微机械结构的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种微机械结构，特别是转速传感器，其具有衬底，衬底具有主延伸平面，微机械机构用于探测绕垂直于主延伸平面延伸的第一方向的第一转速、用于探测绕平行于主延伸平面延伸的第二方向的第二转速并且用于探测绕平行于主延伸平面并且垂直于第二方向延伸的第三方向的第三转速，微机械结构具有被驱动绕平行于第一方向的旋转轴线进行扭转振动的扭转振动元件，微机械结构还具有用于探测第一转速的转速传感器装置，扭转振动元件在平行于主延伸平面的平面中完全环绕转速传感器装置，微机械结构具有转速传感器装置在扭转振动元件处的至少一个第一连接件，其特征在于，微机械结构具有转速传感器装置在衬底处的至少一个第二连接件。
【专利说明】微机械结构
【技术领域】
[0001]本发明从一种按照独立权利要求的前序部分的微机械结构出发。
【背景技术】
[0002]由现有技术已知了微机械结构或者转速传感器。这样的装置多年以来在批量生产中制造用于多种应用，例如在汽车领域中和在消费电子装置领域中。近期多轴转速传感器明显最多。在消费电子装置领域中这尤其涉及三轴的或三通道的转速传感器或者微机械结构。在此，除关于微机械结构的精度和其他性能的方面以外，这样的微机械转速传感器的小的结构尺寸以及所伴随的低成本也是决定性的。在此在技术上能够将三通道转速传感器(即具有典型地分别相互垂直地设置的三个感测轴线或者感测方向的转速传感器)或者三个单通道转速传感器设置在一个壳体中或者一个装置中，例如放置在一个芯片上。除此以外已知其他解决方案，其中三轴性(例如至少相对于两个转速轴线的转速灵敏性，即绕平行于和垂直于衬底的主延伸平面延伸的轴线)通过复杂耦合的结构以共同的驱动模式示出。最后的变型方案能够实现微机械结构或者微机械的或者微机电的构件的减小的结构尺寸，从而可减小结构尺寸并且可实现更简单的分析处理电路，这尤其对于消费电子装置应用而言是有利的。文献DE102008042369A1公开了例如三个并排设置的传感器结构，其中各一个传感器结构覆盖转速传感器的一个测量轴线或者一个感测方向，其中这些相互并排设置的传感器结构通过一个共同的驱动梁相互连接。由于所述设置，微机械结构或者转速传感器的面积需求相对较高。因此，在尽可能最大程度的微型化方面，这些方案看起来是充满希望的，其中可以应用用于探测绕多个轴线的转速的各个质量。其示例是具有旋转盘的微机械结构或者执行扭转振动的盘，但其功能首先限于两个平行于衬底的主延伸平面的感测旋转轴线，这通常以下方式表示:感测的旋转轴线或者绕其可以探测转速的旋转轴线以X方向和以y方向识别，其中X方向和I方向相应于传感器衬底的平面并且绕这两个相互垂直的轴线的相应转速通常以Qy表示。这样的微机械结构的绕第三空间方向的附加敏感性——通常称为Ωζ灵敏度或者Ωζ功能性，即在微机械结构绕垂直于传感器衬底的平面的Z轴线旋转时的灵敏性——必须通过附加结构确保。为此，文献ΕΡ1832841Α1和US2010/0154541A1提出一种直线振动器，其设置在盘或者扭转振动装置的空缺中并且通过弹簧可运动地耦合到所述盘。这样的结构的重要缺点在于，不仅科里奥利力而且强烈的离心力作用到用于Ωζ探测的探测质量上，所述离心力严重叠加有用信号一即科里奥利信号。科里奥利力的值与震动质量的质量、垂直于旋转轴线的速度和转速的乘积的两倍成比例。离心力的值与震动质量的质量、角频率的平方以及绕旋转轴线的半径成比例。如果速度(垂直于旋转轴线)作为较频率和半径的积，则作为离心力与科里奥利力的比值得出转速Ω与角频率的两倍的比值，即例如在20kHz的驱动频率以及已经选择的相当较大的1000度每秒的转速的情况下产生离心力的值与科里奥利力的值的比值为7200。虽然在双倍频率下出现离心信号，然而为了避免过调必须在分析处理电路中维持输入级的相应较大的动态范围，从而由此使传感器的分辨率恶化。
【发明内容】
