技术总结
本发明涉及一种辉光放电测谱法系统，该辉光放电测谱法系统包括辉光放电灯，辉光放电灯适于接纳固体样本(10)并且形成辉光放电蚀刻等离子体(19)。根据本发明，一种用于原位测量通过蚀刻样本(10)而产生的腐蚀凹口的深度的系统(100)包括：光学分离器(3)；光学装置(4)，其适于分别地将第一入射束(21)向着所述样本的第一区域(11)引导，所述第一区域暴露于所述蚀刻等离子体，并且将第二入射束(22)向着所述样本同一侧的第二区域(12)引导，所述第二区域免受蚀刻等离子体影响；以及光学重组装置(3)，其适于形成干涉测量束(30)，以确定腐蚀凹口的深度(d)。
技术研发人员：S·理查德;J-P·加斯顿;O·阿克;P·沙蓬
受保护的技术使用者：堀场乔宾伊冯公司
文档号码：201580034089
技术研发日：2015.04.28
技术公布日：2017.05.10