激光束的测量装置。要测量的激光束使用于， 具体地，眼睛的激光外科手术中，诸如在角膜或者晶状体的光折射治疗中。当然，这仅仅是 一个例子；主要地，本发明不受到关于要测量的激光束的应用目的的任何限制。对于很多激 光应用而言，确定的光束参数的精确的知识通常是必要的，除了此处提到的眼睛的激光外 科手术以外的两个的情况下、在半导体技术中的光刻技术以及光学数据载体的激光扫描或 激光刻录，仅有两种情况不在在多个其他的示例的范围内。
背景技术：
激光束的重要的光束参数通常包括光束直径，特别地，是在光束腰部的区域中的 光束直径，以及光束发散度，但是其他的参数，诸如衍射指数(通常表示为M2)或横向于光 束方向的强度分布，也是重要的。用于测量激光束的所谓刀边缘或狭缝方法是已知的，其中刃或足够窄的狭缝横向 移动穿过光束，并且借助检测器分别地依赖刃或者狭缝位置测量发送功率。通过以这种方 式已经获得传输弯曲的差异，随后可以确定强度分布图，依靠强度分布图接着可以确定光 束直径。作为对基于光束的“扫描”的上述传输测量方法的替代，已经知道，例如从 US4，917，489，依靠单个放大透镜放大激光束并且引导被放大的激光束接收适合的强度衰 减到图像获得装置(图像传感器)。然后在考虑透镜的放大系数的情况下从激光束所产生 的图像，可以计算在物侧透镜焦点处的光束直径。
发明内容
相反地，发明的用于测量聚焦的激光束的测量装置包括放大透镜系统，具有在激 光束的光束路径中串联设置的至少两个透镜，其中放大透镜系统的每对相继的透镜具有重 合的焦点，电子图像传感器设置在放大透镜系统之后在其焦点处，用于捕获被放大的激光 束的图像，适配器围绕光束路径，用于耦接测量装置到提供激光束的激光系统，适配器形成 用于激光系统的邻接表面，该邻接表面相对于激光束的光束轴线轴向地定向，以及纵向调 整装置，其允许沿着光束路径相对于设置在适配器上的测量装置的参照点同时调整放大透 镜系统的透镜和图像传感器。本发明测量装置的优选实施例在从属权利要求中说明。在高斯光束光学的参照文献中(还参见例如KUhlke，Dietrich :“0ptik， Grundlagen und AnwendungenHarri Deutsch Verlag，1998 第一版)，教导了要测量的激 光束的光束直径与单个放大透镜的放大系数的依赖性。当被放大的光束的腰部直径与未被放大的光束的腰部直径的商作为放大系数时，具体地可以得出，用于较小的腰部直径的单 个放大透镜的放大系数可以明显高于用于较大腰部直径的放大系数。当使用单个放大透镜 用于测量具有不同腰部直径的焦点时，公称的、恒定的放大比的假定可以因而导致相当大的测量误差。发明人认识到，如果每对相继的透镜具有重合的焦点，多透镜系统能够消除放大比对光束直径的依赖性。在这种情况下，可以假定不变的常数放大比，不管要测量的光束的 腰部直径有多大。这允许非常精确地确定要测量的激光束的实际腰部直径。本发明测量装置的纵向调整装置允许透镜和图像传感器作为整体，沿着光束路径 相对属于测量装置的参照点进行被限定的调整。属于测量装置意思是指参照点定位在测量 装置处或者定位在测量装置中，因而相对测量装置作为整体是不动的。由透镜和图像传感 器构成的整体，其沿着光束路径的可调性能够精确地定位要测量的激光束的光束腰部，并 且因此精确地调整测量装置，从而激光束的焦点与放大透镜系统的第一透镜的焦点重合。 当被图像传感器捕获的光束剖面具有其最小值时，这种情况将出现。在透镜和图像传感器 的这种创造性的彼此相关布置的情况下，当定位在第一透镜的焦点中时，光束腰部将被成 像在图像传感器的传感器表面上。