专利名称：一种测试探针的制作方法
技术领域：
一种测试探针技术领域[0001]本实用新型涉及一种测试探针，尤其是涉及一种用于测试布置在晶片上的多个芯片的测试探针。
背景技术：
[0002]每一片晶片有成千上万颗芯片，一颗芯片称之为Die，一颗芯片又有若干脚位即若干个Pad点，芯片的生产需要经过晶圆切割，绑定，封装等工艺步骤才能得到成品，而每一颗芯片在生产之前都要进行测试，挑出不良的产品并打点标记，以保证产品的功能正常、从而进一步降低成本。[0003]现有技术通常是提供一种测试设备，用于布置在晶片上的多个芯片提供电子信号、接收从芯片传输的电子信号并确定芯片的电子性能。现有技术除此之外，还提供一种与上述测试设备相连接并在测试设备和芯片之间传输电子信号的探针板。探针板的各个探针直接与晶片上芯片焊盘的焊点接触，该芯片的电功能特性测试结果在测试设备上的显示器或示波器等显示出来，以便检查者确认芯片是否合格。[0004]因此，在芯片测试过程中测试探针与焊点的良好接触是测试的关键，测试探针的结构对测试的可靠性起着重要的作用，现有的探针普遍存在着结构复杂、清洗不易、测试不稳定等缺点。实用新型内容[0005]本实用新型的目的是提供一种测试探针，尤其是涉及一种用于测试布置在晶片上多个芯片的结构简单、测试稳定的测试探针，本实用新型的目的通过下述技术方案来实现:[0006]一种测试探针，包括一圆柱形的探针爪底座，还包括三个与探针爪底座一体形成的、位于所述探针爪底座端部的探针爪，各所述探针爪为结构相同的、尺寸相同的倒锥形，各所述探针爪分别具有一顶点，三个所述探针爪的倒锥形底部拼接成与所述探针爪底座端部贴合的平面圆，相邻的所述探针爪之间形成夹角为97° 102°的V型槽。[0007]本实用新型进一步地，各所述探针爪的所述顶点均匀分布在所述平面圆中心的周围，所述顶点之间的连线形成一等边三角形。[0008]本实用新型进一步地，各所述探针爪的所述顶点在一平面上，所述平面平行于所述平面圆。[0009]本实用新型进一步地，`所述平面圆平行于所述圆柱形的探针爪底座的任何一个横截面。[0010]本实用新型进一步地，所述探针爪垂直于所述平面圆的正投影不超过所述平面圆。[0011]本实用新型进一步地，所述平面圆的直径与所述探针爪底座横截面圆的直径相坐寸O[0012]本实用新型的应用施行使其显著技术效果主要体现在:通过在所述探针爪底座的端部设置三个探针爪，并使相邻两个探针爪之间形成夹角为97° 102°的V型槽，比现有测试探针的测试能力增强、测试的可靠性增加，从而使芯片生产效率提高，且该测试探针还具有结构简单、清洗方便，使用寿命较长的特点。以下便结合附图，对本实用新型的具体实施方式
作进一步的详述，以使本实用新型技术方案更易于理解、掌握。
图1是本实用新型一种测试探针较佳实施例的立体图；图2是本实用新型一种测试探针较佳实施例的另一角度立体图；图3是本实用新型一种测试探针较佳实施例的主视图。
具体实施方式
以下结合附图与具体实施例对本实用新型进行说明，所举的实施例仅是对本实用新型作概括性例示，有助于更好地理解本实用新型，但并不会限制本实用新型范围。请参阅图1和图2,本实用新型的测试探针包括一圆柱形的探针爪底座I,还包括三个与探针爪底座I 一体形成的、位于所述探针爪底座I端部的探针爪2。各探针爪2为结构相同的、尺寸相同的倒锥形，且各所述探针爪2分别具有一顶点，该顶点为测试过程中与芯片焊盘焊点接触的部分。相邻的所述探针爪2之间形成夹角为97° 102°的V型槽，可使上述顶点与芯片焊盘焊点良好的接触。