专利名称：漏液检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种漏液检测装置。
背景技术：
以往，在工厂有时会发生从生产线的制造装置、或者向该制造装置供给液体的配管漏液的情况。来自于所述制造装置或配管的漏液会导致工厂设施的破损和制品不良。特别是，在半导体生产线和食品加工线上，来自于制造装置或配管的漏液导致工厂设施的破损和制品不良的可能性较高。于是，以往在工厂的制造装置或者配管上具备检测来自于制造装置或者配管的漏液的漏液检测装置(例如，参照专利文献1)为了防止工厂设施的破损和制品不良，这种类型的漏液检测装置在检测到来自于制造装置的少量漏液时，就立即使制造装置停止。专利文献1 日本特开2004-53560号公报在上述的漏液检测装置中，只要检测到来自于制造装置的少量漏液就立即使制造装置停止。然而，在来自于制造装置的漏液为少量的情况下，有时即使不立即使制造装置停止也不会导致工厂设施的破损和制品不良。在这种情况下，尽管本来不须要使制造装置停止，却使制造装置停止，所以制品的制造时间变短而使制造装置的生产效率降低。另外，漏液检测装置所监视的制造装置在各个制造工序中被停止时，由于须要对所述各个制造工序中的制品进行返工或者废弃，所以会使制造装置的生产效率降低。
实用新型内容本实用新型是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种，能够以适宜的时机输出漏液检出信号的漏液检测装置。为了解决上述课题，本实用新型的一个形态为漏液检测装置，其具备导入漏液的第1导入部；第1漏液检测部，其检测被导入第1导入部内的漏液并且生成第1检出信号； 其特征在于，包括第2导入部，其在与所述第1导入部不同的位置导入漏液；第2漏液检测部，其检测被导入第2导入部内的漏液并且生成第2检出信号；和输出控制部，其基于所述第1以及第2检出信号，对应所述漏液的发生量输出漏液检出信号。本实用新型的漏液检测装置还包括所述输出控制部与所述第1漏液检测部连接，从接收到所述第1检出信号开始经过预定时间后输出所述漏液检出信号；同时与所述第2漏液检测部连接，一接收到所述第2检出信号就立即输出所述漏液检出信号。本实用新型的漏液检测装置还包括所述输出控制部与所述第1漏液检测部及所述第2漏液检测部连接，在接收所述第1检出信号之后一接收所述第2检出信号，就立即输出所述漏液检出信号。本实用新型的漏液检测装置还包括所述第2导入部被设置在比所述第1导入部离所述漏液的发生源更远的位置上。本实用新型的漏液检测装置还包括所述漏液的发生源为配置于工厂内的制造装置，所述输出控制部与所述制造装置连接，从所述制造装置接收同步信号，并且与所述同步信号同步地输出所述漏液检出信号。本实用新型的漏液检测装置还包括在所述漏液检测装置和地面之间设置有缝隙，所述第1导入部被设置在所述漏液检测装置下表面的边缘部，所述第2导入部被设置于，凹设在所述漏液检测装置的所述下表面中央的凹部。本实用新型的漏液检测装置还包括在所述凹部中设有空气孔，所述空气孔从所述凹部的内侧表面贯穿所述漏液检测装置内部并且与外部连通。本实用新型的漏液检测装置还包括时间差测定部，其测定所述第1漏液检测部检测出所述漏液的时间和所述第2漏液检测部检测出所述漏液的时间的时间差，所述输出控制部与所述时间差测定部连接，基于所述第1以及第2 检出信号，和由所述时间差测定部测定的所述时间差，来改变输出所述漏液检出信号的时机。本实用新型的漏液检测装置还包括第3导入部，其在与所述第1以及第2导入部不同的位置导入漏液；和第3漏液检测部，其检测被导入所述第3导入部的漏液并且生成第 3检出信号，所述输出控制部与所述第3漏液检测部连接，所述第3漏液检测部一检测出漏液，就立即输出所述漏液检出信号。本实用新型的漏液检测装置还包括所述第1漏液检测部包括第1投光单元，其向所述第1导入部照射光线；第1受光单元，其通过所述第1导入部接收来自于所述第1投光单元的光线；和第1检测单元，其基于在所述第1受光单元处的受光量检测所述漏液并且生成所述第1检出信号，所述第2漏液检测部包括第2投光单元，其向所述第2导入部照射光线，第2受光单元，其通过所述第2导入部接收来自于所述第2投光单元的光线；和第 2检测单元，其基于在所述第2受光单元处的受光量检测所述漏液并且生成第2检出信号。基于上述的实用新型，可以提供一种，能够在适宜的时机输出漏液检出信号，并且能够提高制造装置的生产效率的漏液检测装置。