通过相对于光束焦点纵向调整由透镜和图像传感器构成 的整体，可以容易地找到这个位置。透镜和图像传感器的纵向可调节性替代地或者可另外地用于确定在沿着激光束 在不同位置处的光束直径，换而言之，用于确定激光束的直径分布图。这个直径分布图允许 获得例如关于光束的发散和衍射指数的信息。不用说，适当编程的电子估算单元将被设置 用于确定这些和其他的光束参数，如果需要，其估算和解释已经由图像传感器提供并在存 储器中缓冲的电学图像信号。由纵向调整装置提供的对由透镜和图像传感器构成的系统的可调整范围优选地 延伸过激光束的至少三倍瑞利长度。如果需要，纵向调整装置可以另外对透镜的相对于彼此或者/和相对于图像传感 器的纵向调整，例如用于校准目的或者用于元件和组件公差的补偿。根据为测量装置的特别短的设计所提供的实施方式，放大透镜系统包括总共两个 透镜。对于足够的放大比，第一透镜需要相对较小的焦距，以使第一透镜将不得不被制造成 相对较小。如果放大透镜系统包括总共四个透镜，能被更方便地加工和安装的较大透镜是 可能的。放大倍数功率然后可以分成两段，每个包括一对透镜，以使在具有相同的总放大倍 数的情况下，每对透镜的放大倍数可以小于在具有总共两个透镜的实施方式下的单对透镜 的放大倍数。放大透镜系统的所有透镜可以被设计为每个都是会聚透镜。替代地，在至少最后 的透镜设计为会聚透镜的情况下，放大透镜系统可能包括至少一个发散透镜。由于发散透 镜的负的焦距，与会聚透镜相比，发散透镜的使用允许缩短结构空间。这可以具体地适用于 包含多于两个透镜的实施方式中，其中第一透镜可以选择较大焦距，以使由于发散透镜的 使用在结构空间中的优势大于具有总共两个透镜的方案，在后一方案中第一透镜具有比较 短的焦距。在每种情况下，最后的透镜将被设计为会聚透镜，因为图像传感器需要激光束的 实像。为了保持放大透镜系统导致的波前的变形较小，发现当放大透镜系统的至少一个 透镜具有平的透镜面并且其弯曲透镜面朝向具有较小发散的光束部分是有利的。放大透镜 系统因而优选地只包括平凸或平凹透镜，但是没有透镜在两侧都是弯曲的，尽管这当然不 是强制的。
元件和组件公差可以引起测量装置的至少一些光学元件相对于激光束在横向于光束路径方向取向不准确。测量装置因而优选地包括横向调整装置，允许横向地调整放大 透镜系统的至少第一透镜，具体地，垂直于光束路径，相对于测量装置的上述参照点。已经 发现，放大透镜系统的第一透镜的横向于光束路径的不对准会对图像位置在图像传感器上 的定位、波前变形和图像变形具有特别强的影响，但是在任何情况下，更强于其他的透镜的 相应的不对准。为了这个原因，至少第一透镜应该是横向可调的。根据变量，它可以独自横 向地调整，即，独立于其他的透镜并且独立于图像传感器。根据另一个变量，第一透镜与放 大透镜系统的至少其它透镜一起，特别是与放大透镜系统的所有透镜一起，并且优选地还 与图像传感器一起，可以作为一个单元而横向可调。横向调整装置适合地允许在两个相互垂直的横向方向上独立地调整放大透镜系 统的至少第一透镜。测量装置的优选的结构为至少一些透镜提供，具体地，为在光束路径上的放大透 镜系统的全部透镜提供，串联安装在透镜镜筒中，该透镜镜筒可依靠纵向调整装置在筒轴 向方向相对于参照点调整。透镜镜筒可以优选地在轴向方向上被可移动地引导，但是固定 而无法在具体地设计为管状的导向体的导向接收开口中旋转，纵向调整装置在透镜镜筒和 导向体之间有效。透镜镜筒的一端从导向体轴向地突出，并且适合在突出端的区域中用于机械耦接 到容纳图像传感器的摄像机。