专利名称：用于污染物处理系统的pH值测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种PH值测量装置，尤其是用于污染物处理系统的PH值测量装置。
背景技术：
在半导体加工制造厂，由于使用的化学物质品种比较多，故产生的污染物种类也 非常多，如氨气(NH3)、氯化氢(HCl)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)等，为降低排放的污染程度， 需要在污染物处理系统中处理污染物。例如，在氨气处理系统中，利用硫酸与氨气进行反 应，吸收氨气污染物。在所述氨气处理系统中，PH值测量装置是控制这一过程的重要装置， 所述PH值测量装置测定所述氨气处理系统中液体环境的PH值，根据PH值控制硫酸的计 量。当所述氨气处理系统中溶液的PH值小于HH(HH通常为2 4的某一数值)时，氨气可 以有效地彻底清除。所以，当所述氨气处理系统中溶液的PH值高于HH时，PH值测量装置 会将信息传递给所述氨气处理系统，所述氨气处理系统相应地增加硫酸的计量，使所述氨 气处理系统中溶液的PH值降低到HH以下，从而保证氨气的彻底清除。图1为现有技术中氨气处理系统的结构示意图，如图1所示，氨气处理系统包括 氨气处理箱100’，所述氨气处理箱100’是氨气和硫酸进行反应的主要场所；氨气通入管道 102’，所述氨气通入管道102’与所述氨气处理箱100’密闭连接；硫酸通入管道104’，所述 硫酸通入管道104’与所述氨气处理箱100’密闭连接；所述硫酸通入管道104’受液体控制 阀105’控制；自来水通入管道103’，所述自来水通入管道103’与所述氨气处理箱100’密 闭连接；所述自来水通入管道103’受自来水控制阀106’控制；液位探测仪107’与所述氨 气处理箱100’密闭连接，用于测量所述氨气处理箱100’内部的液位；循环管道110’，所述 循环管道110’的流入口和流出口均与所述氨气处理箱100’密闭连接，磁力泵111’位于所 述循环管道110’的流入口和流出口之间，所述磁力泵111’推动、控制所述循环管道110’内 液体的流动；液体流出磁力泵111’后，所述循环管道110’分成两个并行支路，在所述第一 支路上设有第一手动蝶形阀112’与第二手动蝶形阀113’依次串行连接，所述第二支路上 设有第三手动蝶形阀114’，通常情况下第一手动蝶形阀112’和第二手动蝶形阀113’开通， 所述第三手动蝶形阀114’关闭；所述第一支路与所述第二支路合并为一个管路后，所述循 环管道110’再次分为两个支路，第三支路流回到所述氨气处理箱100’，第四支路为排泄管 道130’，所述排泄管道130’上设有排泄管道控制阀131’，所述排泄管道控制阀131’控制 液体流动。所述用于氨气处理系统的PH值测量装置包括PH值测量探头120，和PH值显 示装置121’，所述PH值测量探头120’安装在所述第一支路中，位于第一手动蝶形阀112’ 和所述第二手动蝶形阀113，之间，所述PH值测量探头120，与所述PH值显示装置121，连 接。所述氨气处理系统的工作方式如下氨气处理箱100’内不断通入氨气、硫酸和自 来水，氨气和硫酸反应后生成硫酸铵((NH4) 2S04)，通入所述自来水为了防止硫酸铵结晶， 堵塞所述氨气处理系统；所述液位探测仪107’检测所述氨气处理箱100’内部液位高度，当所述氨气处理箱100’内部液体的液位小于或等于L(L通常为所述氨气处理箱100’高度的 1/4 1/2的某一数值)，所述自来水控制阀105’自动打开，直至所述氨气处理箱100’内 部液体的液位等于M(M通常为所述氨气处理箱100’高度的1/4 1/2的某一数值，且M大 于L)，所述自来水控制阀105’自动关闭；当所述氨气处理箱100’内部液体液位高于H(通 常H为所述氨气处理箱100’高度的1/2 3/4的某一数值)时，所述排泄管道130’上的 排泄管道控制阀131’将会自动打开，进行排放；所述氨气处理箱100’内液体流入所述循环 管道110’，所述磁力泵111’推动液体流动。在正常工作情况下，液体流入所述第一支路，位 于所述第一手动蝶形阀112’和所述第二蝶形阀113’之间的PH值测量探头120’实时地测 量液体的PH值，并将PH值传递给PH值显示装置121，，因此可以实时准确的测量到所述氨 气处理系统中液体的PH值，当PH值高于HH (HH通常为2 4的某一数值)时，所述液体控 制阀105，自动开启，通入硫酸直到所述氨气处理箱100，中液体的PH值低于HH，所述液体 控制阀105，自动关闭，从而保证了所述氨气处理系统内液体PH值始终低于HH，保证氨气的 有效去除。