样品座的制作方法
【专利摘要】一种样品座，涉及平面TEM样品制备的领域，其中，样品座包括底板和呈面向设置在底板上两侧的第一侧板和第二侧板，第一侧板与底板铰接，第二侧板固定设置于底板上，当第一侧板的侧边面朝第二侧板的侧边时，第一侧板和第二侧板之间构成第一容置槽，第一侧板的顶部设置有第二容置槽，第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的样品并通过螺栓进行固定。通过此样品座来改善样品表面的电荷累计情况，即防止在制备平面样品时，样品发生漂移的状况，同时，折叠小样品槽的设计极大程度上的保护了样品不受污染，这样既提高了制样的效率，又节省了资源，同时又能保证在制备样品过程中，FIB机台腔体不受污染。
【专利说明】样品座
【技术领域】
[0001]本发明涉及平面TEM样品制备领域，尤其涉及一种样品座。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的不断发展和进步，对于器件研发的尺寸也越来越小，因而也提高了对样品结构、材料等分析的能力，而对于FIB (Focused 1n Beam,聚焦离子束)制备平面样品的要求也越来越高，其中如何防止平面TEM(Transmiss1n Electron Microscopy,透射电子显微镜)样品在制备过程中的表面电荷累计情况已然成了一个难题。
[0003]目前传统的固定平面TEM样品的方法时利用碳导电胶或铜导电胶带粘样品靠近成像区域，并与金属底座导通，但是此方法对于减少样品表面的电荷累积情况不是很显著。若样品导电性不良，探测器或捕获不到电子成像或捕获到的电子携带的信息不准确而影响成像质量，通常表现为图像发黑或图像流动；同时，由于碳导电胶属于有机物，放置于机台腔体中会产生脱气现象，故这种固定方法甚至可能对机台的腔体造成污染，这样大大降低了制备此类TEM样品的质量和效率。
[0004]中国专利(CN103743609A)记载了一种用于制备平面TEM样品的样品座，包括:样品座本体，为导电性材质制备，并进一步包括底板和呈面向设置在所述底板上的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板之间形成用于收容所述平面TEM样品的容置槽，锁固孔，间隔设置在所述样品座本体之第一侧板和第二侧板上，锁固件，穿设在所述锁固孔内。
[0005]中国专利(CN103645083A)记载了一种TEM样品再制备的方法，所述方法包括:将一表面设置有若干TEM样品的第一金属网底部腾空架置于一样品座上；于所述TEM样品中找到需要进行再制样品的特殊样品；将所述样品转移至一第二金属网上，对所述特殊样品进行减薄，形成精加工样品，对所述精加工样品进行TEM观测。
[0006]上述两个专利均未记载有关折叠小样品槽的技术特征。
【发明内容】
[0007]鉴于上述问题，本发明提供一种样品座。
[0008]—种样品座，其中，所述样品座包括底板和呈面向设置在所述底板上两侧的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板与所述底板铰接，所述第二侧板固定设置于所述底板上；
[0009]当所述第一侧板的侧面面朝所述第二侧板的侧面时，所述第一侧板和所述第二侧板之间构成第一容置槽，所述第一侧板的顶部设置有第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的样品并通过螺栓进行固定。
[0010]上述的样品座,其中,所述底板与第一侧板、第二侧板均为金属材质。
[0011]上述的样品座，其中，所述第一侧板中设置有若干螺孔，至少一个螺纹孔贯穿所述第一侧板的外侧面至第二容置槽，至少一个螺纹孔贯穿所述第一侧板的外侧面和内侧面，且该所述第一侧板的底面设置有至少一个螺孔。
[0012]上述的样品座，其中，所述底板设置有至少一个螺孔，且底板中的螺孔对准所述第一侧板底部的螺孔，并通过插入螺栓以将第一侧板进行固定。
[0013]上述的样品座，其中，所述底板的底面还固定设置有一固定杆。
[0014]上述的样品座，其中，所述固定杆的材质与所述底板的材质相同。
[0015]上述的样品座，其中，当所述第一侧板和所述第二侧板之间构成第一容置槽时，所述第一侧板的顶部与所述第二侧板的顶部齐平。
[0016]上述的样品座，其中，所述第二容置槽用于放置比所述第一容置槽放置样品尺寸小的样品。
[0017]上述的样品座，其中，所述第一侧板通过合页铰接在所述底板上。
[0018]综上所述，本发明用于制备平面TEM样品的样品座通过在样品座的容置槽内设置平面TEM样品，并通过穿设在螺孔内的螺栓固定平面TEM样品，使得平面TEM样品与样品座接触，有效避免在平面TEM样品上形成平面电荷累积，防止平面TEM样品在制备过程中发生漂移，且一折叠小样品槽的设计极大程度上的保护了样品不受污染，从而改善样品制备的质量和效率，又节省了资源，同时又能保证在制备样品的过程中，FIB机台腔体不受污染。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。
[0020]图1是样品座结构不意图；
[0021]图2是样品座斜45°仰视图；
[0022]图3是样品座翻折后斜45°仰视图；
[0023]图4是样品座翻折后侧视图。
【具体实施方式】
[0024]下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。