对于透镜镜筒和导向体之间任何运动的补偿，推荐的是在透镜镜筒和导向体之间 有效的弹性偏压装置，其相对于导向体轴向地偏压透镜镜筒。在测量装置的优选的实施方式中，导向体承载适配器。适配器优选地是与导向体 分开的元件，并且能够可更换地连接到导向体。这允许测量装置有模块式结构，对于该模块 式结构，可以使用多个选择性使用的不同适配器用于耦接到不同的激光系统。所述的横向调整装置可以在适配器和导向体之间有效。适配器合适地形成用于激光系统的邻接表面，其相对于激光束的光束轴线轴向地 定向。这个邻接表面然后可以用作纵向参照点，如果需要，用于测量装置的光学元件的横向 调整。
以下参照附图更详细地解释本发明，其中图1是用于捕获激光束的放大图像的一对透镜和图像传感器的相对布置的示意 性说明图。图2是用于捕获激光束的放大图像的两对透镜和图像传感器的相对布置的示意 性说明图。图3通过创造性的测量装置实施方式的纵向剖面图。图4显示图3的测量装置的放大剖面，和图5显示图3的测量装置的另一个放大剖面。
具体实施例方式图1和2显示被使用在发明的测量装置中的放大透镜系统的两个不同示例性结 构。在图1的变化中，放大透镜系统包括总共两个光学薄透镜10、12，它们两个都适合用平 凸会聚透镜。在被放大的图像由电子图像传感器14捕获之前，要测量的激光束首先入射在 透镜10上并且随后入射在透镜12上。图像传感器可以例如是CXD或CMOS图像传感器。放 大透镜系统的光学轴线指示为16。为了防止光学成像误差，希望激光束光束轴线与光学轴 线16重合。由于事实上由元件或组件公差引起的测量装置的光学元件横向地与激光束射 束方向的不对准通常无法完全避免，在本发明测量装置的优选实施例中设置适合的横向调 整装置，依靠调整装置，放大透镜系统的透镜和图像传感器(如果需要)可以横向于射束方 向被调整，从而光学轴线16基本准确地与光束轴线重合。图1的透镜10具有焦距Π ；其两个焦点(物侧和像侧)分别地标注为18和20。透镜12具有焦距f2。透镜12布置为其物侧焦点与第一透镜10的像侧焦点20重 合。透镜12在像侧具有焦点22。图像传感器14的传感器平面与所述焦点22重合。如果在透镜10、12和图像传感器14的这种彼此相关的布置情况下，要测量的激光 束的光束腰部处在焦点18中，则在图像传感器14上成像的放大比独立于腰部直径。图像 传感器14与电子估算装置(未详细显示)连接，电子估算装置接收传感器14的图像信号， 将信号转换成数字形式(如果需要)，并且从此确定放大的和实际的(未放大)的腰部直 径。对于激光束强度的衰减，一个或几个中性密度滤光器(灰色滤光器)可以布置在光束 路径中。在图1的示例性结构中，具体地，这种灰色滤光器可以被设置在透镜12和图像传 感器14之间。灰色滤光器的光学厚度然后将导致焦点22的较小位移，当定位图像传感器 14时不得不考虑该位移。可以看出，透镜10、12的弯曲侧正在面对具有较小发散的光束部分。被第一透镜 10影响的腰部直径放大倍数，由光束的平行相伴，导致激光束的发散在透镜10的像侧处比 在物侧处小。然而，应用于透镜12的是，激光束在像侧处具有较高发散。这导致图1显示的 透镜布置为，它们的弯曲侧彼此面对。使平面透镜侧面对较高发散的光束部分和使弯曲透 镜侧面对较小的发散的光束部分的这样的措施能够使由透镜10、12引起的波前变形较小， 并且因而减少图像变形到最小值。如果，在数值的示例中，放大比被假设为大约20 (即，在图像传感器14处的腰部直 径比非放大腰部直径大20倍)，那么可以选择透镜10的焦距为例如大约3mm而透镜12的焦 距为大约60mm。