[0003]因此，本发明的任务是提供一种微机械结构或者一种转速传感器，其不具有现有技术的缺点并且——在或者三轴转速传感器或者具有平行于衬底的主延伸平面的感测方向和垂直于衬底的主延伸平面的感测方向的两轴转速传感器的情况下一尤其具有在绕垂直于主延伸平面的轴线旋转时相对于离心力的更大不敏感性。
[0004]根据独立权利要求的按照本发明的微机械结构或者按照本发明的转速传感器相对于现有技术具有以下优点，在绕垂直于主延伸平面的旋转轴线旋转时可以实现相对于离心力的更大不敏感性。由此，按照本发明有利地能够得到传感器或者微机械结构相对于绕垂直于微机械结构的衬底的主延伸平面的旋转轴线(以下也称为第一旋转轴线)的旋转的更大敏感性。此外按照本发明有利地能够连同三通道(或者两通道)转速传感器或者相应的微机械结构的非常紧凑的实现来实现所述优点，从而用于实现微机械结构的空间需求特别小并且因此成本可极大地最小化。按照本发明，由此实现离心力的更小依赖性，即设置在扭转振动元件的内部的转速传感器装置不仅通过至少一个第一连接件与扭转振动元件连接而且也通过至少一个第二连接件与衬底连接。由此可以决定性地减小或者甚至避免传感器有用信号(科里奥利信号)通过离心信号或者通过离心加速度效果的影响或者叠加，从而按照本发明能够实现转速信号的更好且更精确的分析处理并且特别是传感器装置或者微机械结构具有更高性能。
[0005]本发明的构型和扩展方案可以由从属权利要求以及参照附图的描述得出。
[0006]按照本发明的一种优选扩展方案，转速传感器装置具有第一转速传感器元件和第二转速传感器元件，其中微机械结构配置成驱动第一转速传感器元件和第二转速传感器元件平行于驱动方向进行反向的驱动运动，其中为了实现所述驱动运动扭转振动元件借助于第一连接件与第一转速传感器元件连接并且借助于另一第一连接件与第二转速传感器元件连接。由此按照本发明有利地能够实现绕垂直于传感器衬底平面(衬底的主延伸平面)的轴线的旋转运动的特别精确的探测。
[0007]按照本发明的另一种优选扩展方案，所述第一连接件具有第一弹簧并且所述另一第一连接件具有第二弹簧，其中第一弹簧和第二弹簧分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于转速传感器装置的驱动运动的方向具有相比于沿平行于转速传感器装置的驱动运动的方向更小的弹簧刚性。由此按照本发明有利地能够通过扭转振动元件的扭转振动运动可实现扭转振动元件内部的转速传感器装置的可靠驱动并且尽管如此不仅垂直于转速传感器装置的驱动方向(即不仅平行于主延伸平面垂直于驱动方向而且沿垂直于衬底的主延伸平面的方向)的运动分量的耦合是可避免的并且因此转速传感器装置的尽可能纯粹的直线驱动(即使通过扭转振动元件和所伴随的旋转运动的驱动并且即使由于平行于主延伸平面出现的转速分量引起的扭转振动元件垂直于主延伸平面的偏移)是可能的。按照本发明尤其提出，第一弹簧和第二弹簧分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于转速传感器装置的驱动运动的方向具有相比于沿平行于转速传感器装置的驱动方向的方向更小的弹簧刚性，特别是具有以因数10或以因数50或以因数100相比于沿平行于转速传感器装置的驱动方向的方向更小的弹簧刚性。
[0008]按照本发明的另一种优选扩展方案，第一转速传感器元件借助于第二连接件与衬底连接，并且第二转速传感器元件借助于另一第二连接件与衬底连接。由此按照本发明以特别有利的方式能够减少离心力对转速传感器或者微机械结构的分析处理的影响，特别是为了分析处理绕垂直于主延伸平面的方向(第一方向)的转速。
[0009]此外，按照本发明优选地，第二连接件具有第三弹簧而另一第二连接件具有第四弹簧，其中第三弹簧和第四弹簧分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于转速传感器装置的驱动运动的方向具有相比于沿平行于转速传感器装置的驱动运动的方向更大的弹簧刚性。由此按照本发明有利地能够又使扭转振动元件内的转速传感器装置的运动与扭转振动元件的运动去f禹合。
