脉冲气体传送的控制和方法

专利名称：脉冲气体传送的控制和方法
技术领域：
本公开内容总体涉及少且精确量的气体或蒸汽传送的测量和控制，并且更具体地涉及用于准确地传送经计量的气体或蒸汽脉冲以便控制在每个脉冲中所传送的气体或蒸汽的确切摩尔量的校准控制系统和方法。
背景技术：
如本文中所提到的，在上下文所允许的任何地方，所指的“气体”或“多个气体”分别包括“蒸汽”或“多个蒸汽”。半导体设备的制备往往需要将多达十二种或更多种的气体精细同步并精确测量地传送到处理工具，诸如处理腔室或反应器。在制造过程中使用各种制法，并且会需要很多分离的处理步骤。例如，半导体设备被要求进行清洗、抛光、氧化、掩膜、蚀刻、掺杂、金属化等。所使用的步骤、其特定的顺序以及所涉及的材料都有助于特定设备的制作。随着设备尺寸不断缩小至低于90纳米,半导体路线图(roadmap)表明多种应用都将需要原子层沉积(ALD)工艺，仅举以下几个例子诸如用于铜互连的阻挡物的沉积、钨核层的生成以及高导电介质的生产。在ALD工艺中，在维持于真空下的处理腔室中两种或两种以上的前驱体气体依次流过晶片表面。两种或两种以上的前驱体气体通常以一连串连续脉冲引入到一个或多个反应器内，以使得这些气体可与晶片表面上的位点或功能团反应。脉冲需要被精细地控制，以使得所传送气体的摩尔数是精确的。事实上，对于ALD工艺而言，控制通常需要非常的精确以便控制每一脉冲中所传送气体的原子或分子数量。例如，参见美国专利 No. 7，615，120 (Shaii 等)、No. 6，913，031 (Nowata 等)和 No. 6，887，521(Basceri);以及美国专利申请公开 No. 2007/0022951 (Spartz)和 No. 2006/0130755(Clark)。当所有可用位点所具有的前驱体气体之一(例如，气体A)饱和时，反应停止并且通常采用吹扫用气体将多余的前驱体分子从处理腔室中吹除。当下一前驱体气体(例如，气体B)流过晶片表面时，通常重复该过程。例如，将用于仅仅利用两种前驱体气体的简单过程的典型周期限定为前驱体气体A的一个脉冲、吹除、前驱体气体B的一个脉冲、以及吹除。通常重复该顺序，直到达到最终的厚度。与前驱体气体的自限制表面反应的这些周期的每一个均导致每一周期一单原子层的沉积膜。
引入到工具，诸如处理腔室或反应器的前驱体气体的脉冲通常使用开/关型阀或切断式阀来控制。一个阀用作至待被充载的容器的进气阀，而第二个阀用作从容器的用于控制传送到工具的脉冲的排气阀。排气阀仅打开从存储容器传送所期望的摩尔量的前驱体气体所必需的预定时间段。目前控制脉冲流的一种方法，其在专利No. 7，615，120 (Shajii等)的公开内容中示例出，包括对用于充载存储容器的合适进气阀的打开和关闭计时进行控制的技术。所传送的摩尔数是基于排气阀上游的已知容积的存储容器中的压降和实时气体温度模型，以解决存储容器容积中由于来自阀操作的转换，即，打开和关闭进气阀和排气阀以用于控制气体或蒸汽流入容器或流出容器，而造成的气体温度波动。这种方法由于其取决于流经系统的气体性质而需要气体的先验知识。

发明内容
仍然期望提供一种新颖和改进的系统和方法，所述系统和方法通过控制无关于所传送的气体的每个脉冲的持续时间来快速和重复地作为气体脉冲来将可预测和可重复数量的前驱体气体传送到诸如处理腔室或反应器的工具。
在一个实施例中，通过确保上游容器容积保持不变，以及由系统传送的气体在每个脉冲的开始和结束时始终处于均匀温度，脉冲时间间隔值的表可仅取决于待传送的气体摩尔量和存储容器内的起始压力来创建。由气体来规定气体可在容器中维持的并且可预测量传送的允许压力范围，但上述只是为了确保在用于由工具执行的工艺的整个范围内使气体保持令人满意的状况。一旦该表建立了足够的数据，则即使在传送脉冲之前腔室中的气体的起始压力在整个允许的范围内发生变化，该系统也能够在每个脉冲下传送精确摩尔量的气体。因此，该系统控制由每一脉冲所提供的仅作为脉冲持续时间的函数的气体原子或分子数量，该脉冲持续时间作为上游腔室内的起始压力的函数来确定。该改进后的系统和方法例如是特别有利于用于半导体制造工艺中，诸如ALD工艺。此外，如果用于传送每一脉冲的阀的所有阀模式并没有都出现故障，则用于测量和传送每一种前驱体气体的改进的系统和方法的其它优点和方面可用于预测和检测其中
