用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件及其制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件，所述微技术构件具有：至少一个沿着轴线(10)定向的磁芯(12)；至少一个第一驱动线圈(14)，其具有在绕所述至少一个磁芯(12)的第一旋转方向上延伸的绕阻；和至少一个触点(18a，18b)，通过所述触点能够借助于所述驱动器装置(20)引起在穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)的第一电流方向上的第一电流，其中，所述微技术构件还包括：至少一个第二驱动线圈(16)，其具有在绕所述至少一个磁芯(12)的第二旋转方向上延伸的绕阻，其中，所述第一旋转方向和所述第二旋转方向是不同的，并且其中，通过所述至少一个触点(18a，18b)能够与所述第一电流同时引起在穿过所述至少一个第二驱动线圈(16)的与所述第一电流方向相反指向的第二电流方向上的第二电流。同样地，本发明涉及一种用于微技术构件的制造方法。
【专利说明】用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件。同样地，本发明涉及一种磁传感器装置和一种磁致动器。此外，本发明涉及一种用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法、一种用于磁传感器装置的制造方法和一种用于磁致动器的制造方法。
【背景技术】
[0002]公开一种磁场传感器FlipCore,该磁场传感器FlipCore例如能够用于数字罗盘。FlipCore是磁通门磁力仪(或弗尔斯特探测器)并且具有驱动线圈和探测器线圈，所述驱动线圈和所述探测器线圈绕磁芯引导。通过给驱动线圈通电能够在磁芯中引起磁场。由于在磁芯中引起的磁场与另外的磁场(例如地磁场)的叠加能够出现磁芯的自发的交变磁化。借助于在探测器线圈中感应出的电压应该能够探测磁芯的自发的交变磁化。接着应该能够通过评估磁芯的自发的交变磁化的时间点来确定另外的磁场的磁场强度。
[0003]此外，在DE102008042800A1中描述一种用于测量磁场方向和/或强度的装置，该装置包括三个传感器装置，所述传感器装置分别被设计用于检测磁场在空间方向上的分量。传感器装置中的两个是磁通门磁力仪。
[0004]本发明实现一种具有根据权利要求1的特征的用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件、一种具有根据权利要求8的特征的磁传感器装置、一种具有根据权利要求9的特征的磁致动器、一种具有根据权利要求10的特征的用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法、一种具有根据权利要求14的特征的用于磁传感器装置的制造方法和一种具有根据权利要求15的特征的用于磁致动器的制造方法。
[0005]发明中容
[0006]本发明能够在电压相同的情况下实现在至少一个磁芯中引起的磁场的较高的磁场强度。因此，微技术构件在磁传感器装置中的应用能够在驱动线圈的运行电压相同的情况下实现相对于(只具有单线圈的)传统的弗尔斯特探测器较高的测量范围。相应地，装备有微技术构件的磁致动器也能够在驱动线圈的运行电压相同的情况下施加较强的作用。由此，本发明为磁传感器装置和磁致动器的重要改进作贡献。
[0007]指出了，本发明能够实现改进磁传感器装置和磁致动器，而不需要减少至少一个第一驱动线圈的印制导线电阻。换言之，能够通过至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈在至少一个磁芯上根据本发明地构造/构型总电阻(磁传感器装置或磁致动器的驱动器装置克服所述总电阻工作)相对于具有与至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈的匝数总和相同的匝数的唯一一个驱动线圈有效减小。因为所述优点能够在没有减少印制导线电阻的情况下实现，能够使用成本低廉并且简单加工的材料用于构成至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈。由此，本发明也为用于磁传感器装置或用于磁致动器的微技术构件的较简单的可制造性作贡献。此外，本发明允许磁传感器装置或磁致动器装备有相对成本低廉的微技术构件。