[0010]此外，按照本发明同样优选地，第一转速传感器元件具有第一探测装置和第一探测元件，而所述第二转速传感器元件具有第二探测装置和第二探测元件。由此按照本发明有利地能够实现探测元件或者探测装置与环绕转速传感器装置的扭转振动元件的运动的特别好的去耦合。
[0011]按照本发明此外还优选的是，微机械结构具有用于探测第一探测元件的偏移的第一探测机构和用于探测第二探测机构沿垂直于驱动方向的方向并且在平行于主延伸平面的平面中的偏移的第二探测机构。此外同样优选地，微机械结构除第一转速和第二转速的探测以外还配置用于探测绕平行于主延伸平面并且垂直于第二方向延伸的第三方向的第三转速。此外也优选地，微机械结构具有用于探测平行于第一方向的偏移以及用于探测第二转速的第三探测机构，并且微机械结构具有用于探测平行于第一方向的偏移以及用于探测第三转速的第四探测机构。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]本发明的实施例在附图中示出并且在以下描述中进一步详细阐明。
[0013]附图示出:
[0014]图1:按照本发明的微机械结构的原理图；
[0015]图2至8:根据替代实施方式按照本发明的微机械结构、特别是转速传感器的示意性原理图。
【具体实施方式】
[0016]在不同的附图中相同的部分总是设有相同的附图标记并且因此通常也分别仅仅命名或提及一次。
[0017]在图1中示出了按照本发明的微机械结构、特别是转速传感器的示意性原理图。微机械结构总体上以附图标记I表示。微机械结构I具有衬底，其仅仅示意性地示出并且以附图标记110表示。衬底110具有主延伸平面100，其在图1中在右下方示意性地连同第二方向102和第三方向103以及用于第二方向102的轴线名称X和用于第三方向103的轴线名称y说明。第一方向101可以考虑为垂直于主延伸平面100延伸并且也设有名称z。尤其构造为转速传感器、特别是两通道转速传感器或三通道转速传感器的微机械结构I设置至少用于探测绕垂直于主延伸平面100延伸的第一方向101的第一转速、用于探测绕第二方向102 (其平行于主延伸平面100延伸)的第二转速以及必要时用于探测绕第三方向103的第三转速，所述第三方向同样平行于主延伸平面100但垂直于第二方向102延伸。在随后的描述中优先探讨三通道转速传感器；然而本发明也可应用于感测Qx/y和Ωζ转速的两通道装置。微机械结构I为此具有扭转振动元件10，其借助于连接点30和弹簧元件40可相对于衬底110旋转地与衬底110连接。在此，扭转振动元件10根据按照图1的微机械结构I的构造设置为基本上方形的元件或者方形的环形元件，其能够执行绕第一方向101的扭转振动，其中旋转轴线位于扭转振动元件10的方形装置的中心点的区域中或者中心点处。扭转振动元件10具有凹槽一典型地在扭转振动元件10的中央处或者中间区域中，从而在扭转振动元件10中或者在扭转振动元件10的凹槽中可以设置转速传感器装置12。也称为振动框架10的扭转振动元件10通过尤其四个弹簧元件40在尤其四个连接点30处与衬底110连接，其中在根据图1的实施方式中弹簧元件40基本上相对于扭转振动轴线(第一方向101)径向走向地设置。
[0018]按照本发明，微机械结构具有驱动机构80、81、82，其中驱动机构能够驱动扭转振动元件10绕第一方向或者绕平行于第一方向101的旋转轴线进行扭转振动。为此，特别是存在具有指状电极的、固定的驱动梳80、81和可运动的驱动梳82。固定的驱动梳80、81分别与衬底Iio连接，而可运动的驱动梳82与扭转振动元件10连接。按照本发明，驱动机构可以具有多个这样的驱动梳；在图2中示出了微机械结构的下部中的三个这样的驱动结构和微机械结构I的上部中的三个这样的驱动结构。然而按照本发明也可以提出，在振动框架的左梁或者右梁中设置有相应的驱动结构。通过驱动机构可以激励振动框架10或者扭转振动元件10绕第一轴线(Ζ轴线)进行旋转振动。根据本发明的另一实施方式提出，振动框架10多角地、但非方形地而是矩形地或者圆形地构造或具有环形的或椭圆形的形状。