图1是显示漏液检测装置的设置例的概略构成图。图2是第1实施方式的漏液检测装置的侧面图。图3是图2的漏液检测装置的底面图。图4是图2的漏液检测装置的主视图。图5是第1实施方式的传感器主体的概略构成图。图6是第1导入部的漏液检测的原理图。图7是第1导入部的漏液检测的原理图。图8是第2导入部的漏液检测的原理图。图9是第2导入部的漏液检测的原理图。图10是第2实施方式的漏液检测装置的底面图。图11是第2实施方式的传感器主体的概略构成图。
具体实施方式
(第1实施方式)[0030]以下，参照图1 图9，对第1实施方式进行说明。如图1所示，漏液检测装置10被螺栓B安装在工厂内的、设置有制造装置11的地面12上，其检测来自于制造装置11的漏液W(参照图7等)。然后，漏液检测装置10在检测到来自于制造装置11的漏液W时，通过电缆13将停止信号St发送至制造装置11中而使制造装置11停止。图2示 出了漏液检测装置10的侧面图，图3示出了漏液检测装置10的底面图，图 4示出了漏液检测装置10的主视图。如图2所示，漏液检测装置10具有检测漏液W的传感器主体15，和将传感器主体15固定在地面上的基台部16。基台部16具有固定台21，其被设置固定在地面12上；和基台20，其从固定台21 的侧面延出形成、并且支承传感器主体15的形式。如图3所示，固定台21的投影形状近似锥形，在其逐渐变细的基端部(图3的右侧)的中央位置上沿垂直方向(图2的上下方向)以贯穿的形式形成有螺栓插入孔21a。 螺栓B被插入到螺栓插入孔21a中，通过螺栓B使得固定台21在其下表面21b与地面12 接触的状态下与地面12连结并固定。如图2所示，固定台21以在基台20的下表面20a和地面12之间可形成缝隙Dl 的形式，从其前端部(图2的左侧)的侧面延出形成基台20。基台20的下表面20a和地面 12的缝隙Dl被设定为，在制造装置11发生漏液的情况下，漏液W—流入缝隙Dl中就会产生毛细管现象的间隔。如图3所示，基台20为圆柱形，其下表面20a由透光性树脂形成。基台20在其下表面20a的中央位置上凹设有圆形的凹部20b (以下，称圆形凹部)。在从制造装置11漏液的情况下，在漏液W流入基台20的下表面20a和地面12的缝隙Dl中时，最初，漏液W会流入圆形凹部20b以外的、成为环形的基台20的下表面(以下，称环形下表面)20c和地面12的缝隙Dl中，接着，漏液W会流入圆形凹部20b和地面12 的缝隙中。详细地讲，流入基台20的环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的漏液W，首先由毛细管现象的推动力以及新生成的漏液W生成流经环形下表面20c的压力，并向环形下表面20c和地面12的缝隙Dl扩展。这时，表面张力在漏液W和环形下表面20c之间产生作用。因此，漏液W脱离环形下表面20c而流入圆形凹部20b内所需的压力变得比漏液W向环形下表面20c下侧的缝隙Dl扩展所需的压力更大。因此，最初，流入基台20的环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的漏液W不会立即流入圆形凹部20b，而向环形下表面20c和地面12的缝隙Dl扩展。接着，漏液W扩展至环形下表面20c和地面12的缝隙Dl的所有部分，如果漏液W 进一步生成的话，使漏液W流向圆形凹部20b内的流入方向的压力就会变得比漏液W和环形下表面20c之间的表面张力大。其结果，漏液W会流入圆形凹部20b内。也就是说，在从制造装置11发生少量漏液的情况下，来自于漏液检测装置10的漏液W流至环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中。另一方面，在从制造装置11发生大量漏液W的情况下，来自于漏液检测装置10的漏液W流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl 中，并且进一步流至圆形凹部20b中。然后，在所述基台20上，将第1导入部25设置在检测流入环形下表面20c的漏液W的位置上，并且将第2导入部26设置在检测流入圆形凹部20b的漏液W的位置上。也就是说，第2导入部26被设置在比第1导入部25离作为漏液W发生源的制造装置11更远的位置上。因此，第2导入部26被设置在漏液W的发生量比第1导入部25多的位置上。第1导入部25被设置在与环形下表面20c的固定台21相反一侧(图3的左侧)。 第1导入部25具有凹部28，所述凹部28沿着直径方向凹设在环形下表面20c上。凹部28 具有作为顶面28a的内底面，并且具有分别作为第1出射面28b、第1入射面28c的2个倾斜面，所述2个倾斜面从顶面28a在环形下表面20c圆周方向上向相互分离的方向形成(参照图4)。