这些焦距能够实现测量装置的整体尺寸相对较短。上述数值说明当然只是示 例性的；具体地，用于放大比的其他的值可以值得努力，可能需要其他的焦距的透镜10、12。在图2的变化中，放大透镜系统包括总共四个由24、26、28、30标注的又是光学薄 透镜。图像传感器仍标注为14而光学轴线标为16。当在光束传播方向查看时，第二透镜 26和第四透镜30每个被设计为平凸会聚透镜，而第一透镜24和第三透镜28每个设计为平 凹发散透镜。一对透镜24、26形成放大透镜系统的第一放大级，而第二对透镜28、30形成 第二放大级。两个放大级的放大系数可以相同或不同；总放大比得自于两个放大级的放大 系数的乘积。在图示的示例性情况下，两个会聚透镜26、30具有相同焦距；会聚透镜26的两个 焦点标注为32、34，会聚透镜30的两个焦点标注为36、38。由于它们的负的焦距，发散透镜24、28每个布置在随后的会聚透镜的焦点之后，但是又以(虚)焦点与各自的相继的会聚透 镜焦点重合这种方式。这意味着焦点32同时是透镜24的(虚)焦点，并且焦点34、36也 对应发散透镜28的每个的一个(虚)焦点。使用发散透镜取代会聚透镜允许测量装置的尺寸缩短，与图1具有两个透镜结构 相比，在图2具有四个透镜结构中该效果更明显。为了表现另一个数值的示例如果放大透镜系统的放大比又假设为大约20，然后 会聚透镜26、30每个可以具有大约例如42mm的焦距，同时发散透镜可以选择大约_9mm的 焦距。再次，当然仅是示例性说明，其可以随时改变，具体地如果期望放大透镜系统有另一 放大比的话。为了说明具体结构示例，现在参照图3至5。这里图示的测量装置通常标注为40。 其是可以耦接到现有的激光系统的手提式装置，不需要运送激光系统到单独的测量场地。 因而，测量装置40允许在激光系统安装场地处原地立即测量。测量装置40设置有适配器42，适配器42具有围绕光学轴线16的套筒一样的适配 器的主要部分44。在图3左手侧轴线端的区域中，适配器42形成以用于耦接到提供激光束 的激光系统。为这个目的而提供的耦接装置包括轴向定向的环状邻接表面46，其用作轴向 邻接并且因而用于测量装置40相对激光系统的轴向定位。上述耦接装置还包括环状夹紧 部分48，优选地与适配器主要部分44 一体地形成，用于径向地夹紧目标的边缘或者激光系 统的另一个部分。夹紧部分48设置有多个螺纹孔50，螺纹孔分布在圆周方向用于插入径向 的夹紧螺杆(未显示)。在其另一轴线端的区域中，适配器主要部分44可移除地与调整块52连接，调整块 52形成用于管状导向体56的接收开口 54。调整块52设置有用于插入紧固螺杆(未详细显 示)的螺纹孔58，适配器42依靠紧固螺杆可以被固定到调整块52。导向体56轴向不动地 保持在调整块52的接收开口 54中，然而，其依靠调整块52的调整螺杆(未详细显示)可 相对于调整块在径向的平面内调整。为了这个目的，调整块52可以包括内套管，内套管以 未详细显示的方式径向地夹紧导向体56，并且以横向地可调整方式保持在调整块52的外 壳中。适合的调整块是在市场上可买到的。例如，可参考可从OWIS GmbH得到的产品名称 为“XY-Justieraufnahm印latte 0H40”的调整装置，其可以用作调整块52，如果需要，还可 稍微地修改。调整块52允许在两个彼此正交的径向方向上独立地横向调整导向体56。因 而，导向体56可以在垂直轴线的平面中的任何方向上调整。在图示的实施方式中，由在导向体56的外圆周处的轴向肩60和螺纹连接在导向 体56上的螺纹环62，确保导向体56相对于调整块52的轴向位置固定。