[0019]在出现绕第二轴线或者第三轴线102、103 (X轴线或者y轴线)的转速时，振动框架10或者扭转振动元件10的结构绕第三方向103或者绕第二方向102翻转，这导致振动框架10或者扭转振动元件10与衬底110的间距变化。所述间距变化借助于特别是设置在扭转振动元件10或者振动框架10下方的探测电极21、22、23、34探测。在此，设有以附图标记21和22表不的电极也作为用于探测扭转振动兀件10平行于第一方向的局部偏移的第三探测机构用于探测绕第三方向103的第三转速。此外，设有以附图标记23和24表示的探测电极以下也作为用于探测扭转振动元件平行于第一方向的局部偏移的第四探测机构用于探测绕第二方向102的第二转速。这相应于振动盘的工作原理，例如根据专利公开文献 DE19915257A1 或者 DE102006052522A1。
[0020]转速传感器装置12位于振动框架10或者扭转振动元件10内，所述转速传感器装置在图1中示出的实施例中具有第一转速传感器元件12’和第二转速传感器元件12’’，它们通过耦合弹簧43相互连接，所述耦合弹簧允许不仅沿X方向而且沿y方向的运动(即沿第二方向和第三方向102、103)。扭转振动元件10通过至少一个连接件31、31’与转速传感器装置12连接，尤其借助于第一连接件31与第一转速传感器元件12’连接而借助于另一第一连接件31’与第二转速传感器元件12’’连接，其中第一连接件31和另一第一连接件31’关于扭转振动元件设置在不同侧上或者关于转速传感器装置12设置在不同侧上。第一连接件31具有第一弹簧41而另一第一连接件31’具有第二弹簧41’，其中第一弹簧和第二弹簧41、41’分别沿平行于第一方向的方向和沿垂直于转速传感器装置12的驱动运动的方向具有比沿平行于转速传感器装置12的驱动运动的方向更小的弹簧刚性。转速传感器装置12按照本发明也还通过第二连接件32、32’与衬底110连接。为此，第二连接件32设为第一转速传感器装置12’的衬底锚定件，并且另一第二连接件32’设为第二转速传感器元件12’ ’与衬底110的连接件。第二连接件32包括第三弹簧42而另一连接件32’包括第四弹簧42’，其中第三弹簧和第四弹簧42、42’分别沿平行于第一方向101的方向和沿垂直于转速传感器装置12的驱动运动的方向具有相比于沿平行于转速传感器装置12的驱动运动的方向更大的弹簧刚性。通过非常局部的第一连接件31或者另一第一连接件31’确保在扭转振动元件10或者振动框架10的旋转运动时仅仅发生垂直于驱动方向(在图1的所不实施方式中，转速传感器装置12的驱动方向与第三方向103 (也称为y方向)重合)的非常小的横向力。然而，所述重合按照本发明不一定是必然的情况。驱动方向也可以根据第二方向102设置或者相对于第二方向或者第三方向102、103的角度不等于90°。还剩余的横向力通过沿垂直于驱动方向的方向软的第一弹簧和第二弹簧41和41’基本上接收，因为框架结构14或者驱动元件14通过垂直于驱动方向非常硬的第三弹簧和第四弹簧42、42’与衬底110连接，从而框架结构14或者驱动元件14实际上不可以沿垂直于驱动方向的方向偏移。相反，第一弹簧和第二弹簧41、41’平行于驱动方向(在图1中的第三方向103)非常硬并且沿驱动方向共同引导框架14或者驱动元件14。由此形成用于Ωχ探测和Qy探测(即第二转速和第三转速)的摆动框架10或者扭转振动元件的和用于Ωζ探测(gp用于第一转速)的直线振动器12或者转速传感器装置12的共同的驱动模式。在此，转速传感器装置的第一驱动元件和第二驱动元件14、14’反相地平行于驱动方向运动，所述驱动方向在示出的示例中与第三方向103重合。然而，同时有效地抑制转速传感器装置12中离心加速度的出现。转速传感器装置12的第一探测装置和第二探测装置16、16’在驱动运动中通过沿驱动方向硬的弹簧44或者44’ 一起引导(即同样相互反相地运动)。