基于多通道squid磁传感器的三轴磁探测模块的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块，其特征在于所述的三轴磁场探测模块，三个方向相互正交，分别对应空间的XYZ方向，对每一个方向的磁场测量由多个通道超导SQUID磁传感器器件完成；多个通道超导SQUID传感器构成串联阵列或通过改变连接次序构成并联阵列。串联阵列可以提高测量的灵敏度，并联阵列可以提高测量的信噪比和工作效率。变化模块中每个组件的连接方法，可以构造出不同结构的探测模块，以满足实际应用对探测模块的不同要求，提高探测系统的灵活性和效率。
【专利说明】基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块
【技术领域】
[0001]本发明涉及超导SQUID磁传感器对地球磁场的测量，更确切地说本发明涉及一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块。属于磁场测量【技术领域】。
【背景技术】
[0002]超导量子干涉器(SQUID)是一种由超导约瑟夫森结和超导环组成的超导量子器件，它的工作原理主要基于约瑟夫森效应和磁场量子化，其能够将磁场的微弱变化转化为可测量的电压，磁场灵敏度可达到fT量级，是目前最灵敏的磁场传感器，因此其在微弱磁场探测领域如生物磁场探测、无损检测、地球磁场探测等方面具有极大的发展和应用潜力。例如在地球物理探测中的大地电磁测深(Magnetotelluric，MT)和可控源音频大地电磁测深(CSAMT)应用中都需要高性能的磁场传感器来对目标磁场信号进行测量。
[0003]MT是对天然存在的区域性电磁场进行探测，这类天然电磁场具有很宽的频带，通过对这些天然电磁场的测量和数据分析，可了解地球岩石圈的电性结构，是研究深部地质构造和寻找油气田的基本勘探方法之一，近年来MT得到了很大的发展。由于MT天然场源的信号微弱，因此在应用中需要使用高灵敏度的磁传感器。
[0004]CSAMT与MT同属频率电磁测深范畴，两者的差异在于CSAMT的激励场源可以人工控制，针对MT场源的随机性和信号微弱，以致观测十分困难的状况，CSAMT采用可以人工控制发射电流及其频率的电偶极子或磁偶极子作为场源，通过测量距场源较远地点位置的不同发射频率下的电磁场信号，来计算出不同频率下的视电阻率，以反映出地下电阻率的分布特征。
[0005]在进行大地电磁测量时，通常既进行MT测量，也进行CSAMT测量，它们都需要灵敏的磁传感器。另外，CSAMT的目标信号是不同发射频率所引发的磁场，地球环境磁场看作噪声，因此，其系统的信噪比性能是其关注的一个重点指标，通常利用多次叠加的方法来降低地球环境磁场噪声的影响，因此需要对单一频率的场进行长时间测量。
[0006]然而，将超导SQUID磁传感器应用于MT和CSAMT时，目前都使用单通道SQUID传感器进行磁场测量，采用磁通调制锁定电路来读出SQUID所感应的磁信号(DANTSKER，E etc.HIGH-T-C3-AXIS DC SQUID MAGNETOMETER FOR GEOPHYSICAL APPLICATIONS)，据报道，至今中国科学院上海微系统与信息技术研究所也只利用超导SQUID磁传感器器件进行了 MT和CSAMT方面的应用研究。在磁测过程中，MT测量具有频带比较宽的特点，而CSAMT为了改善系统的信噪比，采用信号平均的处理方法，因此需要在一个测量点进行长时间测量，测量时间大于半小时，不利于工程化应用。
[0007]本发明拟针对上述超导SQUID磁传感器的测量特点，试图提供一种基于多通道SQUID传感器的三轴探测模块，它不但能够测量三个正交方向的磁场，而且可以针对MT和CSAMT的不同要求，灵活改变模块结构以适应其要求，进而可以提高工作效率。另外，这种探测模块同样有望可以应用于其它微弱磁场探测领域之中。
