硅片少子寿命测试仪用定位装置的制作方法

文档序号:11861682阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片少子寿命测试仪用定位装置,其特征在于:包括底托盘,所述底托盘的一侧设置有定位挡板,所述定位挡板包括安装部及定位部,所述定位部设置于安装部的上端,且定位部上设置有缓冲垫。

2.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试仪用定位装置,其特征在于:所述定位部为L形结构,其由水平布置的横段及竖直布置的竖段构成,所述竖段设置于横段的上端,所述横段与安装部的上端相连,且横段与底托盘之间设置有间隙。

3.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试仪用定位装置,其特征在于:所述缓冲垫由橡胶或塑料材料制成。

4.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试仪用定位装置,其特征在于:所述安装部上开有安装孔,并通过螺栓紧固于底托盘上。

5.根据权利要求1所述的硅片少子寿命测试仪用定位装置,其特征在于:所述安装部、定位部为一体结构。

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