[0008]此外，通过在运行电压相同的情况下增大的测量范围或通过在运行电压相同的情况下磁致动器的改进的作用，磁传感器装置或磁致动器装备有相对成本低廉和/或需要结构空间小的驱动器装置已经足够。
[0009]更优选地，所述至少一个第一驱动线圈和所述至少一个第二驱动线圈通过共同的触点作为至少一个触点连接或能够连接到驱动器装置上。如在下面更准确地实施的，这允许简单并且有利地设计至少一个第一驱动线圈和至少一个第二线圈，例如按ASIC-水平。同时，在将至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈这样连接到驱动器装置上的情况下可能在没有时间差的情况下给驱动线圈供给电流信号。
[0010]例如至少一个第一驱动线圈能够具有第一匝数并且至少一个第二驱动线圈能够具有第二匝数，其中，所述第二匝数对于所述第一匝数。如在下面更准确地实施的，至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈的这种构造允许在电压相同的情况下电流强度相对于具有等于第一匝数的两倍的匝数的线圈增大了因数2。
[0011]在有利的实施方式中，微技术构件能够包括至少两个第一驱动线圈和至少两个第二驱动线圈。这允许有利地增加能够在驱动线圈中借助于电压引起的电流强度。
[0012]更有利地，所述至少两个第一驱动线圈中的一个和所述至少两个第二驱动线圈中的一个通过共同的接地部相互连接。由此，能够即使在构造多个第一驱动线圈和多个第二驱动线圈的情况下实现相对简单并且清楚的线圈设计。
[0013]此外，微技术构件还能够具有至少一个探测器线圈，该探测器线圈这样布置在所述至少一个磁芯上，使得能够借助于由在所述至少一个磁芯中引起的第一和第二磁场与另外的磁场构成的叠加以及借助于所述至少一个磁芯的交变磁化感应出穿过所述至少一个探测器线圈的感应电流。由此，微技术构件尤其能够有利地用于磁通门传感器或弗尔斯特探测器。
[0014]尤其地，所述至少一个探测器线圈能够具有第三匝数，所述第三匝数不等于所述至少一个第一驱动线圈的第一匝数和/或所述至少一个第二驱动线圈的第二匝数。由此，能够相对自由地选择所述至少一个探测器线圈的设计。
[0015]在磁传感器装置或磁致动器具有相应的微技术构件的情况下也确保上面列举的优点。
[0016]此外，所述优点能够通过实施用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法来实现。所述制造方法能够根据微技术构件的上面描述的实施方式改进。
[0017]此外，所述优点能够通过实施用于磁传感器装置的相应的制造方法或用于磁致动器的制造方法来实现。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]本发明的其他特征和优点以下借助附图解释。附图示出:
[0019]图1微技术构件的第一实施方式的示意图；
[0020]图2微技术构件的第二实施方式的示意图；
[0021]图3微技术构件的第三实施方式的部分示意图；
[0022]图4微技术构件的第四实施方式的部分示意图；和
[0023]图5用于解释用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法的实施方式的流程图。
【具体实施方式】
[0024]图1示出微技术构件的第一实施方式的示意图。
[0025]图1中示意性示出的微技术构件具有至少一个沿着轴线10定向的磁芯12。仅仅示例性地在图1中只示出一个磁芯12，该磁芯的中纵轴线沿着轴线10定向。但是指出了，取代唯一的磁芯12对于以下说明的微技术构件也能够使用多个磁芯12。至少一个磁芯12尤其可以是微技术沉积出的磁芯12。为此，例如能够在至少一个衬底上/中微技术沉积出软磁材料。
