一种非线性光导开关测试装置及方法
【专利摘要】本发明涉及非线性光导开关参数测试领域，尤其是涉及一种非线性光导开关测试装置及方法。本发明针对现有技术存在的问题，提供一种非线性光导开关测试装置及方法。通过延时同步机、激光器、光纤、光电探头、第一高压探头等配合克服在高压、大电流、超快脉冲的条件下对非线性光导开关进行准确测试的困难，实现非线性光导开关导通延迟时间、抖动、导通电阻、耐压和寿命等参数。本装置包括延时同步机、激光器、光纤、光电探头、高压探头、示波器、高压脉冲电源、Blumlein传输线、匹配负载、有机玻璃盒、变压器绝缘油、限位夹具。待测非线性光导开关、Blumlein传输线、匹配负载置于有机玻璃盒内，并且浸没于变压器绝缘油中。
【专利说明】一种非线性光导开关测试装置及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及非线性光导开关参数测试领域，尤其是涉及一种非线性光导开关测试装置及方法。
【背景技术】
[0002]光导开关(PhotoconductiveSemiconductor Switches-PCSS)是利用脉冲激光激励光导半导体实现阻抗状态转换的一种新型固体开关。自从1972年，Maryland大学的Jayaraman和Lee首次发现半导体材料对皮秒光脉冲作用的响应时间可在皮秒的范围内以来，光导开关的特性研究就引起了各国科学家的高度重视。由于光导开关具有导通速度快、同步精度高、触发抖动小等优点，它在医用介质壁加速器、高功率微波、超短超快电脉冲、闪光照相等众多领域有着良好的应用前景。
[0003]光导开关的工作模式分为线性模式和非线性模式两种，其中，光导开关的偏置电场强度和触发光能都达到一定阈值后，光导开关才会工作在非线性模式，该工作模式也是目前本领域研究的热点。由于在非线性模式下，光导开关两极间偏置电压达数十千伏、开关导通电流达数百安培、功率达数十兆瓦，因此若要对非线性光导开关的性能进行测试，则对测试装置有着较高的要求。
[0004]目前，国内非线性光导开关生产工艺还不成熟，一方面造成开关价格昂贵，另一方面也使得开关质量参差不齐，而且缺乏统一的检测装置，迫切需要一套准确、方便、可靠的检测装置，来对非线性光导开关的质量进行控制。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是:针对现有技术存在的问题，提供一种非线性光导开关测试装置及方法。通过延时同步机、激光器、光纤、光电探头、高压探头、示波器、高压脉冲电源、Blumlein传输线、匹配负载等配合，克服在高压、大电流、超快脉冲的条件下对非线性光导开关进行准确测试的困难，实现非线性光导开关导通延迟时间、抖动、导通电阻、耐压和寿命等参数测试的准确、方便、可靠，保证非线性光导开关的性能和质量。具体是通过当高压脉冲电源输出高压信号，对Blumlein传输线进行充电；待测非线性光导开关充电完成后，激光器产生激光信号经过光纤传输至待测非线性光导开关表面使得待测非线性光导开关导通时，在Blumlein传输线两个金属银电极之间产生一个电压脉冲，该电压脉冲沿着Blumlein传输线传播到匹配负载等一系列测试过程得到待测非线性光导开关通延迟时间、抖动、导通电阻技术指标，较为准确把握待测非线性光导开关的参数特性；通过逐渐提高高压脉冲电源的输出电压，即逐渐提高Blumlein传输线的充电电压，直到待测非线性光导开关发生自击穿，在待测非线性光导开关发生自击穿前一时刻，示波器通过第一高压探头测量到的Blumlein传输线上高压信号的幅值即为待测非线性光导开关的耐压；在待测非线性光导开关工作在所需满足的技术指标条件下，让待测非线性光导开关持续工作，直至待测非线性光导开关无法正常工作为止，记录下待测非线性光导开关的工作次数，即为待测光导开关的寿命。
[0006]本发明采用的技术方案如下:
一种非线性光导开关测试装置，包括延时同步机、激光器、光电探头、高压探头、示波器、高压脉冲电源、Blumlein传输线、匹配负载、第一高压探头、第二高压探头、有机玻璃盒、有机玻璃底座、变压器绝缘油、限位夹具；
Blumlein传输线，包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上表面，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上；所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接并导通，第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极或者第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极用于当高压脉冲电源输出高压信号时，对Blumlein传输线进行充电；待Blumlein传输线充电完成后,激光器通过产生激光信号经过光纤传输后照射到待测非线性光导开关表面使得待测非线性光导开关导通时，在第一玻璃陶瓷平板传输线两个金属银电极之间产生一个电压脉冲，该电压脉冲沿着第一玻璃陶瓷平板传输线传播到匹配负载，即Blumlein传输线产生的电压脉冲；