调整块52轴向地 保持在轴向肩60和螺纹环62之间。导向体56形成用于透镜镜筒68的轴向导向接收开口 66，该镜筒与放大透镜系统的透镜一起可以预组装为结构单元，并且作为这种预组装的结构单元被插入导向体56中。 在本示例性情况下，对应图1变化的放大透镜系统，从而在图3至5中的测量装置的仅两个 存在的透镜也标注为10和12。然而应理解另一种透镜结构，例如图2中的一个，可以同样 安装到透镜镜筒68中。透镜镜筒68轴向可移动地被引导，并且被固定而无法在导向体56的导向接收开 口 66中旋转。对于两个主体彼此之间的防旋转，透镜镜筒68包括形成在透镜镜筒的外圆周表面的轴向、细长的凹部70，接合在凹部70中的防旋转螺杆(未详细显示)可以插入导向体56的相应的螺纹孔72中。可以看出，透镜镜筒68和导向体56—起延伸到适配器42的套管形状的主要部分 44中，具体地，延伸到相同深度，并且可见，透镜镜筒68在其另一轴线端的区域中从导向体 56突出。在突出端的区域中，透镜镜筒68被耦接到数字摄像机74，诸如图1和2的图像传 感器14的图像传感器(未详细显示在图3至5中)被安装在数字摄像机74中。在透镜镜 筒68的自由轴向端处的轴向邻接表面76允许摄像机74相对于透镜镜筒68，因此，相对于 安装在其中的透镜10、12的轴向位置，被限定。摄像机74与透镜镜筒68的耦接可以例如 是螺杆耦接或径向的夹紧连接。摄像机74可移除地耦接到透镜镜筒68的测量装置40的 这种结构使其可以回复到商业摄像机模式。已经提到，透镜镜筒68与插入其中的元件一起可以被预组装成结构单元。除了两 个透镜10、12以外，这些元件还包括作为在预组件中的第一元件的被推入透镜镜筒68的前 环78，该前环提供用于透镜12的平面侧的平的接触表面。前环78接触轴向肩80，该轴向肩 80形成在内部主体开口的具有较大直径的部分与具有较小直径的部分之间的过渡段处。跟 随透镜12，隔离管82被推入透镜镜筒68。跟在隔离管82后面的是包括透镜10的透镜组 件84，透镜组件84也是预组装结构单元。透镜组件84包括近似杯状的透镜装配件86，其 包括在底部的用于激光束的中心通孔。透镜10定位在所述孔之上，而其平面透镜侧靠着透 镜装配件86的杯形底部支撑。对中盘88提供透镜10在透镜装配件86中的径向对中。透 镜装配件86在其杯壁的内侧处具有螺纹，透镜夹紧螺杆90以及螺纹盘92被插入杯壁的内 侧。为了不损伤透镜10，透镜夹紧螺杆90不是靠着透镜10拉紧，而是借助于螺纹盘92锁 定。已经以这种方式预组装的透镜组件84被推入透镜镜筒68，直到透镜装配件86邻 接隔离管82。在适配器侧端的区域中，透镜镜筒68设置有阴螺纹，两个另外的带螺纹的盘 94、96结合进所述阴螺纹，用来紧固在透镜镜筒68中的剩余的元件。两个带螺纹的盘94、 96又优选彼此相抵锁定，以便防止轴向夹紧力通过透镜装配件86和隔离体82传递到透镜 12。前面已经解释，透镜镜筒68被轴向地引导，在导向接收开口 66中可相对导向体56 移动。纵向调整装置在透镜镜筒68和导向体56之间有效，使得能够限定透镜镜筒68相对 于导向体56的纵向调整。这些纵向调整装置包括调整部件98，调整部件与导向体56螺纹 接合同时与透镜镜筒68轴向支撑接合。在图示的示例性情况下，调整部件是螺纹套管，其 位于导向体56上并且在支撑套环100的后面径向地延伸，支撑套环100形成在透镜镜筒68 的近摄像机一端的区域中。螺纹套管98设置有阴螺纹，螺纹套管98依靠阴螺纹而螺纹连 接到导向体56的互补的阳螺纹上。