[0026]微技术构件包括至少一个具有在第一旋转方向上绕至少一个磁芯12延伸的绕阻的第一驱动线圈14和至少一个具有在第二旋转方向上绕至少一个磁芯12延伸的绕阻的第二驱动线圈16，其中，所述第一旋转方向和所述第二旋转方向是不同的。至少一个第一驱动线圈14例如能够构造为右旋线圈(借助于符号14a描绘出)，而至少一个第二驱动线圈16是相应于符号16a的左旋线圈。作为对此的替代方案，至少一个第一驱动线圈14也可以是左旋线圈并且至少一个第二驱动线圈16也可以是右旋线圈。仅仅示例性地说明线圈14和16的图1中示出的构造。
[0027]微技术构件具有至少一个触点18a和18b,通过所述触点至少一个第一驱动线圈14如此连接或能够连接到(内部或外部的)驱动器装置20上，使得借助于驱动器装置20能够引起在第一电流方向上通过至少一个第一驱动线圈14的第一电流。以这种方式，能够借助于至少一个在第一电流方向上通电的第一驱动线圈14引起至少局部地在至少一个磁芯10的由第一驱动线圈14包围的第一部分中的沿着轴线10定向的第一(部分)磁场22。此外，至少一个第二驱动线圈16通过至少一个触点18a和18b如此连接或能够连接到驱动器装置20上，使得与在第一电流方向上通过至少一个第一驱动线圈14的第一电流同时地，借助于驱动器装置20能够引起在与第一电流方向相反指向的第二电流方向上通过至少一个第二驱动线圈16的第二电流。因此，(在电源电压相同的情况下)能够借助于至少一个在第二电流方向上通电的第二驱动线圈16引起至少局部地在至少一个磁芯12的由第二驱动线圈16包围的第二部分中的沿着轴线10定向的第二(部分)磁场22。如在下面更准确地阐明的，以这种方式能够使由两个磁场相加的总磁场构成的磁场强度相对于单线圈由于较小的电阻(至少)加倍。
[0028]这也能够如此说明，使得借助于驱动线圈14和16引起的(部分)磁场由于所述磁场的反向的旋转方向/缠绕方向在结构上重叠。由此，借助于通电的驱动线圈14和16引起的(部分)磁场具有沿着轴线10的分量，所述分量相同地定向。因此，借助于通电的驱动线圈14和16引起的(部分)磁场指向一个共同的方向。相对于具有等于驱动线圈14和16的印制导线尺寸的印制导线尺寸和等于驱动线圈14和16的匝数总和的匝数的唯一一个单线圈能够借助于驱动线圈14和16在电压相同的情况下(通过所述驱动线圈的匝数)实现较强的电流强度。因此，也能够借助于驱动线圈14和16在电压相同的情况下实现比借助于单线圈引起的磁场强的至少局部地在至少一个磁芯12中的总磁场22。
[0029]由此，驱动线圈14和16的电阻与所述单线圈的电阻相比减少，例如减半。对于电阻的减少而言不需要改变驱动线圈14和16的层厚度、印制导线宽度、节距和/或所有绕阻的总数。附加地，通过至少一个第一驱动线圈14和至少一个第二驱动线圈16的有利构造实现改进的线路:驱动器能够布置在靠近结构的中心(在接口 18a处)，从而避免附加的馈电电阻。
[0030]图1的微技术构件的优点以下借助一些公式解释。在此，示例性地由此出发，即至少一个第一驱动线圈具有第一匝数nl并且至少一个第二驱动线圈具有第二匝数n2，其中，第二匝数n2等于第一匝数nl。此外，从微技术构件的仅仅一个第一驱动线圈14和仅仅一个第二驱动线圈16出发。但是指出，驱动线圈14和16也能够具有不同的匝数。同样地，(如下面更准确地实施的)微技术构件能够包括至少两个第一驱动线圈14和至少两个第二驱动线圈16。
[0031]为了比较，考虑具有仅仅一个单线圈作为驱动线圈的传统构件，该单线圈绕至少一个磁芯12缠绕。所述单线圈具有等于第一驱动线圈14的第一匝数nl的两倍的匝数n0 (或第二驱动线圈16的第二匝数n2的两倍)。此外，所述单线圈具有相同的线圈尺寸，例如与驱动线圈14和16相同的层厚、相同的印制导线宽度和相同的节距。
[0032]由此，根据公式(公式I)适用于所述单线圈的电阻RO并且适用于第一驱动线圈14的电阻Rl (或第二驱动线圈16的电阻R2):
…，、、nl n2
[0033]“ 式 I)而 H
[0034]由此，单线圈的电阻RO是第一驱动线圈14的电阻Rl的两倍(或第二驱动线圈16的电阻R2的两倍)。由此，电压U得出单线圈中的电流强度10，根据公式(公式2)适用于所述电流强度:
[0035](公式2) /0 = ^
/I U
[0036]与此相对，第一驱动线圈14中相同的电压U得出电流强度11(或在第二驱动线圈16中的电流强度12)，根据公式(公式3)适用于所述电流强度:
[0037](公式3) Il = 12 = —= — = 2—= 2 /0