第1出射面28b以及第1入射面28c作为导入漏液W的导入部而被设置。第1导入部25在凹部28的两侧具有一对第1支承台29 (参照图4)，所述一对第 1支承台29形成为从环形下表面20c向下方突出的形式。如图2所示，第1支承台29具有与地面12抵接的抵接面29a。也就是说，环形下表面20c通过第1支承台20的抵接面 29a被支承在地面12上。另外，第1支承台29具有倾斜面29b，所述倾斜面29b形成为从所述抵接面29a向圆形凹部20b(图2的右侧)延伸至环形下表面20c的形式。第2导入部26被设置在圆形凹部20b中。如图3所示，第2导入部26具有空气孔26a，其被形成为贯穿圆形凹部20b的中央位置的形式；和一对第2支承台30，其被设置为夹着气孔26a而相面对的形式。一对第2支承台30被形成为从圆形凹部20b的内底面进一步向下方突出的形式。一对第2支承台30的互相相对的侧面、即面向空气孔26a的侧面向内部方向倾斜，分别作为第2出射面26b、第2入射面26c而形成。第2出射面26b以及第2入射面26c起到导入漏液W的导入部的作用。在基台部16被设置在地面12上的状态下，第1以及第2支承台29、30抵接在地面12上，由此基台20被支承。因此，通过第1以及第2支承台29、30防止基台20上下方向(图2的上下方向)的摇晃。如图2所示，基台20具有贯穿其外周面的空气孔34。空气孔34例如形成为四角形。然后，在基台20的内部形成有连通圆形凹部20b的空气孔26a(参照图3)和空气孔34 的空气通道35。也就是说，在制造装置11发生漏液的情况下，在漏液W流入环性下表面20c和地面12的缝隙Dl的所有部分时，空气会积聚在圆形凹部20b内。于是，漏液检测装置10将所述空气从圆形凹部20b的空气孔26a通过空气通道35从外周面的空气孔34排向外部。传感器主体15例如为圆柱形，通过被连结在基台20上而被固定在地面12上。图 5为传感器主体15的概略构成图。如图5所示，传感器主体15内部装有第1投光单元40a、 第1受光单元41a、第1检测单元42a、第2投光单元40b、第2受光单元41b、第2检测单元 42b、以及输出控制单元43 (输出控制部)。在第1实施方式中，第1投光单元40a、第1受光单元41a、以及第1检测单元42a构成第1漏液检测部。另外，第2投光单 元40b、第2受光单元41b、以及第2检测单元42b构成第2漏液检测部。如图3以及图4所示，从漏液检测装置10的下表面来看，第1投光单元40a以及第1受光单元41a被配设在传感器主体15内部的、环形下表面20c的第1导入部25的位置上。然后，第1投光单元40a以及第1受光单元41a在第1导入部25检测流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的漏液W。图6以及图7为漏液检测装置10在第1导入部25对来自于制造装置11的漏液W进行检测的原理图。 第1投光单元40a将出射光向第1出射面28b出射。如图6所示，在漏液W没有流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl的情况下，透过第1出射面28b的出射光、即透过光在第1出射面28b上按预定的折射角被折射。在漏液W没有流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl的情况下，在第1出射面 28b被折射的透过光作为入射光入射到第1入射面28c上。所述入射光在第1入射面28c 上按预定的折射角被折射并且透过第1入射面28c。然后，透过第1入射面28c的入射光入射到安装在传感器主体15内部的第1受光单元41a上。由此，在漏液W没有流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl的情况下，形成从第1投光单元40a到第1受光单元41a的光路Li。相反，如图7所示，在漏液W流入到了环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的情况下，在第1出射面28b的出射光、即透过光的折射角会变大。所以，透过光离开光路Ll无法到达第1入射面28c。第1受光单元41a入射透过第1入射面28c的入射光，并且生成与入射光的受光量对应的第1受光信号Sri。具体来讲，流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的漏液 W的量越少，其结果，入射光的受光量越大，第1受光单元41a就会使第1受光信号Srl的电压值变的越大。