在出现绕第一方向101的转速时(即在出现相应于第一转速的转速分量时)，出现平行于第二方向102的科里奥利力，并且探测装置16、16’相应反相地平行于第二方向102偏移。按照本发明尤其电容式地由仅仅示例性地说明的可运动的电极25或者固定电极26、27检测所述偏移，所述可运动的电极25或者固定电极26、27共同形成用于探测第二探测装置16’的偏移的两个探测机构。用于第一探测机构(未示出)的相应电极按照本发明设置用于探测第一探测装置16的偏移，然而简明起见没有示出。第一和第二探测装置16、16’按照根据图1的实施方式构造为科里奥利质量，即探测装置16、16’不仅执行驱动运动(因此科里奥利力作用于它们)而且执行探测运动。第一弹簧和第二弹簧41、41’沿驱动方向必须是硬的并且垂直于驱动方向必须是软的，其中它们此外沿第一方向101的方向(ζ方向)也必须是软的，由此振动框架或者扭转振动元件10在出现Ωχ转速(即绕第二方向102、X方向的第二转速)时可以绕第三方向103翻转。作为示例地以曲折弹簧(Miianderfeder)(例如作为U形弹簧或S形弹簧)的形式实现的第一弹簧和第二弹簧41、41’的变型方案，按照本发明也可实现构造为板簧的弹簧，即相比于其他传感器结构具有显著更小的层厚。
[0021]在图2至8中示出了根据一些替代实施方式的按照本发明的微机械结构、特别是转速传感器的不意性原理图。
[0022]图2示出按照本发明的三通道转速传感器的替代优选实施方式。与按照图1的实施方式不同，驱动框架14或者第一驱动元件14 (并且相应地第二驱动元件14’)按照根据图1的构造的变型方案构造并且以附图标记14b表示。在所述替代方案中，第一(或者第二)驱动元件14在分别位于内部的框架边上是敞开的，从而耦合弹簧43通过连接件33直接将两个探测框架16、16’(或者第一探测装置和第二探测装置16、16’)相互连接。由此确保直线振动结构12 (或者转速传感器装置12)的两个子振动器不仅在驱动运动中而且在探测运动中强耦合并且因此构成共同的、反平行的探测模式。第一探测装置和第二探测装置
16、16’按照根据图2的实施方式同样实施为科里奥利质量，即探测装置16、16’不仅执行驱动运动(因此科里奥利力作用于它们)而且执行探测运动。在仅仅弱耦合的探测结构中，如在根据图1的实施方式中那样，相反可以在左侧子振动器和右侧子振动器中形成两个几乎独立的探测振动形式，它们在弹簧和质量方面由工艺决定的轻微结构区别的情况下也可能导致轻微不同的谐振频率。这可以对转速传感器的信号质量、特别是耐振性具有负面影响。这样的缺点通过按照根据图2的实施方式的探测框架16的耦合避免。
[0023]在图3至8中示出了按照本发明的三通道转速传感器的一些替代实施方式，其替代根据图1和2的矩形几何结构具有圆盘(具有内部空缺)形式的外部振动框架或者外部扭转振动元件10。
[0024]按照根据图3的实施方式，与按照图1和2的实施例不同地，驱动框架14或者第一驱动元件14 (并且相应地第二驱动元件14’ )—按照图3以附图标记14c表示一不与衬底110连接。由此驱动框架14c实现科里奥利框架、即不仅沿驱动方向而且沿探测方向可运动的框架的功能性。所施加的科里奥利力导致结构14c沿X方向的偏移。通过沿X方向硬的弹簧47使探测结构16c (其与图1中的第一探测装置16或者第二探测装置16’相应，但不同地连接)沿X方向共同运动并且因此导致探测信号。探测结构16c在所述配置中在驱动运动中处于静止，即其不执行沿驱动方向I的运动。这通过沿y方向硬的弹簧48实现，所述弹簧与衬底110连接。由此实现驱动运动与探测运动的进一步有利的去耦合。附加地，局部的工艺波动、即以上所述的在弹簧和质量方面的轻微结构区别导致较小的正交(Quadratur)。根据本发明按照图3的实施方式的弹簧48相应于转速传感器装置12在衬底110处的第二连接件32、32’。与按照图1和2的结构的另一拓扑区别是两个弹簧40b替代四个锚定弹簧40，其将传感器在锚定点34处与衬底110连接并且非常类似于振动框架与框架元件14c之间的弹簧41。由此改进用于绕X轴线和y轴线的转速——即振动框架绕y轴线或者X轴线的翻转——的探测偏移的对称性。