的一些。在阅读和理解了本文中结合附图对示例性实施例进行的详细描述之后，将理解本公开内容的其它特征和优点。


当与实质上应认为是说明性而非限制性的附图一起来阅读以下描述时，可以更充分地理解本公开内容的各个方面。附图不必按比例绘制，相反其重点落在所公开内容的原理上。在附图中图I是配置成传送气体脉冲的脉冲气体传送系统的示例性实施例的框图，每一脉冲包含作为每一脉冲的持续时间和上游腔室中气体的起始压力的函数的规定或预测的气体摩尔量；图2是示出校准图I的系统的方法的示例性实施例的流程图；图3是示出操作图I的系统以用于传送精确摩尔量的气体或蒸汽的方法的示例性实施例的状态图4是示出用于图I的示例性系统的示例性查找表的视图；图5A- 示出采用所需数据填入查找表的处理的一个实施例的流程图；以及图6是包括图I的两个脉冲气体传送系统的原子层沉积系统的示例性实施例的示意图。虽然在附图中示出了特定实施例，然而本领域的技术人员应当理解上述所示实施例是说明性的，并且所示的这些实施例的变形以及本文所述的其它实施例可在本公开内容的范围内构思并实施。
具体实施例方式如前所述，本公开内容的实施例涉及一种系统和方法，所述系统和方法用于在固
定温度下准确和重复地将作为从腔室传送的每一脉冲的时间间隔以及容器中的气体的起始压力的函数的精确摩尔量的气体作为脉冲，从具有固定容积的腔室或容器传送到工具。可以创建包含数据的查找表，该数据表示每一脉冲时间间隔的各种值，该每一脉冲时间间隔作为所传送摩尔量与在每一脉冲开始之前容器中的气体起始压力的函数。查找表中的数据可作为在每一脉冲间隔之前和之后的气体起始压力和最终压力的函数来生成。脉冲的时间间隔可由用于控制来自腔室气体的流动的阀来控制。由于腔室的容积是固定的，因此这将是可行的。可对上游气体腔室中的气体或蒸汽的温度进行测量，并且应该将该温度维持在恒定值，即在脉冲开始之前以及脉冲传送之后保持相同的值。如果在气体脉冲传送之前和之后腔室容积和温度相同，则理想气体定律表明在脉冲间隔期间所传送的摩尔数将为单个变量的函数，该单个变量即为在脉冲传送之前和脉冲传送之后的腔室内的气体起始压力和最终压力之间的差值。因此，可以确定每一脉冲的时间间隔以便在给定已知的起始压力的情况下将已知摩尔量的气体传送到工具。应当指出，脉冲传送之前和之后的起始压力和最后压力应该是稳定的，以使得气体的温度保持恒定。在时间间隔结束时，腔室中的最终压力将基于理想气体定律而变化至预测值。一旦生成数据，如果起始压力已知，则不需要为了确定在精细控制时间控制脉冲内所传送气体的预定摩尔量而测量最终压力。由气体脉冲传送的摩尔量与在初始或起始压力下的脉冲时间间隔之间的相互关系可以本地确定。相关的数据随后可以被生成并存储在可读查找表中。参照附图，图I示出了脉冲气体传送系统或摩尔传送设备(MDD)IOO的示例性实施例；图2示出了校准设备100的方法200的示例性实施例；而图3示出了方法300的示例性实施例的状态图，所述方法300控制每一气体脉冲的作为所期望剂量水平和在每一脉冲传送开始时设备100腔室中的气体或蒸汽的初始或起始压力的函数的时间间隔。系统100和方法200、300尤其适用于将非常少量并精确计量的处理气体快速传送到半导体处理工具。此外，该系统和方法通过控制所传送的每一脉冲气体的仅作为传送系统内的剂量水平和起始压力的函数而无关于所传送气体的持续时间来传送在半导体制造工艺中所使用的每种气体的精确量，提供了高度可重复的性能结果。将气体维持于作为被传送的气体或蒸汽的函数而确定的恒定均匀温度。在脉冲传送之前测量初始压力，以便基于先前所确定的相关数据来确定脉冲的时间间隔。