待测非线性光导开关阳极与第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极连接，待测非线性光导开关阴极与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接；其中所述第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与高压脉冲电源接地端连接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与高压脉冲电源正极连接；待测非线性光导开关阴极通过第一固定螺钉固定在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极上；
延时同步机，用于分别先后给高压脉冲电源、激光器触发信号；触发高压脉冲电源输出高压信号，触发激光器产生激光信号；
匹配负载，用于接收Blumlein传输线产生的电压脉冲，并通过第二高压探头测试电压脉冲信号；所述匹配负载设置在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极和第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极之间；
光电探头，用于示波器探测激光器产生的脉冲激光照射到待测非线性光导开关表面时产生的反射光，并将该反射光信号转换为电信号传输至示波器，所述示波器获得脉冲激光照射到待测非线性光导开关表面的时刻其中，t为若光电探头探测激光器产生
V
激光信号到达示波器的时刻q为光电探头到示波器连接线长度，V为电磁波在导线中传播速度，为已知量；
示波器，用于通过第一高压探头探测Blumlein传输线充电电压信号、用于通过光电探头探测激光器产生激光信号以及用于通过第二高压探头探测匹配负载上的电压脉冲波形，可获得各个波形信号到达示波器的时刻和幅值；其中示波器通过第一高压探头探测Blumlein传输线充电电压波形，并将该波形信号传输至不波器，在不波器上获得Blumlein
传输线上高压脉冲电源输出高压信号电压值％ ;示波器通过第二高压探头探测在匹配负载上获得的电压脉冲，并将该电压脉冲信号传输至示波器，在示波器上获得匹配负载上输出电压值w，同时获得匹配负载上获得输出电压脉冲的时刻其中，f为电压脉冲
u&V
信号到达示波器的时刻，h为第二高压探头到示波器连接线长度；则待测非线性光导开关的导通延迟时间为其中，τ为第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃陶瓷平板传输线的电学时间长度，为已知量；待测非线性光导开关的抖动
【权利要求】
1.一种非线性光导开关测试装置，包括延时同步机、激光器、光电探头、高压探头、示波器、高压脉冲电源，其特征在于还包括Blumlein传输线、匹配负载、第一高压探头、第二高压探头、有机玻璃盒、有机玻璃底座、变压器绝缘油、限位夹具； Blumlein传输线，包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上表面，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上；所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接并导通，第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极或者第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极用于当高压脉冲电源输出高压信号时，对Blumlein传输线进行充电；待Blumlein传输线充电完成后,激光器通过产生激光信号经过光纤传输后照射到待测非线性光导开关表面使得待测非线性光导开关导通时，在第一玻璃陶瓷平板传输线两个金属银电极之间产生一个电压脉冲，该电压脉冲沿着第一玻璃陶瓷平板传输线传播到匹配负载，即Blumlein传输线产生的电压脉冲； 待测非线性光导开关阳极与第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极连接，待测非线性光导开关阴极与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接；其中所述第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与高压脉冲电源接地端连接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与高压脉冲电源正极连接；待测非线性光导开关阴极通过第一固定螺钉固定在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极上； 延时同步机，用于分别先后给高压脉冲电源、激光器触发信号；触发高压脉冲电源输出高压信号，触发激光器产生激光信号； 匹配负载，用于接收Blumlein传输线产生的电压脉冲，并通过第二高压探头测试电压脉冲信号；所述匹配负载设置在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极和第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极之间； 光电探头，用于示波器探测激光器产生的脉冲激光照射到待测非线性光导开关表面时产生的反射光，并将该反射光信号转换为电信号传输至示波器，所述示波器获得脉冲激光照射到待测非线性光导开关表面的时刻4?，其中，f为若光电探头探测激光器产生
