用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器及其制造方法与流程

文档序号:11634408阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于测量气体混合物中的二氧化碳浓度的传感器。该传感器具有介电层(3),所述介电层被布置在层状第一电极(2)与层状第二电极(4)之间。第二电极(4)是复合电极,所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐以及作为复合电极的第二材料的至少一种金属。该传感器可以借助于如下方法来制造,该方法包括:将层状第一电极(2)施加到衬底上(1);将介电层(3)施加到第一电极(2)上;以及将层状第二电极(4)施加到介电层(3)上。在此情况下,第二电极(4)作为复合电极被施加,所述复合电极具有作为复合电极的第一材料的至少一种碳酸盐和/或磷酸盐,并且具有复合电极的至少一种第二材料,所述第二材料具有大于10‑2 S/m的电导率。

技术研发人员:M.维登迈尔;R.菲克斯;M.施赖福格尔
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
技术研发日:2015.10.26
技术公布日:2017.08.01
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