然而，长时间浸泡在PH值较低的液体环境中会腐蚀所述PH值测量探头120’，缩短 PH值测量探头120，的寿命。所述PH值测量探头120，损坏会导致PH值测量探头120，指 示错误的PH值，导致所述氨气处理系统流入硫酸的计量出现混乱，进而有可能造成氨气无 法有效彻底清除。同理，在其他一些污染物处理过程中，也会用到PH值测量装置，也会出现 环境液体对PH值测量探头腐蚀的情况，因此在污染物处理系统中，需要设计一种对PH值测 量探头腐蚀小，不易损坏的PH值测量装置。
实用新型内容本实用新型解决的技术问题是，改进用于污染物处理系统的PH值测量装置，解决 现有技术中用于污染物处理系统的PH值测量装置易损坏、寿命短问题。为解决上述问题，本实用新型通过提供一种用于污染物处理系统的PH值测量装 置，所述PH值测量装置包括稀释箱；液体流通管道，所述液体流通管道的一端密闭连接所述稀释箱，另一端密闭连接在所述污染物处理系统的循环管道的流入口和流出口之间；第一自来水通入管道，所述第一自来水通入管道与所述稀释箱密闭连接；第一自来水控制阀，所述第一自来水控制阀设置在所述第一自来水通入管道上， 控制自来水的流入量；悬浮液位器，所述悬浮液位器悬浮在所述稀释箱内部的液体上，用于实时测量所 述稀释箱内的液位高度；PH值测量探头，所述PH值测量探头位于所述稀释箱内部；PH值显示装置，所述PH值显示装置与所述PH值测量探头连接；第一排泄管道，所述第一排泄管道与所述稀释箱密闭连接；第一排泄管道控制阀， 所述第一排泄管道控制阀位于所述第一排泄管道上，用于控制所述稀释箱内部液体的排
出ο优选的，所述污染物为氨气，所述污染物的反应物为硫酸。[0018]可选的，所述污染物为氯气、二氧化硫、三氧化硫，所述污染物的反应物为碱性物质。优选的，所述稀释箱的材料为PVC材料。优选的，所述PH值显示装置与所述PH值测量探头通过所述稀释箱的顶部连接。优选的，所述第一排泄管道与所述稀释箱的底部密闭连接。优选的，所述稀释箱内有搅拌器，所述搅拌器加快液体混合。优选的，所述液体流通管道上设有蠕动泵，所述蠕动泵控制所述液体流通管道中 液体流动。综上所述，所述PH值测量探头位于所述稀释箱内，处于被稀释后PH值更接近中性 的溶液环境下，这样可以减弱溶液对所述PH值探头的腐蚀，延长所述PH值测量探头的寿 命，保证所述PH值测量探头有稳定的性能，准确指示所述污染物处理系统中液体的PH值， 进而所述污染物处理系统可以根据PH值准确控制污染物和反应物的计量，从而提高所述 污染物处理系统的稳定性和使用寿命，保障污染物的有效清除。
图1为现有技术中氨气处理系统的结构示意图。图2为本实用新型中用于污染物处理系统的PH值测量装置的结构示意图。图3为本实用新型中污染物处理系统的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内 容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的普通及相关人员 所熟知的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了 便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。本实用新型的核心思想是，污染物处理系统的液体流入稀释箱，在所述稀释箱内 被稀释一定倍数。将PH值测量探头置于被稀释的液体中测量PH值。测量结果传递给PH 值显示系统，所述PH值显示系统经过计算后，得到所述污染物处理系统液体的PH值。即PH 值测量探头处在液体浓度较稀，接近中性、不易腐蚀的液体环境，测量出所述污染物处理系 统中液体的PH值。在本实施例中，所述污染物处理系统以氨气处理系统为例，所述污染物为氨气，硫 酸为反应物，所述硫酸用于吸收氨气。当然，如氯气、二氧化硫等其他污染物，相应地改变反 应物也可以采用本实用新型的污染物处理系统。