V1I激光信号到达示波器的时刻i为光电探头到示波器连接线长度，V为电磁波在导线中传播速度，为已知量； 示波器，用于通过第一高压探头探测Blumlein传输线充电电压信号、用于通过光电探头探测激光器产生激光信号以及用于通过第二高压探头探测匹配负载上的电压脉冲波形，可获得各个波形信号到达示波器的时刻和幅值；其中示波器通过第一高压探头探测Blumlein传输线充电电压波形，并将该波形信号传输至不波器，在不波器上获得Blumlein传输线上高压脉冲电源输出高压信号电压值％ ;示波器通过第二高压探头探测在匹配负载上获得的电压脉冲，并将该电压脉冲信号传输至示波器，在示波器上获得匹配负载上输出电压值w，同时获得匹配负载上获得输出电压脉冲的时刻=?，其中，< 为电压脉冲
V信号到达示波器的时刻，h为第二高压探头到示波器连接线长度；则待测非线性光导开关的导通延迟时间为= 砧-τ,其中力第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃陶瓷平板传输线的电学时间长度，为已知量；待测非线性光导开关的抖动&’其中，为第次测量得到的待测非线性光导开关导通延迟时间，/为正整数；石为多次测
/ \量导通延迟时间得到的平均值；待测非线性光导开关的导通电阻为^-1 ^，其
At/中，为第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃陶瓷平板传输线的特征阻抗，为已知量；其中Blumlein传输线充电电压即为高压脉冲电源输出的高压信号； 有机玻璃盒中充满变压器绝缘油；所述待测非线性光导开关、Blumlein传输线、匹配负载置于有机玻璃盒内，并且浸没于变压器绝缘油中，其中所述Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述有机玻璃盒是上端开口的有机玻璃容器，有机玻璃底座底端放置于有有机玻璃盒底部。
2.一种非线性光导开关测试装置，包括高压脉冲电源、示波器，其特征在于还包括Blumlein传输线、第一高压探头、匹配负载、有机玻璃盒、变压器绝缘油，限位夹具； Blumlein传输线，包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上；所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接并导通，第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接； 待测非线性光导开关阳极与第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极连接，待测非线性光导开关阴极与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接；其中所述第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与高压脉冲电源接地端连接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与高压脉冲电源正极连接；待测非线性光导开关阴极通过第一固定螺钉固定在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极上； 高压脉冲电源逐渐提高输出的高压电压，直到待测非线性光导开关发生自击穿，在待测非线性光导开关发生自击穿前一时刻，示波器通过第一高压探头测量到的Blumlein传输线上高压信号的幅值即为待测非线性光导开关的耐压；在待测非线性光导开关工作在所需满足的技术指标条件下，让待测非线性光导开关持续工作，直至待测非线性光导开关无法正常工作为止，记录下待测非线性光导开关的工作次数，即为待测非线性光导开关的寿命; 有机玻璃盒中充满变压器绝缘油；所述待测非线性光导开关、Blumlein传输线、匹配负载置于有机玻璃盒内，并且浸没于变压器绝缘油中，其中所述Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述有机玻璃盒是上端开口的有机玻璃容器。
3.根据权利要求1或2所述的一种非线性光导开关测试装置，其特征在于所述Blumlein传输线包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接，所述待测非线性光导开关阴极卡接在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极一侧，第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接，所述匹配负载卡接在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极、第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极之间。