相反，流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的漏液W的量越多，其结果，入射光的受光量越小，第1受光单元41a就会使第1受光信号Srl的电压值变的越小。第1检测单元42a从第1受光单元41a接收第1受光信号Srl。第1检测单元42a 将所述第1受光信号Srl与预先设定的第1基准电压Vkl相比较，将与该比较结果对应的第1检出信号Sdl提供至输出控制单元43。例如，如果第1检测单元42a接收到具有第1基准电压Vkl以上的电压值的第1 受光信号Srl的话，就认为漏液W没有流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中并且生成L强度(非检出模式)的第1检出信号Sdl。相反，如果第1检测单元42a接收到具有比第1基准电压Vkl小的电压值的第1受光信号Srl的话，就判断漏液W流入到了环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中并且生成H强度(检出模式)的第1检出信号Sdl。如图2以及图3所示，从漏液检测装置10的下表面来看，第2投光单元40b以及第 2受光单元41b被配设在传感器主体15的内部、圆形凹部20b的第2导入部26的位置上。 然后，第2投光单元40b以及第2受光单元41b在第2导入部26检测流入圆形凹部20b内的漏液W。图8以及图9为漏液检测装置10在第2导入部26检测漏液W的原理图。第2投光单元40b将出射光向第2出射面26b出射。如图8所示，在漏液W没有流入圆形凹部20b内的情况下，透过第2出射面26b的出射光、即透过光在第2出射面26b 上按预定的折射角被折射。在漏液W没有流入圆形凹部20b内的情况下，在第2出射面26b被折射的透过光作为入射光入射到第2入射面26c上。所述入射光在第2入射面26c上按预定的折射角被折射并且透过第2入射面26c。然后，透过第2入射面26c的入射光入射到安装在传感器主体15内部的第2受光单元41b上。由此，如图8所示，在漏液W没有流入圆形凹部20b的情况下，形成从第2投光单元40b到第2受光单元41b的光路L2。[0062]相反，如图9所示，在漏液W流入到了圆形凹部20b内的情况下，在第2出射面26b 的出射光、即透过光的折射角会变大。所以，透过光离开光路L2无法到达第2入射面26c。第2 受光单元41b入射透过第2入射面26c的入射光，并且生成与入射光的受光量对应的第2受光信号Sr2。具体来讲，流入圆形凹部20b内的漏液W的量越少(即受光量越大)，第2受光单元41b就会使第2受光信号Sr2的电压值变的越大。相反，流入圆形凹部20b内的漏液W的量越多(即受光量越小)，第2受光单元41b就会使第2受光信号Sr2 的电压值变的越小。第2检测单元42b从第2受光单元41b接收第2受光信号Sr2。第2检测单元42b 将所述第2受光信号Sr2与预先设定的第2基准电压Vk2相比较，将与该比较结果对应的第2检出信号Sd2提供至输出控制单元43。例如，如果第2检测单元42b接收到具有第2基准电压Vk2以上的电压值的第2 受光信号Sr2的话，就认为漏液W没有流入圆形凹部20b内并且生成L强度(非检出模式) 的第2检出信号Sd2。相反，如果第2检测单元42b接收到具有比第2基准电压Vk2小的电压值的第2受光信号Sr2的话，就判断漏液W流入到了圆形凹部20b内并且生成H强度 (检出模式)的第2检出信号Sd2。输出控制单元43从第1以及第2检测单元42a、42b接收第1以及第2检出信号 SdU Sd2，并从制造装置11接收同步信号Ss。在此，同步信号Ss为通知制造装置11的作业告一段落的信号，所述同步信号Ss在制造装置11作业中的时候变为L强度，而在每次作业告一段落时变为H强度预定时间。输出控制单元43基于第1以及第2检出信号Sdl、Sd2，将使制造装置11停止的停止信号St与同步信号Ss同步并输出至制造装置11。详细地讲，在制造装置11没有发生漏液W的情况下，输出控制单元43接收L强度 (非检出模式)的第1以及第2检出信号Sdl、Sd2。这时，输出控制单元43向制造装置11 输出不会使制造装置11停止的L强度(动作模式)的停止信号St。另外，在来自于制造装置11的漏液W为少量的情况下，输出控制单元43接收H强度(检出模式)的第1检出信号Sdl、以及L强度(非检出模式)的第2检出信号Sd2。