技术总结
本发明公开了一种VPD用金属回收液及其配制方法。该金属回收液中按质量百分比计的成分配比为：盐酸0.4％、双氧水3.5％-5％、余量的纯水。其配制方法是：选择原料盐酸、双氧水和纯水，按照配比配制，回收液配制完成后要用ICP-MS进行金属含量测试，标准是低于ICP-MS的检测极限。本发明的金属回收液对金属的回收主要通过HCl和H2O2与硅片的化学反应来实现，HCL可以通过络合反应将硅片表面的金属直接吸收到溶液中，同时H2O2会将硅片表面产生轻微的氧化，氧化层中的金属也被HCL收集到溶液中，相当于将硅片近表层的金属同时收集，提高了测试的可信度。
技术研发人员：李宗峰;赵而敬;冯泉林;李青保;盛方毓;王永涛;葛钟;库黎明;张建;鲁进军
受保护的技术使用者：有研半导体材料有限公司
文档号码：201510882760
技术研发日：2015.12.03
技术公布日：2017.06.13