4.根据权利要求3所述的一种非线性光导开关测试装置，其特征在于所述有机玻璃底座和限位夹具的制作材料均为有机玻璃，所述限位夹具设置在Blumlein传输线两侧，限位夹具两侧通过第二螺钉、第三螺钉将Blumlein传输线固定于有机玻璃底座上，其中限位夹具使得第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极无缝隙邻接；所述待测非线性光导开关设置在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极一侧，所述待测非线性光导开关通过第一螺钉固定于限位夹具；与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接的匹配负载一端通过第四螺钉固定于限位夹具上。
5.根据权利要求3所述的一种非线性光导开关测试装置，其特征在于所述待测非线性光导开关分别通过银箔与第一玻璃陶瓷平板传输线、第二玻璃陶瓷平板传输线连接；匹配负载分别通过银箔与第一玻璃陶瓷平板传输线、第二玻璃陶瓷平板传输线连接；所述银箔的宽度与金属银电极宽度相同；所述第一螺钉、第二螺钉、第三螺钉、第四螺钉末端粗糙度K的最大值为3.2 μ m，Rs最大值为12.5 μ m ;所述高压脉冲电源与待测非线性光导开关的连接线，所述在近待测非线性光导开关一端的连接线采用锯齿状结构；所述匹配负载的阻抗与Blumlein传输线的阻抗匹配，即为第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃陶瓷平板传输线特征阻抗的2倍。
6.一种非线性光导开关测试方法，其特征在于包括: 步骤I =Blumlein传输线包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接并导通；第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接； 步骤2:将待测非线性光导开关阳极与第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极连接，待测非线性光导开关阴极与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接；其中所述第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与高压脉冲电源接地端连接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与高压脉冲电源正极连接；待测非线性光导开关阴极通过第一固定螺钉固定在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极上；有机玻璃盒中充满变压器绝缘油；所述待测非线性光导开关、Blumlein传输线、匹配负载置于有机玻璃盒内，并且浸没于变压器绝缘油中，其中所述Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述有机玻璃盒是上端开口的有机玻璃容器；有机玻璃底座底端放置于有机玻璃和底部； 步骤3:通过延时同步机分别先后给高压脉冲电源、激光器触发信号；并触发高压脉冲电源输出高压信号，触发激光器产生激光信号； 步骤:4:当高压脉冲电源输出高压信号，对Blumlein传输线进行充电，示波器通过第一高压探头探测Blumlein传输线充电电压,在示波器上获得Blumlein传输线充电电压值uI ;Blumlein传输线充电电压即为高压脉冲电源输出的高压信号； 步骤5:待高压脉冲电压输出的高压信号给待测非线性光导开关充电完成后，激光器产生激光信号经光纤传输后照射到待测非线性光导开关表面，用光电探头探测激光信号照射到待测非线性光导开关表面时产生的反射光，并将该反射光信号转换为电信号传输至示波器，通过示波器获得激光信号照射到待测非线性光导开关表面的时刻4S =4-1,其中，
V4为光电探头测得的激光信号到达示波器的时刻，为光电探头到示波器连接线长度，V为电磁波在导线中传播速度，为已知量； 步骤6:激光信号使得待测非线性光导开关导通时，在第一玻璃陶瓷平板传输线两个金属银电极之间产生一个电压脉冲，该电压脉冲沿着第一玻璃陶瓷平板传输线传播到匹配负载，然后示波器通过第二高压探头探测到匹配负载上获得的电压脉冲，示波器通过获得电压脉冲信号传输到匹配负载的时刻,其中，f为该电压脉冲信号到达不波器
V的时刻，h为第二高压探头到示波器连接线长度；同时在示波器上获得匹配负载上输出电压值U。；则待测非线性光导开关的导通延迟时间为其中，τ为第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃 陶瓷平板传输线的电学时间长度，为已知量；待测非线性光导开关的抖动&
，其中，为第卩欠测量得到的待测非线性光导开关导通延迟时间，:为正整数，M为多次测量导通延迟时间^得到的平均值；待测非线性光导开关的
导通电阻为.