这时，输出控制单元43将与H强度(预定时间)的同步信号Ss同步地将H强度(停止模式) 的停止信号St输出至制造装置11。也就是说，输出控制单元43接收H强度的第1检出信号Sdl以及L强度的第2检出信号Sd2之后经过预定时间后(接收同步信号Ss后)输出 H强度的停止信号St。具体来讲，输出控制单元43在接收H强度(检出模式)的第1检出信号Sdl、以及 L强度(非检出模式)的第2检出信号Sd2的情况下，会认为来自于制造装置11的漏液W 流入了环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中，但没有流入圆形凹部20b内。在这种情况下，由于来自制造装置11的漏液W没有流入圆形凹部20b内，所以输出控制单元43会判断来自制造装置11的漏液W为少量。在来自于制造装置11的漏液W 为少量的情况下，不会立即造成工厂设施的破损和制品不良。因此，输出控制单元43在正在进行中的作业结束之后，使制造装置11停止(停止控制)。在来自于制造装置11的漏液W为大量的情况下，控制输出单元43接收H强度(检出模式)的第1以及第2检出信号Sdl、Sd2。这时，输出控制单元43将H强度(停止方式)的停止信号St输出至制造装置11。也就是说，输出控制装置43在接收H强度(检出模式)的第1以及第2检出信号Sdl、Sd2的情况下，会认为来自于制造装置11的漏液W流入了环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中，并且流入了圆形凹部20b内。在这种情况下，由于来自于制造装置11的漏液W还流入圆形凹部20b内，所以输出控制单元43会判断来自于制造装置11的漏液W为大量。在来自于制造装置11的漏液 W为大量的情况下，有可能立即造成工厂设施的破损和制品不良。因此，即使作业正在进行中，输出控制单元43也会使制造装置11立即停止(紧急停止)。
如上所述，基于本实施方式，可以得到以下的效果。(1)漏液检测装置10具备第1导入部25，其被设置在检测来自于制造装置11的少量漏液W的位置；和第2导入部26，其被设置在检测来自于制造装置11的大量漏液W的位置。然后，漏液检测装置10在第1导入部25检测出漏液W时，在正在进行中的作业结束之后使制造装置11停止，而通过第2导入部26检测出漏液W时，不管作业是否正在进行中都立即使制造装置11停止。因此，在来自于制造装置11的漏液W为少量的情况下，能够不浪费制品以及制造时间从而可使生产性提高。另外，在来自于制造装置11的漏液W为大量的情况下，可以防止工厂设施的破损和制品不良于未然。其结果，漏液检测装置10可以提高安装有该漏液检测装置10的制造装置11的生产性。(2)在漏液检测装置10检测到来自于制造装置11的漏液W为少量时，与从制造装置11供给的H强度(预定时间)的同步信号Ss同步地使制造装置11停止。因此，在漏液检测装置10检测到来自于制造装置11的少量漏液W时，可以在制造装置11的正在进行中的作业一结束就停止制造装置11。其结果，漏液检测装置10可以提高安装有该漏液检测装置10的制造装置11的生产性。(3)漏液检测装置10具有圆形凹部20b，所述圆形凹部20b被凹设在漏液检测装置10的下表面20a的中央，通过检测漏液W是否流入圆形凹部20b内来判断漏液W的量。 因此，只须凹设漏液检测装置10的下表面20a，就可以容易地形成环形下表面20c和圆形凹部20b，在来自于制造装置11的漏液W为少量时漏液W流入环形下表面20c，而在来自于制造装置11的漏液W为大量时流入圆形凹部20b。(第2实施方式)在第1实施方式中，漏液检测装置10在第1导入部25的位置检测到来自于制造装置11的少量漏液W时，使制造装置11在正在进行中的作业结束之后停止，而在第2导入部26的位置检测到来自于制造装置11的大量漏液W时，立即使制造装置11停止。 在第2实施方式中，漏液检测装置50基于在2个导入部位置对来自于制造装置11 的漏液W进行检测的时间差，来改变使制造装置11停止的时机。以下，参照图10以及图11，对第2实施方式的漏液检测装置50，以与第1实施方式的不同点为中心加以说明。另外，为了便于说明，对与之前的图1 图9示出的部件相同的部件分别附上相同的符号来表示，而省略上述各个要素的说明。与第1实施方式不同，漏液检测装置50的基台20的下表面20a没有被凹设。也就是说，在漏液检测装置50上没有设置第1实施方式的第2导入部26。为了代替上述方式，漏液检测装置50在基台20的下表面20a具有第3导入部51，所述第3导入部51被设置在隔着基台20的中心点与第1导入部25对称的位置上。