R\ R2 RO
[0038]由此，所述相同的电压引起与所述单线圈中的电流强度1相比第一驱动线圈14中的两倍的电流强度Il (或第二驱动线圈16中的两倍的电流强度12)。借助于所述单线圈中的电流强度1引起的磁场强度BO根据公式(公式4)得出:
[0039](公式4) BO = α *Ι0*η0
[0040]其中，α从所述单线圈(和驱动线圈14和16)的线圈尺寸(长度和直径)计算出。
[0041]相应地，电压U到驱动线圈14和16上的施加根据公式(公式5)得出磁场强度B:
[0042](公式 5) B= α *Ι1*η1+α *Ι2*η2 = 2* α *10*n0 = 2*Β0
[0043]由此，尽管电压U相同仍能够引起不同的磁场强度BO和B。因此，由于微技术构件有利地装备有驱动线圈14和16(取代相应的单线圈)能够引起至少一个磁芯12中的较强的磁场22。因此，微技术构件能够用于磁致动器，该磁致动器在电压U相同的情况下具有较强的作用。相应地，微技术构件也能够用于磁感应器，其中，借助于相同的(最大的)电压U实现加倍的测量范围。
[0044]驱动器装置20可以是磁感应器或磁致动器的构件。但是，驱动器装置20的至少部分部件也能够(直接地)构造在微技术构件上。例如驱动器装置20也与微技术构件共同构造为一件式的构件。此外指出了，在微技术构件的情况下，驱动器装置20能够具有仅仅一个用于多个驱动线圈14和16的电流驱动器。但是，作为对此的替代方案，多个电流驱动器也能够与微技术构件共同作用。替代地，也能够使用调节的电流源。
[0045]更优选地，至少一个第一驱动线圈14和至少一个第二驱动线圈16通过共同的触点18a作为至少一个触点18a和18连接或能够连接到驱动器装置20 (或驱动器装置20的部件)上。共同的触点18a例如能够布置在至少一个磁芯12的中心中。通过共同的触点18a能够在没有时间差的情况下给至少两个驱动线圈14和16供以电流信号。尤其地，这使将交流电信号到驱动线圈14和16上的、用于产生至少局部地在至少一个磁芯12中的沿着轴线10的周期性变化的磁场22的施加变得简单。也指出了，共同的触点18a的构造仅仅是可选择的。
[0046]在图1的实施方式中，驱动线圈14和16通过触点18b直接地能够连接/连接到接地部/质量24上。作为对此的替代方案，电流镜也能够连接到触点18b上，以便平衡驱动线圈14和16之间的电阻偏差。
[0047]图2示出微技术构件的第二实施方式的示意图。
[0048]图2中示意性示出的微技术构件相对于上面已经描述的构件附加地还具有至少一个探测器线圈26a和26b，所述探测器线圈这样布置在至少一个磁芯12上，使得能够借助于由在至少一个磁芯12中引起的磁场22和另外的磁场(未不出)构成的叠加以及借助于至少一个磁芯的交变磁化通过至少一个探测器线圈26a和26b感应出感应电流。示例性地，两个串联的探测器线圈26a和26b布置在至少一个磁芯12上。替代地，当为了评估感应出的感应电流需要较小的内阻和/或不希望太高的振幅电压时，探测器线圈26a和26b也能够并联。
[0049]图2的微技术构件尤其能够有利地用于磁感应器装置。能够通过同时给驱动线圈14和16供以交流电信号引起在所述至少一个磁芯中的沿着轴线10的交变磁场。附加地，还可以是待测量的(未示出的)另外的磁场，例如地磁场，作用到至少一个磁芯12上。两个磁场的叠加能够导致至少一个磁芯12的自发的交变磁化。这能够借助在至少一个探测器线圈26a和26b中感应出的感应电流借助于探测器装置28识别。探测器装置28例如能够考虑至少一个磁芯12的交变磁化的时间点用于评估另外的磁场的磁场强度。也指出了，图2的微技术构件还能够有利地与驱动器装置20和探测器装置28共同用于测量/求得/证明相对小的磁场强度本身。
[0050]图3示出微技术构件的第三实施方式的部分示意图。
[0051]图3的微技术构件具有多个第一驱动线圈14和多个第二驱动线圈16。尽管如此，所有驱动线圈14和16还能够通过共同的触点18a能够连接或连接到驱动器装置20上。此夕卜,至少两个第一驱动线圈14中的每一个和至少两个第二驱动线圈16中的(相邻的)一个通过共同的接地部/质量24相互连接。由此，图3中部分示出的微技术构件虽然有大量驱动线圈14和16还具有相对简单并且清楚的设计。
