专利名称：一种压力式流体温度传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种压力式流体温度传感器。
背景技术：
流体温度的测量最简单的方法是用水银温度计测量。但其无法输出电信号，不能自动采集数据，也不能与计算机或网络连接，实现远程监控。采用热电偶和钼电阻测量流体温度虽能输出电信号、自动采集数据；但由于探头本身带电，对易燃易爆流体存在安全隐患，同时探头也易受环境电磁干扰，影响测量结果的准确性.。
发明内容
本发明的目的是提供一种压力式流体温度传感器，该种流体温度传感器抗电磁干扰，适于易燃易爆流体的测量；且能输出电信号、可与计算机或网络连接，实现远程监控。本发明解决的技术问题，所采用的技术方案为一种压力式流体温度传感器，其组成是密封的内装感温流体的刚性温包、刚性温包经连接导管与能输出电信号的流体压力传感器的感压腔连通。本发明的工作过程和原理是将刚性温包置于被测温度的流体环境中，温包内的感温流体(气体或液体)感测到包外流体温度会热胀冷缩而产生相应的正、负压力，该压力通过连接导管传递至流体压力传感器的感压腔，流体压力传感器测出感压腔的压力而输出电信号，该输出电信号随包内流体压力成比例地变化，包内流体压力又与包外被测流体环境温度成比例地变化，由此实现温包外流体环境温度的检测。与现有技术相比，本发明的有益效果是一、该传感器能输出电信号，便于与计算机或网络连接，实现远程监控。二、温包与采用电量信号输出的流体压力传感器在空间上被连通导管分隔开来， 测量时与被测流体直接接触的温包不带电，有较高的防燃、防爆性能和安全性，适于易燃易爆流体的测量。三、温包对温度的敏感效应非电磁效应，抗电磁干扰能力强，适于电磁干扰大的环境中使用。上述的连接导管的内径为0.5-2. 0mm。这样，连接导管实际上为毛细管，既能有效的将温包内的压力传递给感压腔；同时，又能减小温包因热传导对流体压力传感器的影响。上述的流体压力传感器为硅压阻式流体压力传感器。上述的流体压力传感器为硅电容式流体压力传感器。这两种流体压力传感器为微电子工艺制作，体积小，且其灵敏度高。这样，可减小整个仪表的体积，并提高其测量精度。下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步的描述。
图1为本发明实施例一的压力式流体温度传感器的剖面结构示意图。图2为本发明实施例二的压力式流体温度传感器的剖面结构示意图。
具体实施例方式实施例一图1示出，本发明的一种具体实施方式
是，一种压力式流体温度传感器，其组成是一种压力式流体温度传感器，其组成是密封的内装感温流体的刚性温包1、刚性温包1经连接导管11与能输出电信号的流体压力传感器3的感压腔5连通。本例的连接导管11的内径为0. 5-2. 0mm。本例的流体压力传感器3为硅压阻式流体压力传感器。实施例二图2示出，本例的压力式流体温度传感器3与实施例一基本相同，不同的仅仅是 本例的流体压力传感器3为硅电容式流体压力传感器。本发明的刚性温包1可用传热好且刚性强的材料制成，如铜、不锈钢、铝、钛、钨等金属，或陶瓷、玻璃等材料制成。感温流体可以为空气、氮气、氩气等气体，也可以是氟里昂、 乙醚、氯甲烷等液体。连接导管11则可用铜、不锈钢、钛或玻璃等制成。本发明的流体压力传感器3除可以是以上的硅压阻式和硅电容式流体压力传感器外，还可以是各种能够测量流体(气体、液体)压力，且能输出电信号的压力传感器。
权利要求
1.一种压力式流体温度传感器，其组成是密封的内装感温流体的刚性温包(1)、刚性温包⑴经连接导管(11)与能输出电信号的流体压力传感器⑶的感压腔(5)连通。
2.根据权利要求1所述的压力式流体温度传感器，其特征在于，所述的连接导管(11) 的内径为0. 5 2. 0mm。
3.根据权利要求1所述的压力式流体温度传感器，其特征在于，所述流体压力传感器 (3)为硅压阻式流体压力传感器。
4.根据权利要求1所述的压力式流体温度传感器，其特征在于，所述的流体压力传感器C3)为硅电容式流体压力传感器。
全文摘要
本发明公开了一种压力式流体温度传感器，其组成是密封的内装感温流体的刚性温包(1)、刚性温包(1)经连接导管(11)与能输出电信号的流体压力传感器(3)的感压腔(5)连通。该种流体温度传感器抗电磁干扰，适于易燃易爆流体的测量；且能输出电信号、可与计算机或网络连接，实现远程监控。
文档编号G01K5/46GK102279057SQ201110199500
公开日2011年12月14日 申请日期2011年7月16日 优先权日2011年7月16日
发明者林其斌, 陈向东 申请人:西南交通大学