在一个实施例中，可以在压力已经稳定之后测量随后进行的脉冲传送的最后压力，以确保所传送的气体量的准确性。气体的温度可以被监控并且在另一可替换实施例中可受控，以将其维持在期望并恒定的水平。该系统和方法尤其适用于需要传送非常小剂量的系统，诸如原子层沉积(ALD)系统，和工艺，以使得该系统和工艺更加高效。通过将温度保持在期望并恒定的水平，并使用已知容积的腔室，持续时间仅仅取决于两个变量，即，待传送的所期望的剂量水平和系统腔室中的气体或蒸汽在脉冲传送之前的初始压力。因此，可以建立查找表，以便基于待传送剂量的摩尔量和脉冲传送开始时在上游腔室内的所测量压力来提供每一脉冲的持续时间。如上所述，在温度保持恒定并且腔室容积保持固定的状况下，理想气体定律表明在给出开始压力以及脉冲的持续时间的情况下，在腔室内每一脉冲传送之后的最终压力是完全可预测的。因此一旦建立了查找表，在脉冲传送之后的最终压力就可以被测量出以便确定控制阀是否在正常操作，但并不需要作为确定脉冲持续时间的一部分来测量。如下面参照图2更详细描述，图I的系统实施例需要收集用于表示系统可提供的·脉冲持续时间的查找表的数据，以便在给定脉冲传送之前的腔室内测量的起始压力的情况下在腔室中传送精确摩尔量的气体或蒸汽。可合理地用于操作该系统的数据范围需要考虑待传送到工具的气体或蒸汽的规格。该规格包括用于将所传送的材料维持于气体或蒸汽状态下的可接受的温度和压力范围。对于许多应用而言，优选将待传送的材料保持于气体或蒸汽状态下的特定温度。利用理想气体定律，因此在脉冲期间所传送的摩尔数是脉冲开始时的初始压力和该脉冲的时间间隔的函数。在脉冲完成时，腔室内的压力是完全可以预测的，因此并不需要为了控制阀的操作而进行测量。这提供了优势，因为在传送气体脉冲的时间间隔期间由于腔室内的气体流动而造成压力和温度趋于波动，这使得极为难以精确地控制阀的操作。在每一压力值有机会稳定之后，就对腔室内的气体或蒸汽的初始或起始压力测量一次，以使得气体或蒸汽的温度保持在固定的温度值。结果是，用户或系统可以要求在每一脉冲时所需的期望数量或摩尔量的气体，并且该系统将通过控制脉冲的持续时间来传送该气体数量。下面进行更详细地描述，图I中所示的系统100包括具有预定容积的传送腔室102、控制气体流入腔室102中的第一阀或进气阀104、以及控制气体流出腔室102的第二阀或排气阀106。在该实施例中，腔室配置成使得传送腔室的容积是已知的，并且腔室在传送脉冲之前和之后均保持于均匀且恒定的温度。此外，第一阀104和第二阀106优选包括开/关、切断型阀，并且至少第二阀或排气阀106具有相对非常快的响应时间，例如约I至5毫秒之间，尽管实际的响应时间可取决于不同的应用而变化。所示的脉冲气体传送系统100还包括用于提供腔室102内的压力测量的压力变换器108以及用于提供腔室102的壁的温度测量的温度传感器110。压力变换器108也优选具有相对非常快的响应时间，例如约I至5毫秒，尽管压力变换器的实际响应时间可取决于不同的应用而变化。使用于本公开内容的传送系统100的合适的压力变换器108的示例是可从本申请的受让人，马萨诸塞州安杜佛，MKS Instruments (www. mksinst. com)得到的Baratron 品牌的压力变换器。也可使用具有快速响应时间的其它压力传感器。所示的脉冲气体传送系统100的输入数据设备114可接收直接来自于操作人员的输入112，或间接地通过工具的控制器，例如晶片处理计算机控制器接收输入112。输入112表示工具需要的所期望摩尔量的气体，并且将指令传递到计算机控制器或处理器(即，计算机处理单元或“CPU”)116，以建立用于传送每一脉冲中期望的气体摩尔量而需要的持续时间，该持续时间作为在取决于待传送的气体或蒸汽的初始压力范围内的优选温度水平下在腔室102中测量的初始压力的函数。计算机控制器或处理器116连接到压力变换器108、温度传感器110、阀104、106、查找表118、以及输入界面114。