[0052]更优选地，微技术构件上的左旋驱动线圈14和16的数量等于右旋驱动线圈14和16的数量。但是也指出了，这种驱动线圈14和16的分布不是必需的。
[0053]图4示出微技术构件的第四实施方式的部分示意图。
[0054]如借助图4中部分示出的微技术构件能够识别的是，至少一个探测器线圈26也能够具有第三匝数，该第三匝数不等于至少一个第一驱动线圈14的第一匝数和/或至少一个第二驱动线圈16的第二匝数。至少一个探测器线圈26的第三匝数尤其能够小于至少一个第一驱动线圈14的第一匝数和/或至少一个第二驱动线圈16的第二匝数。以这种方式能够获得至少一个磁芯12上的空间用于提高第一匝数和/或第二匝数。
[0055]更有利地，至少一个探测器线圈26的第三匝数例如能够为至少一个第一驱动线圈14的第一匝数的一半和/或至少一个第二驱动线圈16的第二匝数的一半。如图4中示出的，例如至少一个第一驱动线圈14或至少一个第二驱动线圈16中的两个线圈能够处于至少一个探测器线圈26的两个相邻的线圈之间。但是也指出了，探测器线圈26的图4中示出的设计仅仅示例性地说明。
[0056]驱动线圈14和16的图1至4示出的小匝数仅仅有助于清楚性。第一匝数和/或第二匝数例如能够处于30至1000的范围内。至少一个探测器线圈26、26a和26b的第三匝数也能够处于30至1000的范围内。
[0057]图1至4的微技术构件的上面实施的优点也能够在磁传感器装置、尤其基于磁通门磁力仪或弗尔斯特探测器的原理的传感器装置或者具有这种微技术构件的磁致动器的情况下确保。装备有微技术构件的磁传感器装置还能够附加地包括驱动器装置20和/或探测器装置28。因为对于驱动器装置20和/或探测器装置28的实施例是已知的，在这里不探讨它们。相应地，也能够在这里不进一步探讨装备有微技术构件的磁致动器的其他可能的构件。
[0058]对于三轴的磁传感器装置也能够将至少三个第一驱动线圈14和至少三个第二驱动线圈16如此布置在微技术构件上，使得分别至少一个第一驱动线圈14和分别至少一个第二驱动线圈16绕三个轴线10中的一个引导，其中，所述三个轴线10相互垂直地定向。相应地,在改进方案中,三个具有至少一个第一个驱动线圈14和至少一个第二驱动线圈16的微技术构件也能够如此相互定向，使得它们的轴线10处于相互垂直。
[0059]微技术构件或它的改进方案尤其能够用于罗盘。借助于单个构件提供的数据的传感器数据合并能够确定朝向磁性北极的方向。由于在运行电压相对小的情况相对大的测量范围，这种磁传感器装置也能够有利地用于移动电话/智能手机中。
[0060]尽管使上面描述的实施方式的损耗功率(由于电流强度的增加)在理论上成为四倍，其能耗仍能够保持得低。为此，例如使引导穿过驱动线圈14和16的电流信号的频率成为四倍，而每秒的运行时间减小到四分之一。
[0061]在有利的改进方案中，装备有微技术构件的磁传感器装置也能够与加速度传感器和/或旋转速率传感器共同组合。加速度传感器和/或旋转速率传感器的部件能够与微技术构件共同构造在共同的芯片上。
[0062]图5示出用于解释用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法的实施方式的流程图。
[0063]以下描述的制造方法例如能够用于制造在上面解释的微技术构件的实施方式中的一个。但是，所述制造方法的可实施性不局限于这种微技术构件的制造。
[0064]在方法步骤SI中构造至少一个具有在第一旋转方向上绕至少一个沿着轴线定向的磁芯延伸的绕阻的第一驱动线圈。此外，在(优选同时实施的)方法步骤S2中构造至少一个具有在第二旋转方向上绕至少一个沿着轴线定向的磁芯延伸的绕阻的第二驱动线圈，其中，所述第一旋转方向和所述第二旋转方向不同地确定。尤其能够为了共同/同时地实施方法步骤SI和S2实施由半导体技术构成的符合标准的沉积过程和结构化过程。这也可能的是，构造至少两个第一驱动线圈和至少两个第二驱动线圈。