环状空间102形成在螺纹套管98和透镜镜筒68之间， 适合用作螺旋压力弹簧的偏压弹簧104容纳在其中。偏压弹簧104 —端轴向地支抵透镜镜 筒68的支撑套环100，另一端轴向地支抵导向体56并且施加将两个主体56、68推开的偏压 力。这个轴向偏压力从透镜镜筒68通过支撑套环100指向到环状腹板106，环状腹板106 形成在螺纹套管98的近摄像机一端处并且径向地向内突出。为了减少导向体68和螺纹套 管98之间的摩擦力，滑动环108由具有有利于滑动的特性的材料制成，放置在支撑套环100 和环状腹板106之间的透镜镜筒68上。偏压弹簧104足够强以防止在测量装置40的正常操作情况下，在透镜镜筒68和导向体56之间的间隙导致的非故意的移动。螺纹套管98能够使包括透镜10、12和摄像机74的系统相对于导向体56，及因而相对于用作参照点的适配器42的邻接表面46，被限定的纵向调整。由于螺纹直径比较大 (例如当与微米螺纹比较时较大)，可以获得透镜镜筒68的非常灵敏的纵向调整。以这种 方式，在轴向方向上可以实现仅几微米的调整精度。在假定螺纹套管98的直径大约34mm 的情况下，可以实现这么高和精确的调整精度，其中螺纹螺距为大约0. 5mm(另外假定人手 能做到的对螺纹套管98的最小转动为0. 5到Imm)。透镜镜筒68在轴向方向上最大调整行 程例如可以是几毫米的范围内，足够用于以通常光束直径执行M2测量，其需要三倍瑞利长 度的透镜镜筒68纵向可调性。对于激光束强度衰减，灰色滤光器110另外安装在透镜镜筒68中，从透镜镜筒68 的近摄像机一端推入并且依靠夹紧套管112而紧固在其中，而弹性环114夹在其间。以这种 方式，灰色滤光器110可以互换从而具有不同密度的灰色滤光器可以用于不同光束强度。
权利要求
一种用于测量被聚焦的激光束的测量装置，包括放大透镜系统，其包括沿着所述激光束的光束路径接连设置的至少两个透镜(10，12)，其中所述放大透镜系统的每对相继的透镜具有重合的焦点，电子图像传感器(14)，其设置在所述放大透镜系统后面在所述放大透镜系统的焦点处，用于捕获所述激光束的被放大的图像，适配器(42)，其围绕所述光束路径，用于耦接所述测量装置到提供所述激光束的激光装置，所述适配器(42)形成用于所述激光系统的邻接表面(46)，所述邻接表面相对于所述激光束的光束轴线(16)轴向地定向，纵向调整装置(98)，其允许沿着所述光束路径相对于设置在所述适配器上的所述测量装置的参照点(46)同时调整所述放大透镜系统的所述透镜(10，12)和所述图像传感器(14)。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于所述透镜的至少部分，尤其是所述放 大透镜系统的所有透镜(10，12)，在所述光束路径方向上接连地安装在透镜镜筒(68)中， 所述透镜镜筒(68)在导向体(56)的导向接收开口(66)中被引导，用于在所述镜筒的轴线 方向上移动，并且优选地固定而无法在导向接收开口中旋转，并且所述适配器(42)被连接 到所述导向体。
3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于所述适配器(42)是与导向体(56)分 开的部件，并且优选为可更换地连接到所述导向体。
4.根据权利要求2或3所述的测量装置，其特征在于所述纵向调整装置(98)在所述 透镜镜筒(68)和所述导向体(56)之间有效。
5.根据权利要求2至4中任一所述的测量装置，其特征在于横向调整装置(52)，其在 所述适配器(42)和所述导向体(56)之间有效，并且允许相对于所述参照点(46)在横向方 向上，尤其是在所述光束路径的垂直方向上，调整所述放大透镜系统的至少第一透镜(10)。