由于第3导入部51的构成与第1导入部25相同，所以省略其详细的说明。另外，如图10所示，从漏液检测装置10的下表面来看，第3投光单元40c以及第3受光单元41c被配设在传感器主体15的内部、第3 导入部51的位置上。如图11所示，第3检测单元42 c与第1检测单元42a相同，从第3受光单元41c 接收第3受光信号Sr3。第3检测单元42c将所述第3受光信号Sr3与预先设定的第1基准电压Vkl相比较，生成与该比较结果对应的第3检出信号Sd3。另外，在第2实施方式中， 第1投光单元40a、第1受光单元41a以及第1检测单元42a构成第1漏液检测部，而第3 投光单元40c、第3受光单元41c以及第3检测单元42c构成第2漏液检测部。例如，如果第3检测单元42c接收到具有第1基准电压Vkl以上的电压值的第3 受光信号Sr3的话，就认为漏液W没有流入第3导入部51和地面12的缝隙中并且生成L 强度(非检出模式)的第3检出信号Sd3。相反，如果第3检测单元42c接收到具有比第1 基准电压Vkl小的电压值的第3受光信号Sr3的话，就判断漏液W流入到了第3导入部51 和地面12的缝隙中并且生成H强度(检出模式)的第3检出信号Sd3。也就是说，第1以及第3检测单元42a、42c分别检测漏液W是否流入第1以及第 3导入部25、51，并且分别生成与所述检测结果对应的第1以及第3检出信号Sdl、Sd3。如图11所示，第1以及第3检出信号Sdl、Sd3被提供至时间差测定单元52以及输出控制单元43。时间差测定单元52测定输入第1以及第3检出信号Sdl、Sd3的时间差(以下称检测时间差Cl)，并且将与所述检测时间差Cl对应的延迟控制信号Sc提供至输出控制单元 43。例如，检测时间差Cl越短、即来自于制造装置11的漏液W的流出越快，时间差测定单元52将延迟控制信号Sc的电压值变得越小。相反，检测时间差Cl越长、即来自于制造装置11的漏液W的流出越慢，时间差测定单元52将延迟控制信号Sc的电压值变得越大。输出控制单元43从第1以及第3检测单元42a、42c接收第1以及第3检出信号 Sdl、Sd3，并从时间差测定单元52接收迟延控制信号Sc。输出控制单元43在接收H强度 (检出模式)的第1以及第3检出信号Sdl、Sd3时，基于延迟控制信号Sc使停止信号St延迟后输出至制造装置11。具体来讲，迟延控制信号Sc的电压值越小，输出控制单元43就会将到向制造装置 11输出H强度(停止模式)的停止信号St为止的迟延时间缩的越短。相反，迟延控制信号 Sc的电压值越大，输出控制单元43就会将到向制造装置11输出H强度(停止方式)的停止信号St为止的迟延时间延的越长。也就是说，在检测时间差Cl较短、即来自于制造装置11的漏液W的流出较快的情况下，由于有可能立即造成工厂设施的破损和制品不良，所以输出控制单元43迅速使制造装置11停止。相反，在检测时间差Cl较长、即来自于制造装置11的漏液W的流出较慢的情况下，由于不会立即造成工厂设施的破损和制品不良，所以输出控制单元43使制造装置 11停止的较晚。如上所述，基于本实施方式，可以得到以下的效果。(1)漏液检测装置50在其下表面20c安装有第1以及第3导入部25、51。然后，在第1导入部25漏液W被检测出的时间和在第3导入部51漏液W被检测出的时间的时间差Cl越长，漏液检测装置50就会将停止制造装置11的时机推的越迟。相反，时间差Cl 越短，就会将停止制造装置11的时机提的越早。因此，来自于制造装置11的漏液W的流出越慢，可以将制造装置11的停止推的越迟，从而使制造时间变的越长。其结果，与第1实施方式相比较，可以在检测到来自于制造装置11的漏液W时延长制造装置11的运转时间，从而可以延长制造时间。所以，可以进一步提高安装有该漏液检测装置50的制造装置11的生产性。
然而，上述实施方式也可以按照以下的形式来实施。
虽然在各个实施方式中，漏液检测装置10被形成为圆柱形，也可以形成为多角形。即使按照这种方式实施，也可以得到与上述实施方式相同的效果。在第1实施方式中，即使在输出控制单元43没有接收第1检出信号Sdl的情况下， 也可以在接收到第2检出信号Sd2的情况下立即输出停止信号St。例如，在发生大量漏液 W的情况下，漏液W根据流动方向，有可能只通过第2检测单元42b检出漏液W。因此，为了确保安全，优选地，输出控制单元43不仅在接收第1以及第2检出信号Sdl、Sd2的时候，在只接收第2检出信号Sd2的时候也将停止信号St立即输出至制造装置11。在第1实施方式中，在漏液检测装置10通过第1导入部25检测出漏液W时，会在正在进行中的作业结束之后使制造装置11停止。