[0025]图4示出按照本发明的三通道转速传感器的一种替代和优选的实施方式。与图1和图2不同地，在按照图4的实施方式中如此修改转速传感器装置12，使得第一驱动元件或者第二驱动元件14、14’分别作为驱动框架14d减小为一个紧凑结构。在按照图5至8的实施方式中也设置第一驱动元件和第二驱动元件14、14’的所述实现。通过在弹簧31d (其与按照图1的第一弹簧或者第二弹簧41、41’相应)的作用点以外、特别是上方或者下方弹簧45的衬底连接进一步抑制驱动运动的X分量过耦合到按照图4同样修改的探测结构16d上，从而其沿X方向上实际上不偏移并且因此不导致误差信号。此外按照根据图4的实施方式提出，探测结构16d包含正交补偿结构17，其借助于静电力补偿机械正交信号。
[0026]按照图5的实施方式在驱动框架14d方面相应于根据图4的实施方式，但其中探测结构16d通过沿X和y方向柔性的弹簧49与衬底110连接。由此产生关于ζ通道(即为了感测绕ζ轴线的第一转速Ωζ)的探测频率的调节的附加可能性。
[0027]图6示出按照本发明的三通道转速传感器的另一种替代和优选的实施方式。在此，按照根据图1的实施方式的耦合结构43的替代实现方案作为两个探测框架16e之间的耦合结构43e在锚定点35处与衬底110连接。通过这种方式将可以使测量信号失真的干扰模式推移到更高的频率。
[0028]图7示出按照本发明的三通道转速传感器的一种替代实施方式。与按照图3、4和5的实施方式不同地，在按照图6的实施方式中设有科里奥利框架18，其连同驱动框架14d形成第一驱动元件或者第二驱动元件14、14’。科里奥利框架18不与衬底110连接并且不仅沿驱动方向而且沿探测方向是可运动的。所施加的科里奥利力导致科里奥利框架18沿X方向的偏移。通过沿X方向硬的弹簧47使探测结构16f (其连同镜像设置的探测结构充当按照图1的第一探测装置和第二探测装置16、16’的角色)沿X方向一起运动并且因此导致探测信号。探测结构16f在所述配置中在驱动运动中处于静止，即它不执行沿驱动方向y的运动。这能够通过沿y方向硬的弹簧48实现，所述弹簧与衬底110在锚定点处连接。由此导致驱动运动与探测运动的进一步有利的去耦合。附加地，局部工艺波动仅仅导致小的正交。
[0029]在图8中示出了按照本发明的三通道转速传感器的另一种替代和优选的实施方式。在此，相对于根据图7的实施方式，耦合结构43g (相应于根据图6的实施方式的耦合结构43e)在两个科里奥利框架18 (其按照根据图7的实施方式实现)之间在中央在固定点35处与衬底110连接。通过这种方式将可以使测量信号失真的干扰模式推移到更高的频率。
【权利要求】
1.一种微机械结构(1)，特别是转速传感器，其具有衬底(110)，所述衬底具有主延伸平面(100)，所述微机械机构用于探测绕垂直于所述主延伸平面(100)延伸的第一方向(101)的第一转速并且用于探测绕平行于所述主延伸平面(100)延伸的第二方向(102)的第二转速，其中，所述微机械结构(I)具有被驱动绕平行于所述第一方向(101)的旋转轴线进行扭转振动的扭转振动元件(10)，其中，所述微机械结构(I)还具有用于探测所述第一转速的转速传感器装置(12)，其中，所述扭转振动元件(10)在平行于所述主延伸平面(100)的平面中完全环绕所述转速传感器装置(12)，其中，所述微机械结构(I)具有所述转速传感器装置(12)在所述扭转振动元件(10)处的至少一个第一连接件(31，31’)，其特征在于，所述微机械结构(I)具有所述转速传感器装置(12)在所述衬底(110)处的至少一个第二连接件(32，32’)。
