硅片少子寿命测试仪用定位装置的制作方法

本发明涉及一种定位装置，尤其涉及一种硅片少子寿命测试仪用定位装置。

背景技术：

硅片少子寿命测试仪是一种用于测量硅片少子寿命的仪器，现有市场上采用的硅片少子寿命测试仪，其在测试过程中，一旦硅片摆放存在倾斜度，易造成边缘处测量失败，由此，急需解决。

技术实现要素：

本发明的目的在于针对上述问题，提供一种硅片少子寿命测试仪用定位装置，以解决现有硅片少子寿命测试仪在测试过程中，硅片摆放倾斜会出现测试失败的问题。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种硅片少子寿命测试仪用定位装置，包括底托盘，所述底托盘的一侧设置有定位挡板，所述定位挡板包括安装部及定位部，所述定位部设置于安装部的上端，且定位部上设置有缓冲垫。

作为本发明的一种优选方案，所述定位部为L形结构，其由水平布置的横段及竖直布置的竖段构成，所述竖段设置于横段的上端，所述横段与安装部的上端相连，且横段与底托盘之间设置有间隙。

作为本发明的一种优选方案，所述缓冲垫由橡胶或塑料材料制成。

作为本发明的一种优选方案，所述安装部上开有安装孔，并通过螺栓紧固于底托盘上。

作为本发明的一种优选方案，所述安装部、定位部为一体结构。

本发明的有益效果为，所述硅片少子寿命测试仪用定位装置通过采用定位挡板实现硅片的定位，可保证硅片摆放不会出现倾斜，避免测试失败，且在定位部上设置缓冲垫，可有效避免硅片和定位部直接碰撞造成破碎，结构简单、易于实现。

附图说明

图1为本发明硅片少子寿命测试仪用定位装置的主视图；

图2为本发明硅片少子寿命测试仪用定位装置的侧视图。

图中:

1、底托盘；2、安装部；3、定位部；31、横段；32、竖段；4、缓冲垫。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。

请参照图1及图2所示，图1为本发明硅片少子寿命测试仪用定位装置的主视图；图2为本发明硅片少子寿命测试仪用定位装置的侧视图。

于本实施例中，一种硅片少子寿命测试仪用定位装置，包括底托盘1，所述底托盘1的一侧设置有定位挡板，所述定位挡板包括安装部2及定位部3，所述安装部2、定位部3为一体结构，且安装部2上开有安装孔，并通过螺栓紧固于底托盘1上，所述定位部3为L形结构，其由水平布置的横段31及竖直布置的竖段32构成，所述竖段32设置于横段31的上端，所述横段31与安装部2的上端相连，且横段31与底托盘1之间设置有间隙，所述竖段32上安装有缓冲垫4，所述缓冲垫4由橡胶材料制成。

值得一提的是，虽然本实施例中，缓冲垫4由橡胶制成，但是本发明不限于此，缓冲垫4亦可采用塑料材料制成，只要能起到防止硅片损坏的作用即可。

上述硅片少子寿命测试仪用定位装置通过采用定位挡板实现硅片的定位，可保证硅片摆放不会出现倾斜，避免测试失败，且在定位部3上设置缓冲垫4，可有效避免硅片和定位部3直接碰撞造成破碎，此外，横段31与底托盘1之间设置的间隙便于清理硅渣和灰尘，结构简单、易于实现。

以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施例限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书界定。