【发明内容】
[0008]本发明的目的在于提供一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块。本发明设计一种三轴磁场探测模块，三个方向相互正交，分别对应空间中XYZ方向。对每一个方向的磁场测量由多个通道超导SQUID传感器完成，多个通道SQUID既能够构成串联阵列，也可以通过改变连接次序构成并联阵列，串联阵列可以提高测量的灵敏度，并联阵列可以提高测量的信噪比和工作效率。进一步特征描述如下:
[0009](I)三轴磁场探测模块
[0010]超导SQUID磁传感器是一种矢量传感器，只能测量垂直于器件平面方向的磁场变化量。在进行微弱磁场信号测量时，因为微弱磁场信号与超导SQUID磁传感器器件平面不是完全垂直的，因此SQUID磁传感器所感应的是待测磁场信号垂直于SQUID平面的分量，甚至在某些情况下，单轴SQUID测量不到磁场信号，如磁偶极子的电流环产生的磁场分布如图1，从图中可以看出来，在A、B、C、D和E这些列出的点上，若采用单轴测试，箭头标注的方向磁场就测不到了，导致测量出来的磁场值其实不准确，另外，不仅仅是这些特殊点，在偏离这些特殊点不远的附近，有时候磁场信号是非常微弱的，测量出来的效果并不满意。采用三轴磁探测模块可以解决上述问题，三轴模块由3个方向的磁传感器构成，如图2所示，这3个方向相互正交，如此，待测磁场信号可以按照这三个方向进行分解，每个方向的磁传感器测量对应其方向的磁场，并可以由此三个信号计算出磁场矢量。
[0011](2)串联 SQUID 阵列
[0012]在三轴探测模块中，探测每一个方向的磁探测组件是由多个SQUID磁传感器构成，将这些超导SQUID磁传感器器件按照串联的方式可以构成串联SQUID组件，如图3所示，即前一个超导SQUID磁传感器器件的负极端连接到相邻超导SQUID磁传感器器件的正极端。这种串联SQUID组件具有较大的磁场-电压转换系数，设每个超导SQUID磁传感器器件所感应的磁场变化△ B，其输出电压为△ V，那么其磁场-电压转换系数为Λν/ΛΒ，当η个超导SQUID磁传感器器件构成串联SQUID组件时，当磁场变化为Λ B时，其阵列的输出电压为η* Δ V,其磁场-电压转换系数为η* Λ V/ Λ B,比单个超导SQUID磁传感器器件提高了 η倍。磁场-电压转换系数的提高使得SQUID读出电路可以采用直读电路方式，这种电路方式不仅结构简单，方便使用，而且具有很高的摆率和很大的带宽，可以达到MHz量级，这些优点使其在要求高摆率和大带宽的磁场测量时具有很强的应用潜力。
[0013](3)并联 SQUID 阵列
[0014]在三轴探测模块中，探测每一个方向的磁探测组件也可以由多个SQUID磁传感器构成的并联阵列，如图4所示，即多个SQUID传感器之间互不相连，每个SQUID磁传感器分别感应外界磁场信号，阵列灵敏度由阵列中单个器件的灵敏度决定，但是由于每个SQUID传感器感应的 环境噪声具有随机性和不相关性，不相关的磁场噪声叠加在一起，可以在理论上将磁场噪声降低η1/2，因此并联SQUID阵列能够将系统的信噪比提高η1/2。
[0015]另外，由于并联SQUID安装于一个平面上，器件的间距在几个厘米，因此可以由相邻的两个超导SQUID磁传感器器件构成一个磁场梯度计，如图4所示，SQUID -1测量的是位置I处的磁场，SQUID-2测量的是位置2处的磁场，那么根据这两个位置的磁场可以计算出磁场梯度δΒζ/δχ，根据位置I和位置3处的磁场测量值，可以计算出磁场梯度5Bz/5y。同样，通过其它两个方向的SQUID阵列，可以计算出磁场梯度
【权利要求】
1.一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块，其特征在于所述的三轴磁场探测模块，三个方向相互正交，分别对应空间的XYZ方向,对每一个方向的磁场测量由多个通道超导SQUID磁传感器器件完成；多个通道超导SQUID传感器构成串联阵列或通过改变连接次序构成并联阵列。