2.根据权利要求1所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述转速传感器装置(12)具有第一转速传感器元件(12’)和第二转速传感器元件(12’ ’)，其中，所述微机械结构(I)配置用于驱动所述第一转速传感器元件和所述第二转速传感器元件(12’，12’’)平行于驱动方向进行反向的驱动运动，其中，为了实现所述驱动运动，所述扭转振动元件(10 )借助于所述第一连接件(31)与所述第一转速传感器元件(12’)连接并且借助于另一第一连接件(31’)与所述第二转速传感器元件(12’ ’)连接。
3.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述第一连接件(31)具有第一弹簧(41)并且所述另一第一连接件(31’)具有第二弹簧(41’)，其中，所述第一弹簧和所述第二弹簧(41，41’)分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向具有相比于沿平行于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向更小的弹簧刚性。
4.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述第一转速传感器元件(12’)借助于所述第二连接件(32)与所述衬底(110)连接，并且所述第二转速传感器元件(12 ’ ’)借助于另一第二连接件(32 ’)与所述衬底(110 )连接。
5.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述第二连接件(32)具有第三弹簧(42 )并且所述另一第二连接件(32 ’)具有第四弹簧(42 ’)，其中，所述第三弹簧和所述第四弹簧(42，42’)分别沿平行于第一方向的方向并且沿垂直于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向具有相比于沿平行于所述转速传感器装置(12)的驱动运动的方向更大的弹簧刚性。
6.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述第一转速传感器元件(12’)具有第一驱动元件(14)和第一探测装置(16)，并且所述第二转速传感器元件(12’ ’)具有第二驱动元件(14’)和第二探测装置(16’)。
7.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述微机械结构(I)具有用于探测所述第一探测装置(16 )的偏移的第一探测机构(25，26，27 )和用于探测所述第二探测装置(16’)沿垂直于所述驱动方向的方向并且在平行于所述主延伸平面(100)的平面中的偏移的第二探测机构。
8.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(1)，其特征在于，所述微机械结构(I)除探测所述第一转速和所述第二转速以外还配置用于探测绕平行于所述主延伸平面(100)并且垂直于所述第二方向(102)延伸的第三方向(103)的第三转速。
9.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述微机械结构(I)具有用于探测平行于所述第一方向(101)的偏移并且用于探测所述第二转速的第三探测机构(21，22)，并且所述微机械结构(I)具有用于探测平行于所述第一方向(101)的偏移并且用于探测所述第三转速的第四探测机构(23，24)。
10.根据上述权利要求之一所述的微机械结构(I)，其特征在于，所述微机械结构(I)具有驱动机构(80，81，82 )，其中，所述驱动机构(80，81，82 )驱动所述扭转振动元件(10 )绕平行于所述第一方向(101)的`旋转轴线进行扭转振动。
【文档编号】G01C19/5712GK103776437SQ201310511795
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年10月25日 优先权日:2012年10月25日
【发明者】J·克拉森, R·舍本 申请人:罗伯特·博世有限公司