并不仅限于此，通过第1导入部25检测漏液W，使制造装置11停止的时机没有特别限制。例如，也可以在漏液检测装置10从第1 检测单元42a接收了 H强度的第1检出信号Sdl之后，在接收H强度的同步信号Ss的任何时机(即、任何作业结束的时机)使制造装置11停止。虽然在第1实施方式中，第1导入部25被设置在环形下表面20c上，也可以将检测漏液W的多个导入部沿着圆周方向等间隔地设置在环形下表面20c上。由此，漏液W流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl的部分和导入部的距离变近。因此，漏液检测装置 10可以通过导入部较早地检测出漏液W。在第1实施方式中，在漏液检测装置10的基台20的下表面20a的中央部形成圆形凹部20b，并且在所述圆形凹部20b中配设有第2导入部26。然而，凹部20b的形状并不仅限于圆形。也就是说，凹部可以形成为具有比环形下表面20c和地面12的缝隙Dl大的缝隙的任意形状(例如矩形)。另外，在下表面20a上设置的凹部的个数不仅限为1个，也可以为2个以上。例如，也可以在从第1导入部25到第2导入部26之间、在环形下表面20c上形成至少1个环形的槽。另外，例如，凹部20b也可以为圆锥形的凹部，其被形成为，以沿从环形下表面20c的内侧端部向基台20的中央位置的方向，下表面20a和地面12的缝隙逐渐变大的形式倾斜。在第1实施方式中，漏液检测装置10在通过第1导入部25检测出漏液W时，就会检测出从制造装置11漏出少量漏液W，并且与同步信号Ss同步地使制造装置11停止。并不仅限于此，也可以在漏液检测装置10通过第1导入部25检测出漏液W时，将告知在制造装置11漏出少量漏液W的警报信号输出至制造装置11。在这种情况下，漏液检测装置10 将从制造装置11漏出漏液W的信息告知制造装置11。之后，漏液检测装置10在通过第2 导入部26检测出漏液W时，会判断从制造装置11流出了大量漏液W并且使制造装置11停止。在第1实施方式中，利用毛细管现象使流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl 中的漏液W流入至第1导入部25。并不仅限于此，也可以在环形下表面20c上，从第1导入部25沿着圆周方向设置环形(或者半环形)的突部，将流入环形下表面20c和地面12的缝隙Dl中的漏液W导向环形突部并使其流入第1导入部25中。所述突部将流入环形下表面20c的漏液W引导至第1导入部25的凹部28，以帮助在第1导入部25的位置的、漏液W 的检测快速进行。其结果，可以延长从最初在第1导入部25的位置检测出漏 液W到接着在第2导入部26的位置检测出漏液W为止的时间。由此，例如可以灵活设定制造装置11的停止时机等，并且可以提高对于漏液W发生的控制性。在第2实施方式中，漏液检测装置50基于在第1导入部25漏液W被检测出的时间和在第3导入部51漏液W被检测出的时间的时间差Cl，来改变使制造装置11停止的时机。并不仅限于此，漏液检测装置50也可以基于检测时间差Cl，按照在制造装置11 一系列的动作中的、各个所需的时间单位使制造装置11停止。在这种控制方法中，制造装置11的正在进行中的作业一结束，漏液检测装置50就停止制造装置11。其结果，漏液检测装置10可以提高安装有该漏液检测装置10的制造装置11的生产性。进一步，也可以采用以下构成，即在检测时间差Cl比基准时间长的时候，漏液检测装置50开始制造装置11的停止控制，相反，在检测时间差Cl比基准时间短时，漏液检测装置50使制造装置11紧急停止。进一步，漏液检测装置50也可以基于检测时间差Cl，与来自于制造装置11的同步信号Ss同步地输出停止信号St来使制造装置11停止。在这种控制方法中，漏液检测装置50可以在每次制造装置11的正在进行中的作业结束时停止制造装置11。其结果，漏液检测装置50可以进一步提高安装有该漏液检测装置50的制造装置11的生产性。与第1实施方式不同，在第2实施方式中，在漏液检测装置50的基台20上没有设置第2导入部26。并不仅限于此，也可以与第1实施方式相同，在漏液检测装置50的基台 20上设置第2导入部26。在这种情况下，除了第2实施方式的第1漏液检测部(40a、41a、 42a)以及第2漏液检测部(40c、41c、42c)，还可将第1实施方式的第2投光单元40b、第2 受光单元41b以及第2检测单元42b作为第3漏液检测部设置在漏液检测装置50上。在这种构成中，漏液检测装置50与第1实施方式相同，可以在通过第2导入部26检测出漏液 W时，立即使制造装置11停止。在第2实施方式中设置第3导入部51的位置并不仅限于图10示出的位置。艮口， 第3导入部51的位置不仅限于在隔着基台20的中心点与第1导入部25对称的位置上。例如，第3导入部51也可以被设置在基台20的下表面IOa的中央附近。