如图3所示，三个所述探针爪2的倒锥形底部拼接成与探针爪底座I端部贴合的平面圆。各所述探针爪2的所述顶点均匀分布在所述平面圆中心的周围，所述顶点之间的连线形成一等边三角形。本实 用新型较佳实施例之一的各所述探针爪2的所述顶点在一平面上，该所述平面平行于所述平面圆，即平行于三个所述探针爪2的倒锥形底部拼接成的与探针爪底座I端部贴合的平面圆；并且，上述平面圆平行于所述圆柱形的探针爪底座I的任何一个横截面；其中，所述探针爪2垂直于所述平面圆的正投影不超过所述平面圆，使所述探针爪2的所述顶点在垂直于所述平面圆的正投影既可以落在所述平面圆的边缘，也可以落在平面圆的内部；具体地，所述平面圆的直径与所述探针爪底座I横截面圆的直径相等，有利于探针爪2在探针爪底座I上的稳定。本实用新型通过在所述探针爪底座的端部设置三个探针爪，并使相邻两个探针爪之间形成夹角为97° 102°的V型槽，比现有测试探针的测试能力增强、测试的可靠性增力口，从而使芯片生产效率提高，且该测试探针还具有结构简单、清洗方便，使用寿命较长的特点。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以作出若干改进和变型，这些改进和变型也应该视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种测试探针，包括一圆柱形的探针爪底座(I)，其特征在于: 还包括三个与探针爪底座(I) 一体形成的、位于所述探针爪底座(I)端部的探针爪(2)，各所述探针爪(2)为结构相同的、尺寸相同的倒锥形，各所述探针爪(2)分别具有一顶点，三个所述探针爪(2)的倒锥形底部拼接成与所述探针爪底座(I)端部贴合的平面圆，相邻的所述探针爪(2)之间形成夹角为97° 102°的V型槽。
2.根据权利要求1所述的一种测试探针，其特征在于:各所述探针爪(2)的所述顶点均匀分布在所述平面圆中心的周围，使所述顶点之间的连线形成一等边三角形。
3.根据权利要求1所述的一种测试探针，其特征在于:各所述探针爪(2)的所述顶点在一平面上，所述平面平行于所述平面圆。
4.根据权利要求1所述的一种测试探针，其特征在于:所述平面圆平行于所述圆柱形的探针爪底座(I)的任何一个横截面。
5.根据权利要求1所述的一种测试探针，其特征在于:所述探针爪(2)垂直于所述平面圆的正投影不超过所述平面圆。
6.根据权利要求1所述的一种测试探针，其特征在于:所述平面圆的直径与所述探针爪底座(I)横截面圆的直·径相等。
专利摘要本实用新型揭示了一种测试探针，包括一圆柱形的探针爪底座，还包括三个与探针爪底座一体形成的、位于所述探针爪底座端部的探针爪，各所述探针爪为结构相同的、尺寸相同的倒锥形，各所述探针爪分别具有一顶点，三个所述探针爪的倒锥形底部拼接成与所述探针爪底座端部贴合的平面圆，相邻的所述探针爪之间形成夹角为97°～102°的V型槽。本实用新型通过在所述探针爪底座的端部设置三个探针爪，并使相邻两个探针爪之间形成夹角为97°～102°的V型槽，比现有测试探针的测试能力增强、测试的可靠性增加，从而使芯片生产效率提高，且该测试探针还具有结构简单、清洗方便，使用寿命较长的特点。
文档编号G01R1/067GK203117235SQ20132001354
公开日2013年8月7日 申请日期2013年1月9日 优先权日2013年1月9日
发明者刘祥缘, 徐大雷, 檀怀宗, 陈连军 申请人:矽品科技(苏州)有限公司