电极型电场传感器封装元件及其用途的制作方法

文档序号:11861405阅读:来源:国知局
技术总结
一种电极型电场传感器封装元件,包括封装管壳;电场传感器芯片,固定于所述封装管壳内;封装盖,覆盖所述管壳开口,形成内腔以容纳所述电场传感器芯片;以及封装电极,位于封装盖背离内腔的一侧,根据与封装盖由近及远的关系封装电极分为首端、中段和尾端。以及一种该电极型电场传感器封装元件的应用。通过多种封装电极设计,提升了电场传感器的空间分辨率,提高了传感器的灵敏度,增强了传感器的环境适应性。

技术研发人员:闻小龙;夏善红
受保护的技术使用者:中国科学院电子学研究所
文档号码:201610409446
技术研发日:2016.06.12
技术公布日:2016.11.16

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