[0065]在方法步骤S3中，构成至少一个触点用于将磁传感器装置或磁致动器的(外部或内部的)驱动器装置连接到至少一个第一驱动线圈上。这这样发生，使得在驱动器装置运行的情况下，为了将第一电流在第一电流方向上引导穿过至少一个第一驱动线圈，借助于在第一电流方向上引导穿过至少一个第一驱动线圈的电流引起至少局部地在所述至少一个磁芯的由所述第一驱动线圈包围的第一部分中的沿着所述轴线定向的第一(部分)磁场。此外，所述至少一个触点这样被构造用于同时将驱动器装置连接到至少一个第一驱动线圈上并且连接到至少一个第二驱动线圈上，使得在驱动器装置运行的情况下，为了同时将第一电流在第一电流方向上引导穿过至少一个第一驱动线圈并且将第二电流在与第一电流相反指向的第二电流方向上引导穿过至少一个第二驱动线圈，借助于至少一个在第二电流方向上通电的第二驱动线圈引起至少局部地在所述至少一个磁芯的由所述第二驱动线圈包围的第二部分中的沿着所述轴线定向的第二(部分)磁场。由此，根据在这里描述的制造方法制造的微技术构件也确保上面描述的优点。
[0066]优选地，共同的触点构造为所述至少一个触点用于同时将驱动器装置连接到至少一个第一驱动线圈上并且连接到至少一个第二驱动线圈上，至少一个第一驱动线圈电连接到所述触点上并且至少一个第二驱动线圈电连接到所述触点上。
[0067]可选择地，在方法步骤S4中还构造至少一个探测器线圈，该探测器线圈这样在布置所述至少一个磁芯上，使得借助于由在所述至少一个磁芯中引起的磁场和另外的磁场构成的叠加通过至少一个探测器线圈感应出感应电流。方法步骤S4尤其能够与方法步骤SI和S2共同/同时地实施。
[0068]指出了，编号不确定用于实施方法步骤SI至S4的时间顺序。
[0069]借助于方法步骤SI至S4也能够(至少部分地)制造磁传感器装置或磁致动器。
【权利要求】
1.用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件，其具有: 至少一个沿着轴线(10)定向的磁芯(12)； 至少一个第一驱动线圈(14)，所述第一驱动线圈具有在第一旋转方向上绕所述至少一个磁芯(12)延伸的绕阻；和 至少一个触点(18a，18b)，通过所述触点将所述至少一个第一驱动线圈(14)如此连接或能够连接到所述磁传感器装置或所述磁致动器的驱动器装置(20)上，使得能够借助于所述驱动器装置(20)引起在第一电流方向上穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)的第一电流，并且能够借助于至少一个在所述第一电流方向上通电的第一驱动线圈(14)引起至少局部地在所述至少一个磁芯(10)的由所述第一驱动线圈(14)包围的第 一部分中的沿着所述轴线(10)定向的第一磁场(22)； 其特征在于: 至少一个第二驱动线圈(16)，所述第二驱动线圈具有在第二旋转方向上绕所述至少一个磁芯(12)延伸的绕阻，其中，所述第一旋转方向和所述第二旋转方向是不同的； 并且其中，所述至少一个第二驱动线圈(16)通过所述至少一个触点(18a，18b)如此连接或能够连接到所述驱动器装置(20)上，使得与在穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)的第一电流方向上的第一电流同时能够借助于所述驱动器装置(20)引起在与所述第一电流方向相反指向的第二电流方向上穿过所述至少一个第二驱动线圈(16)的第二电流，并且能够借助于在所述至少一个在第二电流方向上通电的第二驱动线圈(16)引起至少局部地在所述至少一个磁芯(12)的由所述第二驱动线圈(16)包围的第二部分中的沿着所述轴线(10)定向的第二磁场(22)。
2.根据权利要求1所述的微技术构件，其中，所述至少一个第一驱动线圈(14)和所述至少一个第二驱动线圈(16)通过共同的触点(18a)作为所述至少一个触点(18a，18b)连接或能够连接到所述驱动器装置(20)上。
3.根据权利要求1或2所述的微技术构件，其中，所述至少一个第一驱动线圈(14)具有第一匝数并且所述至少一个第二驱动线圈(16)具有第二匝数，并且其中，所述第二匝数等于所述第一匝数。
4.根据上述权利要求中任一项所述的微技术构件，其中，所述微技术构件包括至少两个第一驱动线圈(14)和至少两个第二驱动线圈(16)。
5.根据权利要求4所述的微技术构件，其中，所述至少两个第一驱动线圈(14)中的一个和所述至少两个第二驱动线圈(16)中的一个通过共同的接地部(24)相互连接。