，其中，为第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃陶瓷平板传 输线的特征阻抗，为已知量。
7.一种非线性光导开关测试方法，其特征在于包括: 步骤I =Blumlein传输线包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接并导通；第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接； 步骤2:将待测非线性光导开关阳极与第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极连接，待测非线性光导开关阴极与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接；其中所述第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与高压脉冲电源接地端连接；第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与高压脉冲电源正极连接；待测非线性光导开关阴极通过第一固定螺钉固定在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极上；有机玻璃盒中充满变压器绝缘油；所述待测非线性光导开关、Blumlein传输线、匹配负载置于有机玻璃盒内，并且浸没于变压器绝缘油中，其中所述Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述有机玻璃盒是上端开口的有机玻璃容器； 步骤3:高压脉冲电源逐渐提高输出的高压电压，直到待测非线性光导开关发生自击穿，在待测非线性光导开关发生自击穿前一时刻，示波器通过第一高压探头测量到的Blumlein传输线上高压信号的幅值即为待测非线性光导开关的耐压；在待测非线性光导开关工作在所需满足的技术指标条件下，让待测非线性光导开关持续工作，直至待测非线性光导开关无法正常工作为止，记录下待测非线性光导开关的工作次数，即为待测非线性光导开关的寿命；其中Blumlein传输线充电电压即为高压脉冲电源输出的高压信号。
8.根据权利要求7或8所述的一种非线性光导开关测试方法，其特征在于所述Blumlein传输线包括第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线，所述第一玻璃陶瓷平板传输线及第二玻璃陶瓷平板传输线上下重叠置于有机玻璃底座上，Blumlein传输线通过限位夹具固定于有机玻璃底座上，所述第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极邻接，所述待测非线性光导开关阴极卡接在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极一侧，第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极与有机玻璃底座邻接，所述匹配负载卡接在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极、第二玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极之间。
9.根据权利要求8所述的一种非线性光导开关测试方法，其特征在于有机玻璃底座和限位夹具的制作材料均为有机玻璃，所述限位夹具设置在Blumlein传输线两侧，限位夹具两侧通过第二螺钉、第三螺钉将Blumlein传输线固定于有机玻璃底座上，其中限位夹具使得第一玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极与第二玻璃陶瓷平板传输线一端面金属银电极无缝隙邻接；所述待测非线性光导开关设置在第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极一侧，所述待测非线性光导开关通过第一螺钉固定于限位夹具；与第一玻璃陶瓷平板传输线另一端面金属银电极连接的匹配负载一端通过第四螺钉固定于限位夹具上。
10.根据权利要求8所述的一种非线性光导开关测试方法，其特征在于所述待测非线性光导开关分别通过银箔与第一玻璃陶瓷平板传输线、第二玻璃陶瓷平板传输线连接；匹配负载分别通过银箔与第一玻璃陶瓷平板传输线、第二玻璃陶瓷平板传输线连接；所述银箔的宽度与金属银电极宽度相同；所述第一螺钉、第二螺钉、第三螺钉、第四螺钉末端粗糙度柔的最大值为3.2 μ m，矣最大值为12.5μπι;所述高压脉冲电源与待测非线性光导开关的连接线，所述在近待测非线性光导开关一端的连接线采用锯齿状结构；所述匹配负载的阻抗与Blumlein传输线的阻抗匹配，即为第一玻璃陶瓷平板传输线或第二玻璃陶瓷平板传输线特征阻抗的2倍。
【文档编号】G01R31/327GK104166091SQ201410430777
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年8月28日 优先权日:2014年8月28日
【发明者】王卫, 夏连胜, 谌怡, 刘毅, 张篁 申请人:中国工程物理研究院流体物理研究所