[0025]如图1-图4所不,一种用于制备平面透射电镜样品的多功能样品座,其中，该样品座包括样品座本体，该样品座本体为导电材质制备的，因为传统的固定平面透射电镜样品的方法时利用碳导电胶或铜导电胶带粘样品靠近成像区域，并与金属底座导通，但是此方法对于减少样品表面的电荷累计情况不是很显著，所以，若样品导电性不良，探测器会捕获不到电子成像或捕获到的电子携带的信息不准确而影响成像质量，所以本申请中的导电材质为金属材料，这样将样品固定于样品座上，样品与由导电材质制备的样品座电性接触，避免在样品上形成表面电荷累计，防止样品在制备过程中发生漂移，从而改善样品制备的质量和效率，优选的金属材料为铜等其他金属材料。
[0026]该样品座本体包括底板6和呈面向设置在底板上的第一侧板I和第二侧板2，这样在第一侧板I侧面8和第二侧板2侧面之间形成用于收容样品的第一容置槽3，当形成第一容置槽3时，第一侧板I的顶部与第二侧板2的顶部齐平，该第一侧板I与底板6通过合页铰接，这样在放置尺寸较大样品时，翻折开第一侧板I，样品直接放置于底板6上，避免了与侧板的接触，防止了样品粘污。该样品座的第二侧板2与底板6固定连接，在第一侧板I上间隔设置有若干螺孔5，这些螺孔5贯穿第一侧板I的外侧面和内侧面，在第一侧板I的上表面还设置一收容样品的第二容置槽4，该第二容置槽4用于收容较小尺寸的样品。
[0027]在样品座底板6上还设置一螺孔并贯穿第一侧板1，这样通过螺栓就可以将第一侧板I固定于底板6上了，然后用螺栓通过设置在第一侧板I上的螺孔将样品固定于上述的容置槽内，在底板的下表面还设置一固定杆7，用于把持该样品座，该固定杆7的材质与样品座的底板6材质相同。
[0028]在设计该样品座时,样品座的底板长度设置为30mm,宽度设置为9mm,高度设置为7mm，设置在底板上，且呈面向设置的第一侧板和第二侧板之间形成用于收容样品的第一容置槽的深度为5mm,宽度为2mm,设置在第一侧板上表面的第二容置槽的深度为4mm,宽度为2mm,长度为6mm,该第二容置槽距第一侧板的内侧边和外侧边分别为Imm,距离该第一侧板的一侧端为4mm，底边至凹槽的高度为2mm，设置在第一侧板和底板上的螺孔的孔径为
2.52mm,用于固定样品的螺栓直径为2.1mm,位于第一侧板上的螺孔距离第一侧板上表面为
0.21mm,设置于底板下表面的规定干长度为7mm,直径为3_。
[0029]本发明用于制备平面TEM样品的多功能样品座在通过样品座的容置槽内设置平面TEM样品，并通过穿设在螺孔内的螺栓固定平面TEM样品，使得平面TEM样品与样品座电性接触，且第一侧板与底板铰接，防止样品与侧板侧面接触造成污染，于第一侧板上设置一可放置较小样品的容置槽，放置较小尺寸的样品，，这样不仅有效避免在平面TEM样品上形成表面电荷累积，防止平面TEM样品在制备过程中发生漂移，从而改善样品制备的质量和效率，而且克服了因碳导电胶或铜导电胶带脱气对FIB机台腔体造成的污染。
[0030]通过说明和附图，给出了【具体实施方式】的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
[0031]对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
【权利要求】
1.一种样品座，其特征在于，所述样品座包括底板和呈面向设置在所述底板上两侧的第一侧板和第二侧板，所述第一侧板与所述底板铰接，所述第二侧板固定设置于所述底板上； 当所述第一侧板的侧面面朝所述第二侧板的侧面时，所述第一侧板和所述第二侧板之间构成第一容置槽，所述第一侧板的顶部设置有第二容置槽，所述第一容置槽和第二容置槽用于放置不同尺寸的样品并通过螺栓进行固定。
2.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述底板与第一侧板、第二侧板均为金属材质。
3.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述第一侧板中设置有若干螺孔，至少一个螺纹孔贯穿所述第一侧板的外侧面至第二容置槽，至少一个螺纹孔贯穿所述第一侧板的外侧面和内侧面，且该所述第一侧板的底面设置有至少一个螺孔。
4.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述底板设置有至少一个螺孔，且底板中的螺孔对准所述第一侧板底部的螺孔，并通过插入螺栓以将第一侧板进行固定。
5.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述底板的底面还固定设置有一固定杆。
6.根据权利要求5所述的样品座，其特征在于，所述固定杆的材质与所述底板的材质相同。
7.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，当所述第一侧板和所述第二侧板之间构成第一容置槽时，所述第一侧板的顶部与所述第二侧板的顶部齐平。
8.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述第二容置槽用于放置比所述第一容置槽放置样品尺寸小的样品。
9.根据权利要求1所述的样品座，其特征在于，所述第一侧板通过合页铰接在所述底板上。
【文档编号】G01N1/28GK104198245SQ201410440457
【公开日】2014年12月10日 申请日期:2014年9月1日 优先权日:2014年9月1日
【发明者】孙蓓瑶, 陈强 申请人:上海华力微电子有限公司