图2为本实用新型中用于污染物处理系统的PH值测量装置的结构示意图，参考图 2所示，所述PH值测量装置包括稀释箱140 ；液体流通管道141，所述液体流通管道141的 一端密闭连接在所述稀释箱140，另一端密闭连接在所述污染物处理系统的循环管道的流 入口和流出口之间；第一自来水通入管道144，所述第一自来水通入管道144与所述稀释箱 140密闭连接；第一自来水控制阀145，所述第一自来水控制阀145设在所述第一自来水通 入管道144上，控制自来水流入；悬浮液位器146，所述悬浮液位器146悬浮在所述稀释箱140内部的液体上，用于实时测量所述稀释箱140内的液位高度；PH值测量探头120，所述 PH值测量探头120位于所述稀释箱140内部，通过所述稀释箱140的顶部与所述PH值显示 装置121连接；第一排泄管道150，所述第一排泄管道150连接在所述稀释箱140的底部； 第一排泄管道控制阀151，所述第一排泄管道控制阀151位于所述第一排泄管道150上，用 于控制所述稀释箱140中液体排出。优选的，所述稀释箱140的材料为PVC材料。所述稀释箱140采用PVC材料的好 处是，成本低廉、密闭性好且不易被腐蚀。优选的，所述稀释箱140内有搅拌器143，所述搅拌器143加快液体混合。所述搅 拌器143可以加快液体混合速度，进而加快PH值测量的速度。优选的，所述液体流通管道141上设有蠕动泵142，所述蠕动泵142适于精确控制 少量液体的流动。图3为本实用新型中污染物处理系统的结构示意图，所述污染物处理系统以氨气 处理系统为例，如图3所示，所述氨气处理系统包括氨气处理箱100，是氨气反应吸收的场 所；氨气通入管道102与所述氨气处理箱100密闭连接；硫酸通入管道104与所述氨气处理 箱100密闭连接，所述硫酸通入管道104上设有液体控制阀105，所述液体控制阀105控制 所述硫酸的通入；第二自来水通入管道103与所述氨气处理箱100密闭连接，所述第二自来 水通入管道103上设有第二自来水控制阀106，所述第二自来水控制阀106控制自来水的通 入；液位探测仪107与所述氨气处理箱100密闭连接，用于测量所述氨气处理箱100内部的 液位；循环管道110的流入口和流出口与所述氨气处理箱100密闭连接，所述循环管道110 上设有磁力泵111，所述磁力泵111控制所述循环管道110内液体的流动；液体流出磁力泵 111后，所述循环管道Iio分成两个并行支路，在所述第一支路上第一手动蝶形阀112与第 二手动蝶形阀113依次串行连接，所述第二支路上有第三手动蝶形阀114，通常情况下第一 手动蝶形阀112和第二手动蝶形阀113开通，所述第三手动蝶形阀114关闭，液体流经所述 第一支路，当所述第一支路出现工作故障时，所述第一手动蝶形阀112和第二手动蝾形阀 113关闭，所述第三手动蝶形阀114开通，液体流经所述第二支路。在本实施例中，所述液体 流通管道141的另一端密闭连接在所述第一支路上，位于所述第一蝶形手动阀112和所述 第二蝶形手动阀113之间；所述第一支路与所述第二支路合并为一个管道后，所述循环管 道110再次分为两个支路，第三支路流回到所述氨气处理箱100，第四支路为第二排泄管道 130，所述第二排泄管道130上设有第二排泄管道控制阀131，所述第二排泄管道控制阀131 控制液体排出。所述氨气处理系统工作方式如下氨气处理箱100内不断通入氨气、硫酸和自来 水，氨气和硫酸反应后生成硫酸铵((NH4)2S04)，通入所述自来水是为了防止硫酸铵结晶； 所述液位探测仪107检测所述氨气处理箱100内部液位高度，当所述氨气处理箱100内部 液体的液位小于或等于L(L通常为所述氨气处理箱100高度的1/4 1/2的某一数值)， 所述自来水控制阀105自动打开，直至所述氨气处理箱100内部液体的液位等于M(M通常 为所述氨气处理箱100高度的1/4 1/2的某一数值，且M大于L)，所述自来水控制阀105 自动关闭；当所述氨气处理箱100内部液体液位高于H(通常H为所述氨气处理箱100高度 的1/2 3/4的某一数值)时，所述排泄管道130上的排泄管道控制阀131将会自动打开， 进行排放；所述氨气处理箱100内液体流入所述循环管道110，所述磁力泵111推动液体流动，在正常工作情况下，液体流入所述第一支路，部分液体从所述第一支路流入所述液体流 通管道141，所述蠕动泵142推动液体流入所述稀释箱140，所述悬浮液位器146同时测量 所述稀释箱140内液体的计量，当流入所述稀释箱140的体积为a mL(a为确定的数值)时， 所述蠕动泵142关闭，所述第一自来水控制阀145打开，控制自来水流入，当所述稀释箱140 内液体的计量达到(a*1000)mL，即所述氨气处理箱100内液体被稀释1000倍，所述第一自 来水控制阀关闭。所述PH值测量探头120测得所述稀释箱140内液体的PH值，测得值为 H0,将PH值传递给所述PH值显示装置，根据PH值公式可知，所述氨气处理箱100内的液体 PH值为H1J1 = Η。