权利要求1.一种检测漏液发生的漏液检测装置， 其具备导入漏液的第1导入部；第1漏液检测部，其检测被导入第1导入部内的漏液并且生成第1检出信号； 其特征在于，包括第2导入部，其在与所述第1导入部不同的位置导入漏液； 第2漏液检测部，其检测被导入第2导入部内的漏液并且生成第2检出信号；和输出控制部，其基于所述第1以及第2检出信号，对应所述漏液的发生量输出漏液检出信号。
2.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述输出控制部与所述第1漏液检测部连接，从接收到所述第1检出信号开始经过预定时间后输出所述漏液检出信号；同时与所述第2漏液检测部连接，一接收到所述第2检出信号就立即输出所述漏液检出信号。
3.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述输出控制部与所述第1漏液检测部及所述第2漏液检测部连接，在接收所述第1 检出信号之后一接收所述第2检出信号，就立即输出所述漏液检出信号。
4.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，所述第2导入部被设置在，比所述第1导入部离所述漏液的发生源更远的位置上。
5.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于， 所述漏液的发生源为配置于工厂内的制造装置，所述输出控制部与所述制造装置连接，从所述制造装置接收同步信号，并且与所述同步信号同步地输出所述漏液检出信号。
6.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于， 在所述漏液检测装置和地面之间设置有缝隙，所述第1导入部被设置在所述漏液检测装置下表面的边缘部，所述第2导入部被设置于，凹设在所述漏液检测装置的所述下表面中央的凹部。
7.根据权利要求6所述的漏液检测装置，其特征在于，在所述凹部中设有空气孔，所述空气孔从所述凹部的内侧表面贯穿所述漏液检测装置内部并且与外部连通。
8.根据权利要求1所述的漏液检测装置，其特征在于，进一步具备时间差测定部，其测定所述第1漏液检测部检测出所述漏液的时间和所述第2漏液检测部检测出所述漏液的时间的时间差，所述输出控制部与所述时间差测定部连接，基于所述第1以及第2检出信号，和由所述时间差测定部测定的所述时间差，来改变输出所述漏液检出信号的时机。
9.根据权利要求8所述的漏液检测装置，其特征在于，进一步具备第3导入部，其在与所述第1以及第2导入部不同的位置导入漏液；和第3漏液检测部，其检测被导入所述第3导入部的漏液并且生成第3检出信号， 所述输出控制部与所述第3漏液检测部连接，所述第3漏液检测部一检测出漏液，就立即输出所述漏液检出信号。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的漏液检测装置，其特征在于，所述第1漏液检测部包括第1投光单元，其向所述第1导入部照射光线； 第1受光单元，其通过所述第1导入部接收来自于所述第1投光单元的光线；和第1检测单元，其基于在所述第1受光单元处的受光量检测所述漏液并且生成所述第 1检出信号， 所述第2漏液检测部包括第2投光单元，其向所述第2导入部照射光线， 第2受光单元，其通过所述第2导入部接收来自于所述第2投光单元的光线；和第2检测单元，其基于在所述第2受光单元处的受光量检测所述漏液并且生成第2检出信号。
专利摘要本实用新型提供一种能够以适宜的时机输出检出信号的漏液检测装置。漏液检测装置10包括第1漏液检测部，其检测被导入第1导入部25内的漏液并且生成第1检出信号；第2漏液检测部，其检测被导入第2导入部26内的漏液并且生成第2检出信号，所述第2导入部26被设置在与第1导入部25不同的位置上；输出控制部，至少基于第1以及第2检出信号中的第1检出信号，对应漏液的发生量输出漏液检出信号。本漏液检测装置能够在适宜的时机输出漏液检出信号，并且能够提高制造装置的生产效率。
文档编号G01M3/38GK202066657SQ201020523259
公开日2011年12月7日 申请日期2010年9月2日 优先权日2009年9月30日
发明者古川裕明, 川岛良英 申请人:神视株式会社