物理量传感器和电子设备的制造方法与工艺

技术特征：
1.一种物理量传感器，包括：可动体，其能够以第一轴为旋转轴而进行位移，并且具备在俯视观察时以所述第一轴为界，而被设置在第一区域内的第一可动电极部、和被设置在第二区域内的第二可动电极部、以及被设置在所述第一区域和所述第二区域中的至少一个区域内的阻尼调节部；梁部，其对所述可动体进行支承；第一固定电极部，其被配置为与所述第一可动电极部对置；第二固定电极部，其被配置为与所述第二可动电极部对置，在所述阻尼调节部上设置有第一贯穿孔，在所述第一可动电极部及所述第二可动电极部上设置有第二贯穿孔，于在俯视观察时除所述第二贯穿孔之外的部分处，所述第一可动电极部与所述第一固定电极部重叠的区域的面积、和所述第二可动电极部与所述第二固定电极部重叠的区域的面积相同，所述第二贯穿孔的所述第一轴的方向上的大小大于所述第二贯穿孔的与所述第一轴正交的第二轴的方向上的大小，所述第一贯穿孔的所述第一轴的方向上的大小大于所述第一贯穿孔的所述第二轴的方向上的大小，所述第一贯穿孔的所述第二轴的方向上的大小大于所述第二贯穿孔的所述第二轴的方向上的大小，所述第一贯穿孔设置有多个，多个所述第一贯穿孔在所述第二轴的方向上排列。2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述可动体的所述第一区域的质量与所述可动体的所述第二区域的质量互不相同。3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，被设置在所述第一可动电极部上的所述第二贯穿孔的所述第一固定电极部侧的开口面的总面积、与被设置在所述第二可动电极部上的所述第二贯穿孔的所述第二固定电极部侧的开口面的总面积彼此相同。4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述第二贯穿孔在所述第一轴的方向上延伸。5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述第二贯穿孔设置有多个。6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述阻尼调节部被设置在所述可动体的所述第二轴的方向上的端部处。7.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，所述阻尼调节部被设置在所述第一区域和所述第二区域这两个区域内，被设置在所述第一区域内的所述阻尼调节部的所述第一贯穿孔的宽度，大于被设置在所述第二区域内的所述阻尼调节部的所述第一贯穿孔的宽度。8.一种电子设备，其包括权利要求1所述的物理量传感器。