此外，例如可提供由控制器116控制的加热器120，以便在腔室内的压力稳定时将腔室102内的气体维持在优选的温度水平。优选对腔室中的气体进行温度测量，但整个腔室内的温度可能变化，使得对气体进行测量即使是可能的，也是困难的。因此，采用壁温作为气体或蒸汽的最佳估计温度。只要腔室内的气体压力保持稳定，则所测量的壁温将等于气体温度。此外，整个容积需要被控制于均匀温度，尽可能地避免温度梯度。由于校准数据是理想气体定律的函数，并且许多前驱体仅仅作为高温下的气体而存在，因此重要的是气体维持在用于提供校准数据的温度。此外，当气体或蒸汽的压力由于转换事件(例如，当进气阀打开以允许气体流入腔室内，或者排气阀打开以允许气体流出腔室时)而变化时，气体温度会发生变化。出于该原因，重要 的是在该转换事件之后实现气体压力稳定。如果容积将用于校准过程中的一个温度改变到不同的温度，或期望不同的操作温度，则查找表需要被重新填入。输入数据界面114也可用于输入其它处理指令，诸如传送所需的各种气体的脉冲数目和脉冲顺序，以便在整个处理过程中对于每一脉冲而言提供相应的所期望的气体摩尔量。在一些实施例中，数据界面114还可包括输出界面，该输出界面构造并布置成提供由系统100传送的气体量的指示(直接来自于操作人员，或间接地通过处理工具的计算机控制器，诸如晶片处理器)。输入/输出数据界面114可分成分离单元或组合成单个单元。输入/输出界面114可以连接到具有键盘和/或监控器的个人计算机。根据本公开内容的一个示例性实施例，图I的脉冲气体传送系统100的控制器116可分别用于执行图2和图3的校准和剂量传送方法200和300。如图2中所示，校准过程用于创建查找表，诸如在图4中由400所示。查找表400可存储在作为控制器116—部分的合适的存储器中。在一个实施例中(如图4所示，下文进行更详细地描述)，针对查找表生成的数据是一组传送相应组的气体或蒸汽的摩尔数所必需的时间间隔，该每一气体或蒸汽的摩尔数作为在预定压力范围内的腔室102中的气体初始压力(Pi)的函数来传送。起初，作为校准过程的一部分，将待传送的气体或蒸汽的特定规格提供给系统以便生成校准表。该规格包括待传送到处理工具所需的剂量(优选摩尔)的预期范围、气体或蒸汽的操作温度(通常该气体或蒸汽的操作温度在整个过程中将保持均匀)、以及最大压力(Pmax)，该气体或蒸汽当超过该最大压力时将变得不适用于该过程。还有最低压力(Pmin)，其由排气阀可打开的最大允许的时长来确定。该最小压力是操作员限定的，且通常取决于正在执行的特定过程。最大压力和最小压力将限定用于正在创建的查找表的初始压力范围。如通过下文更为明显的，腔室102中的气体或蒸汽的初始压力(如由压力变换器108所测量的)在脉冲传送之前始终允许保持稳定。用于传送精确摩尔量气体的脉冲持续时间或脉冲间隔将取决于腔室中的气体或蒸汽的起始压力和最后压力。具体而言，利用理想气体定律，剂量的数量计算如下
权利要求
1.一种脉冲气体传送系统，配置成传送精确且可重复剂量范围的气体，所述脉冲气体传送系统包括 具有已知容积的腔室，所述腔室构造并布置成分别在将每一剂量气体从所述腔室传送之前和之后将所述腔室内的所述气体维持于均匀温度和压力范围内的稳定压力； 进气阀，构造和布置成打开以便将气体引入到所述腔室中； 排气阀，构造和布置成在受控的时间间隔期间打开和关闭，以便在所述时间间隔期间传送所要求剂量的气体脉冲；以及 控制器，所述控制器用于控制所述阀的所述时间间隔，所述时间间隔仅作为所期望的气体剂量水平以及分别在每一脉冲传送之前和之后的所述腔室中的所述气体的初始稳定压力和最终稳定压力的函数。
2.根据权利要求I所述的脉冲气体传送系统，还包括查找表，所述查找表包括表不各种时间间隔的数据，每一时间间隔是待从所述腔室传送的所述气体的相应剂量以及所述腔室内的所述初始稳定压力的函数。
3.根据权利要求2所述的脉冲气体传送系统，其中，所述查找表采用本地生成的数据填入。
