专利名称：电子式铝线键合机焊头压力测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种对铝线键合机焊头压力进行校对测量的装置。
技术背景 目前U3000系列铝线键合机的计量校对工作用以下二种方法1、出厂用微型电子 秤计量校对；2、用户用机械式克力计计量校对。这样的方法在校对速度、精度等方面存在缺 陷。
发明内容 本实用新型的目的在于提供一种结构合理，相对快、精度高的电子式铝线键合机 焊头压力测量装置。 本实用新型的技术解决方案是 —种电子式铝线键合机焊头压力测量装置，其特征是包括底座，底座上装传动器 固定架，传动器固定架上装力传感器，力传感器上设有接力块。 底座与传动器固定架通过螺钉连接。 传动器固定架与力传感器通过螺钉连接。 本实用新型结构合理，提高了 U3000系列铝线键合机的计量校对工作速度，可以 做到边调边看压力变化，改变了用克力计校对时调一次看一次的校对方法。提高了 U3000 系列铝线键合机的计量校对精度(电子式测量误差< 0. 5%，克力计测量误差2% )。能借 助示波器观测到焊头压力变化曲线和超声功率变化曲线，进行设备间性能对比分析。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1是本实用新型一个实施例的结构示图。 图2是本实用新型使用原理图。
具体实施方式
—种电子式铝线键合机焊头压力测量装置，包括底座4，底座上装传动器固定架， 传动器固定架上装力传感器2，力传感器上设有接力块1。底座与传动器固定架通过螺钉5 连接。传动器固定架与力传感器通过螺钉6连接。 使用时直接将本实用新型电子式铝线键合机焊头压力测量装置7安装在U3000系 列铝线键合机的键合轨道安装座上。测量时键合机焊头劈刀压在接力块1上，力传感器2将焊头压力转化成电信号送 信号处理器8进行处理，处理后的电信号直接送显示表头9显示压力读数或用示波器10显 示压力波形(观察压力变化波形)。
权利要求一种电子式铝线键合机焊头压力测量装置，其特征是包括底座，底座上装传动器固定架，传动器固定架上装力传感器，力传感器上设有接力块。
2. 根据权利要求1所述的电子式铝线键合机焊头压力测量装置，其特征是底座与传 动器固定架通过螺钉连接。
3. 根据权利要求1或2所述的电子式铝线键合机焊头压力测量装置，其特征是传动 器固定架与力传感器通过螺钉连接。
专利摘要本实用新型公开了一种电子式铝线键合机焊头压力测量装置，包括底座，底座上装传动器固定架，传动器固定架上装力传感器，力传感器上设有接力块。本实用新型结构合理，提高了U3000系列铝线键合机的计量校对工作速度，可以做到边调边看压力变化，改变了用克力计校对时调一次看一次的校对方法。提高了U3000系列铝线键合机的计量校对精度(电子式测量误差＜0.5％，克力计测量误差2％)。能借助示波器观测到焊头压力变化曲线和超声功率变化曲线，进行设备间性能对比分析。
文档编号G01L5/00GK201522345SQ20092023481
公开日2010年7月7日 申请日期2009年8月7日 优先权日2009年8月7日
发明者季达 申请人:南通华达微电子集团有限公司