6.根据上述权利要求中任一项所述的微技术构件，其中，所述微技术构件还具有至少一个探测器线圈(26，26a，26b)，所述至少一个探测器线圈这样布置在所述至少一个磁芯(12)上，使得能够借助于由在所述至少一个磁芯(12)中引起的第一和第二磁场(22)与另外的磁场构成的叠加以及借助于所述至少一个磁芯的交变磁化感应出穿过所述至少一个探测器线圈(26，26a，26b)的感应电流。
7.根据权利要求6所述的微技术构件，其中，所述至少一个探测器线圈(26，26a，26b)具有第三匝数，所述第三匝数不等于所述至少一个第一驱动线圈(14)的第一匝数和/或所述至少一个第二驱动线圈(16)的第二匝数。
8.具有根据权利要求6或7所述的微技术构件的磁传感器装置。
9.具有根据权利要求1至5中任一项所述的微技术构件的磁致动器。
10.用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法，其具有以下步骤: 构造至少一个具有在第一旋转方向上绕至少一个沿着轴线(10)定向的磁芯(12)延伸的绕阻的第一驱动线圈(14) (SI);和 构造所述至少一个触点(18a，18b)用于将所述磁传感器装置或所述磁致动器的驱动器装置(20)这样连接到所述至少一个第一驱动线圈(14)上，使得在所述驱动器装置(20)运行的情况下，为了将第一电流在所述第一电流方向上引导穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)，借助于在所述第一电流方向上引导穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)的电流引起至少局部地在所述至少一个磁芯(12)的由所述第一驱动线圈(14)包围的第一部分中的沿着所述轴线(10)定向的第一磁场(22), 其特征在于以下步骤: 构造具有至少一个在第二旋转方向上绕所述至少一个磁芯(12)延伸的绕阻的第二驱动线圈(16)，其中，所述第一旋转方向和所述第二旋转方向不同地确定(S2);和 这样构造所述至少一个触点(18a，18b)用于同时将所述驱动器装置(20)连接到所述至少一个第一驱动线圈(14)上并且连接到所述至少一个第二驱动线圈(16)上，使得在所述驱动器装置(20)运行的情况下，为了同时将所述第一电流在所述第一电流方向上引导穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)并且将所述第二电流在与所述第一电流相反指向的第二电流方向上引导穿过所述至少一个第二驱动线圈(16)，借助于至少一个在所述第二电流方向上通电的第二驱动线圈(16)引起至少局部地在所述至少一个磁芯(12)的由所述第二驱动线圈(16)包围的第二部分中的沿着所述轴线(10)定向的第二磁场(22) (S3)。
11.根据权利要求10所述的制造方法，其中，共同的触点(18a)构造为所述至少一个触点(18a，18b)用于同时将所述驱动器装置(20)连接到所述至少一个第一驱动线圈(14)上并且连接到所述至少一个第二驱动线圈(16)上，所述至少一个第一驱动线圈(14)和所述至少一个第二驱动线圈(16)电连接到所述触点上。
12.根据权利要求10或11所述的制造方法，其中，构造至少两个第一驱动线圈(14)和至少两个第二驱动线圈(16)。
13.根据权利要求10至12中任一项所述的制造方法，其中，还构造至少一个探测器线圈(26，26a，26b)，所述探测器线圈这样布置在所述至少一个磁芯(12)上，使得借助于由在所述至少一个磁芯(12)中引起的第一和第二磁场(22)和另外的磁场构成的叠加以及借助于所述至少一个磁芯的交变磁化感应出穿过所述至少一个探测器线圈(26，26a，26b)的感应电流(S4)。
14.用于磁传感器装置的制造方法，其具有以下步骤: 根据权利要13所述的制造方法制造所述磁传感器装置的微技术构件。
15.用于磁致动器的制造方法，其具有以下步骤: 根据权利要求10至12中任一项所述的制造方法制造所述磁致动器的微技术构件。
【文档编号】G01R33/02GK104280697SQ201410312982
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2014年7月2日 优先权日:2013年7月2日
【发明者】M·施赖特尔, A·丹嫩贝格 申请人:罗伯特·博世有限公司