4.根据权利要求2所述的脉冲气体传送系统，其中，与剂量和初始压力相对应的所述时间间隔通过根据以下关系式来测量下述时间而确定，所述时间是所述腔室中的气体从所述排气阀打开时的初始压力转换到所述排气阀关闭时的最终压力所花费的时间，所述关系式为n=k (Pi-Pf), 其中n为摩尔剂量； k是常数； Pi是所述腔室内的所述初始稳定压力； Pf是所述腔室内的所述最终稳定压力。
5.根据权利要求4所述的脉冲气体传送系统，还包括压力测量子系统，所述压力测量子系统构造和布置成测量所述腔室中气体的所述初始稳定压力和所述最终稳定压力，其中通过在所述排气阀打开以确定所述腔室内的压力何时等于Pf的持续时间期间测量所述腔室内的压力，来针对n和Pi的每个值确定每个时间间隔的值。
6.根据权利要求4所述的脉冲气体传送系统，其中，所述压力测量子系统构造和布置成当在所述排气阀分别打开和关闭之前和之后所述腔室中的压力稳定时，测量所述腔室中的气体的初始压力和最终压力的每一个。
7.根据权利要求I所述的脉冲气体传送系统，还包括用于将所述腔室中的所述气体维持于均匀温度的温度控制子系统。
8.根据权利要求7所述的脉冲气体传送系统，其中，所述温度控制子系统包括加热器，所述加热器构造和布置成加热所述腔室中的所述气体，以便将所述气体维持于均匀温度。
9.根据权利要求7所述的脉冲气体传送系统，其中，所述控制器包括压力测量子系统，所述压力测量子系统用于在排气阀打开和关闭之前和之后并且压力已经稳定时测量所述腔室中气体的初始压力和最终压力，其中数据基于所要求的剂量大小和所测量的所述初始压力而生成，并且所述最终压力根据以下关系式n=k(Pi-Pf)来确定，其中n为摩尔的剂量，k是常数，Pi是所述初始压力以及Pf是所述最终压力。
10.根据权利要求9所述的脉冲气体传送系统，其中，所述最终压力与所测量的最终压力进行比较以便确认所述排气阀的正常操作。
11.根据权利要求7所述的脉冲气体传送系统，还包括压力测量子系统，所述压力测量子系统构造和布置成在所述排气阀分别打开之前和之后所述腔室中的气体的初始压力和最终压力已稳定后，来测量所述腔室中气体的所述初始压力和所述最终压力。
12.根据权利要求11所述的脉冲气体传送系统，其中，在所述脉冲的持续时间之后测量所述腔室中气体的所述最终压力，以确保所述排气阀的精度。
13.根据权利要求I所述的脉冲气体传送系统，其中，在每一剂量的气体从所述腔室传送之后采用气体重新填充所述腔室。
14.根据权利要求I所述的脉冲气体传送系统，其中，在多个剂量的气体从所述腔室传 送之后采用气体重新填充所述腔室。
15.根据权利要求I所述的脉冲气体传送系统，其中，当所述腔室内的压力下降到预设水平以下时采用气体重新填充所述腔室。
16.根据权利要求I所述的脉冲气体传送系统，其中，所述进气阀构造和布置成打开以便只要所述排气阀关闭就采用气体填充所述腔室，以及将所述进气阀构造和布置成关闭以便维持所述腔室中的所述气体，以使得一个或多个剂量可顺序地从所述腔室中传送。
17.根据权利要求16所述的脉冲气体传送系统，其中，控制器操作所述进气阀，以便当所述腔室中的气体的压力下降到预设水平以下时填充所述腔室。
18.—种系统,包括 工具，构造和布置成利用精确量的气体执行沉积工艺以将沉积层形成在工件上；以及 摩尔传送设备，所述摩尔传送设备包括 脉冲气体传送设备，配置成将精确且可重复剂量范围的气体传送到所述工具； 具有固定容积的腔室，所述腔室构造和布置成分别在将每一剂量的气体从所述腔室传送之前和之后将所述腔室内的气体维持于均匀温度和压力范围内的稳定压力； 进气阀，构造和布置成打开以便将气体引入到所述腔室中； 排气阀，构造和布置成在受控的时间间隔期间打开和关闭以便在所述时间间隔期间传送所要求剂量的气体脉冲；以及 控制器，所述控制器用于控制所述排气阀的时间间隔，所述时间间隔仅作为所期望的气体剂量水平以及分别在每一脉冲传送之前和之后的所述腔室中的所述气体的初始稳定压力和最终稳定压力的函数。