-3，则所述PH值显示装置通过计算即可快速准确的得到所述氨气处理箱 100内液体内的PH值，当PH值高于HH(HH通常为2 4的某一数值)时，所述液体控制阀 105自动开启，通入硫酸直到所述氨气处理箱100中的液体PH值低于HH后，所述液体控制 阀105自动关闭。从而保证所述氨气处理系统内液体PH值始终低于HH，进而氨气的有效去 除，同时，所述PH值测量探头120处于被稀释后浓度较低的溶液环境下，延长所述PH值测 量探头120的寿命，提高所述PH测量探头120的稳定性，进而提高所述氨气处理系统的稳 定性和使用寿命，降低所述氨气处理系统的故障率，保障氨气的有效清除。 虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更 动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求一种用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，包括稀释箱；液体流通管道，所述液体流通管道的一端密闭连接所述稀释箱，另一端密闭连接在所述污染物处理系统的循环管道的流入口和流出口之间；第一自来水通入管道，所述第一自来水通入管道与所述稀释箱密闭连接；第一自来水控制阀，所述第一自来水控制阀设置在所述第一自来水通入管道上，控制自来水的流入；悬浮液位器，所述悬浮液位器悬浮在所述稀释箱内部的液体上，用于实时测量所述稀释箱内的液位高度；PH值测量探头，所述PH值测量探头位于所述稀释箱内部；PH值显示装置，所述PH值显示装置与所述PH值测量探头连接；第一排泄管道，所述第一排泄管道与所述稀释箱密闭连接；第一排泄管道控制阀，所述第一排泄管道控制阀位于所述第一排泄管道上，用于控制所述稀释箱内部液体的排出。
2.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述污染 物为氨气。
3.如权利要求2所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述污染 物的反应物为硫酸。
4.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述污染 物为氯气、二氧化硫、三氧化硫。
5.如权利要求4所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述污染 物的反应物为碱性物质。
6.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述稀释 箱的材料为PVC材料。
7.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述PH值 显示装置与所述PH值测量探头通过所述稀释箱的顶部连接。
8.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述第一 排泄管道与所述稀释箱的底部密闭连接。
9.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述稀释 箱内有搅拌器，所述搅拌器加快液体混合。
10.如权利要求1所述的用于污染物处理系统的PH值测量装置，其特征在于，所述液体 流通管道上设有蠕动泵，所述蠕动泵控制所述液体流通管道内液体的流动。
专利摘要本实用新型提供一种用于污染物处理系统的pH值测量装置，包括稀释箱，液体流通管道，第一自来水通入管道，悬浮液位器，pH值测量探头，pH值显示装置以及第一排泄管道。所述pH值测量探头位于所述稀释箱内，处于被稀释后pH值更接近中性的溶液环境下，这样可以减弱溶液对所述pH值探头的腐蚀，延长所述pH值测量探头的寿命，保证所述pH值测量探头有稳定的性能，准确指示所述污染物处理系统中液体的pH值，进而所述污染物处理系统可以根据pH值准确控制污染物和反应物的计量，从而提高所述污染物处理系统的稳定性和使用寿命，保障污染物的有效清除。
文档编号G01N33/00GK201681068SQ201020181599
公开日2010年12月22日 申请日期2010年4月29日 优先权日2010年4月29日
发明者姚念, 张玉兵, 张英, 朱重淑, 谢方方 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司