2.按权利要求1所述的模块，其特征在于待测磁场信号按照3个相互正交的方向进行分解，每个方向的磁传感器测量对应其方向的磁场，并由此三个信号计算出磁场矢量。
3.按权利要求1所述的模块，其特征在于: (a)所述的串联阵列是前一个超导SQUID磁传感器器件的负极端连接到相邻超导SQUID磁传感器器件的正极端； (b)在串联阵列中每个超导SQUID磁传感器器件所感应的磁场变化△B，其输出电压为Δ V,则磁场-电压转换系数为Δ V/ Δ B，当n个超导SQUID磁传感器器件构成串联SQUID组件时，当磁场变化为Δ B时，其阵列的输出电压为n* Δ V,磁场-电压转换系数为η* △ V/ Δ B，比单个超导SQUID磁传感器器件提高了 n倍； (c)磁场-电压转换系数的提高使得SQUID读出电路可以采用直读电路方式，具有达到MHz量级的摆率和带宽。
4.按权利要求1所述的模块，其特征在于: (a)所述的并联阵列是多个超导SQUID磁传感器器件之间互不相连，每个超导SQUID磁传感器分别感应外界磁场信号； (b)阵列灵敏度由阵列中单个器件的灵敏度决定； (c)并联的超导SQUID磁传感器器件阵列系统的信噪比提高n1/2。
5.按权利要求1、3或4所述的模块，其特征在于超导SQUID磁传感器器件间的串联阵列和并联阵列不同形式通过开关完成切换。
6.按权利要求1所述的模块，其特征在于将串联阵列和并联阵列间混合使用，构成具有高摆率、大带宽和高信噪比的测量系统。
7.按权利要求6所述的模块，其特征在于每个磁场测量方向上使用2行2列的并联阵列，每一单元由4个超导SQUID磁传感器器件串联构成。
8.制作如权利要求1-4所述的模块的方法，其特征在于采用从上而下的方式制作，所述的三轴模块分为载体和器件两大部分，而且载体和器件制作可以分开并行完成；在制作模块的过程中，先分别完成载体和超导SQUID磁传感器器件制作，然后将这两部分集成在一起，构成3轴模块；2 X 2通道的具体制作步骤是: 首先，确定三轴模块的尺寸参数，根据由模块提供低温环境的杜瓦尺寸确定模块尺寸，模块的尺寸与载体的尺寸相同，通常模块的载体设计为立方体结构，载体材料的选择是在低温环境下性能稳定的环氧材料，并利用机械加工技术制造出立方体载体，在载体上制作出螺孔辅助的机械结构；在制作完成后，测量立方体的表面平整度和各平面之间的角度，比对设计参数，调整并减小载体的结构误差； 第二，在载体制作的同时，利用微加工工艺来制备超导SQUID磁传感器器件，在器件制备完成后，根据三轴模块每一个方向的尺寸，对器件进行封装；在每一面上排列2X2通道阵列，为防止器件之间的串扰问题，需要在器件之间留有几个厘米的间距；在器件封装之后，将超导SQUID磁传感器安装于模块之前，对每一个器件进行包括器件噪声、磁场电压转换参数性能的测试性能测试和标定，并选择性能接近的器件来制造磁探测模块，保证器件性能的均一性； 第三，按照模块的设计，将超导SQUID磁传感器器件安装于三轴模块上，并对每一个方向的阵列进行性能测试，根据性能参数的测量反馈结果，不断改进和完善三轴模块； 第四，通过对器件、组件、模块制作步骤中的每一步的检测，保证磁探测模块的质量。
9.按权利要求8所述的方法，其特 征在于立方体结构的模块的载体的边长小于10厘米。
【文档编号】G01R33/035GK103901362SQ201410139130
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2014年4月9日 优先权日:2014年4月9日
【发明者】徐婷, 王会武, 荣亮亮, 常凯, 侍文, 蒋坤, 邱隆清, 伍俊, 谢晓明 申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所