技术总结
本发明提供一种物理量传感器和电子设备，其具有简单的结构且能够提高检测灵敏度。物理量传感器(100)包括：基板(10)；可动体(20)，其具备以第一轴(Q1)为界，而被设置在第一区域(20a)内的第一可动电极部(21)、和被设置在第二区域(20b)内的第二可动电极部(22)、以及被设置在第一区域(20a)和第二区域(20b)中的至少一个区域内的阻尼调节部(23)；梁部(30、32)，其对可动体(20)进行支承；第一固定电极部(50)；第二固定电极部(52)，在阻尼调节部(23)上设置有第一贯穿孔(26)，在可动电极部(21、22)上设置有第二贯穿孔(27、28)，第一可动电极部(21)与第一固定电极部(50)重叠的区域的面积、和第二可动电极部(22)与第二固定电极部(52)重叠的区域的面积相同，第一贯穿孔(26)的宽度大于第二贯穿孔(27、28)的宽度。
技术研发人员：田中悟
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
文档号码：201310115933
技术研发日：2013.04.03
技术公布日：2017.07.18