19.根据权利要求18所述的系统，其中，所述系统是原子层沉积系统。
20.根据权利要求19所述的系统，还包括至少两个摩尔传送设备，每一摩尔传送设备配置成交替地传送两种前驱体气体的计量数量的脉冲。
21.根据权利要求18所述的系统，还包括查找表，所述查找表包括表示各种时间间隔的数据，每一时间间隔是待从所述腔室传送的所述气体的相应剂量以及所述腔室内的所述初始稳定压力的函数。
22.根据权利要求21所述的系统，其中，所述查找表采用本地生成的数据填入。
23.根据权利要求21所述的系统，其中，与剂量和初始压力相对应的所述时间间隔通过根据以下关系式来测量下述时间而确定，所述时间是所述腔室中的所述气体从所述排气阀打开时的初始压力转换到所述排气阀关闭时的最终压力所花费的时间，所述关系式为n=k (Pi-Pf), 其中n为摩尔剂量； k是常数； Pi是所述腔室内的所述初始稳定压力； Pf是所述腔室内的所述最终稳定压力。
24.根据权利要求18所述的系统，其中，在每一剂量的气体从所述腔室传送之后采用气体重新填充所述腔室。
25.根据权利要求18所述的系统，其中，在多个剂量的气体从所述腔室传送之后采用气体重新填充所述腔室。
26.根据权利要求18所述的脉冲气体传送系统，其中，当所述腔室内的压力下降到预设 水平以下时采用气体重新填充所述腔室。
27.根据权利要求18所述的脉冲气体传送系统，其中，所述进气阀构造和布置成打开以便只要所述排气阀关闭就采用气体填充所述腔室，以及将所述进气阀构造和布置成关闭以便维持所述腔室中的所述气体，以使得一个或多个剂量可顺序地从所述腔室传送。
28.根据权利要求27所述的脉冲气体传送系统，其中，控制器操作所述进气阀，以便当所述腔室中的所述气体的压力下降到预设水平以下时填充所述腔室。
29.一种校准摩尔传送系统的方法，所述摩尔传送系统配置和布置成将具有已知容积的腔室中的气体维持于均匀温度和压力范围内的稳定压力，并且由控制器控制排气阀，以便传送气体脉冲，所述方法包括 通过生成校准数据来校准所述系统，所述校准数据表示用于从所述系统传送的每一气体脉冲的持续时间，所述持续时间作为每一气体脉冲的摩尔量以及在所述气体脉冲传送之前的所述腔室中所述气体的初始稳定压力的函数。
30.根据权利要求29所述的校准摩尔传送系统的方法，其中，生成所述校准数据包括通过针对由所述系统传送的每一气体脉冲测量由特定摩尔数量(n)和初始压力(Pi)直到压力处于最终稳定压力(Pf)以满足关系式n=k(Pi-Pf)的持续时间，来确定用于每一所述气体脉冲的持续时间。
31.一种脉冲气体传送系统，包括 具有已知容积的腔室； 进气阀，配置成控制气体流入到所述腔室中； 排气阀，配置成控制气体流出所述腔室； 压力变换器，配置和布置成生成作为所述腔室内的压力的函数的数据；包括温度传感器的加热系统，用于将所述腔室内的气体的温度维持于均匀温度；以及控制器，连接到所述进气阀和所述排气阀、所述压力传感器、以及所述加热系统，并且配置成生成用于查找表的数据，所述数据表示所述排气阀需要打开的持续时间，所述持续时间为在所述排气阀打开以及随后关闭时的相应时间间隔期间流出所述腔室的气体脉冲的摩尔量内的待传送的所期望的剂量和所述气体的初始压力的函数。
全文摘要
摩尔传送系统和方法提供作为每一脉冲持续时间函数的已知摩尔数量的脉冲，该每一脉冲依次作为理想气体定律的函数来传送。在系统的一个实施例中，所述系统包括具有已知容积并受控和已知的温度的腔室；用于测量腔室中的压力的压力传感器；用于处理工具的排气阀；用于采用传送气体充载腔室的进气阀；以及控制系统，该控制系统配置和布置成控制排气阀的操作，通过控制用于处理工具的阀的计时来控制每一气体脉冲的数量。
文档编号G01F11/28GK102791906SQ201180013557
公开日2012年11月21日 申请日期2011年1月6日 优先权日2010年1月19日
发明者P·梅内吉尼 申请人:Mks 仪器公司