6.根据上述权利要求中任一所述的测量装置，其特征在于所述适配器(42)包括围绕 所述光束路径的套筒状的主要部分(44)，其中所述主要部分在其一个轴向端处设置有用于 耦接到所述激光系统的耦接装置。
7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于所述耦接装置适合用于径向地夹紧 所述激光系统的结构。
8.根据权利要求6或7所述的测量装置，其特征在于所述适配器(42)的所述主要部 分(44)在其另一轴向端处连接到调整块(52)，所述调整块允许相对于所述适配器(46)横 向于所述光束路径调整所述放大透镜系统的至少所述第一透镜(10)。
9.根据上述权利要求任何一项所述的测量装置，其特征在于所述放大透镜系统包括 总共两个透镜(10，12)或总共四个透镜(24，26，28，30)。
10.根据上述权利要求任何一项所述的测量装置，其特征在于所述放大透镜系统的 所有透镜(10，12)的每一个构造为会聚透镜。
11.根据权利要求1-9中任一所述的测量装置，其特征在于所述放大透镜系统包括至 少一个发散透镜(24，28)，并且至少所述透镜的最后的那个透镜(30)构造为会聚透镜。
12.根据上述权利要求中任一所述的测量装置，其特征在于所述放大透镜系统的至 少一个透镜(10，12)具有一个平的透镜面，并且具有朝向具有较小发散的光束部分定向的弯曲透镜面。
13.根据上述权利要求中任一所述的测量装置，其特征在于所述纵向调整装置(98) 允许以所述激光束的至少三倍瑞利长度调整所述放大透镜系统和所述图像传感器。
14.根据权利要求2-13中任一所述的测量装置，其特征在于所述导向体(56)是管状的。
15.根据权利要求2-14中任一所述的测量装置，其特征在于所述透镜镜筒(68)在其 一个轴向端处从所述导向体(56)突出，并且适合在其突出端的区域中用于机械耦接到容 纳所述图像传感器的摄像机(74)。
16.根据权利要求2-15中任一所述的测量装置，其特征在于弹性偏压装置(104)在 所述透镜镜筒(68)和所述导向体(56)之间有效，用于相对于所述导向体轴向地偏压所述 透镜镜筒。
17.根据上述权利要求中任一所述的测量装置，其特征在于所述图像传感器是可替 换地耦接到所述测量装置的摄像机的一部分。
18.根据上述权利要求中任一所述的测量装置，其特征在于所述测量装置构造为可 手提。
全文摘要
根据典型实施方式，用于测量激光束的测量装置包括放大透镜系统，其具有在激光束的光束路径中接连布置并且焦点重合的总共两个透镜(10，12)的，以及像机(74)，其布置在两个透镜(10，12)之后在最后透镜(12)的焦点中并且包括从被放大的激光束产生电子图像的电子图像传感器。透镜(10，12)与摄像机(74)一起可沿着光束路径相对测量装置的参照点(46)调整，以便能以此方式找到激光束的光束腰部和确定激光束的直径分布。测量装置还包括适配器(42)，其围绕光束路径用于耦接测量装置到提供激光束的激光系统。在这种情况中，适配器(42)形成用于激光系统的停止面(46)，该停止面基于激光束的光束轴线(16)轴向地定向，并允许测量装置被原地耦接到激光系统的安装场所。
文档编号G01J1/04GK101821595SQ200880106717
公开日2010年9月1日 申请日期2008年9月12日 优先权日2007年9月13日
发明者奥拉夫·基特尔曼, 贝恩德·热尔特 申请人:波光股份有限公司