一种正四面体式三维力柔性触觉传感器阵列的制作方法

技术特征：

1.一种正四面体式三维力柔性触觉传感器阵列，包括呈阵列排布在柔性基体内的若干结构相同的三维力柔性触觉传感单元，其特征在于：所述三维力柔性触觉传感单元均为由具有压阻效应的柔性导电橡胶制备而成的正四面体结构；所有正四面体结构的上端面均位于同一平面内，且满足当以某正四面体结构的三个下侧面的交点为原点O建立该四面体结构的三维直角坐标系时，该四面体结构的上端面的其中一条边平行于Y轴，另外两条边的交点投影落在X轴正向上；所述正四面体结构的上端面分别与三个下侧面等效构成三个电阻，所述下侧面的中心均设有用于输出相应电阻信号的电触点。

2.根据权利要求1所述的正四面体式三维力柔性触觉传感器阵列，其特征在于：所述正四面体结构的边长为7～11mm，处于同一行或同一列的两相邻正四面体结构的中心距离为14～18mm。

3.根据权利要求1所述的正四面体式三维力柔性触觉传感器阵列，其特征在于：所述三维力柔性触觉传感单元的三维力，通过以下公式解析获得：

$F_x=\frac{1}{2}{F}_1+\frac{1}{2}{F}_2+\frac{2\sqrt{3}}{3}{F}_3$

$F_y=\frac{\sqrt{3}}{2}{F}_1-\frac{\sqrt{3}}{2}{F}_2$

$F_z=\frac{1}{3}{F}_1+\frac{1}{3}{F}_2+\frac{1}{3}{F}_2$

其中，F_x、F_y和F_z分别表示三维力柔性触觉传感单元在X、Y和Z方向上所受的作用力；F₁表示其投影落在XOY平面第三和第四象限的下侧面所受的压力，F₂表示其投影落在XOY平面第一和第二象限的下侧面所受的压力，F₃表示其投影落在XOY平面第二和第三象限的下侧面所受的压力；F₁、F₂和F₃根据三维力柔性触觉传感单元的力敏状态方程F_i＝f(R_i)，i＝1，2，3获得，R_i，i＝1，2，3分别表示相应下侧面的电阻。