一种中红外石墨烯等离子激元生化传感器的制作方法

文档序号:17064189发布日期:2019-03-08 18:45阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种中红外石墨烯等离子激元生化传感器,包括中红外的宽谱光源、第一中红外透镜、石墨烯等离子激元传感单元和第二中红外透镜;石墨烯等离子激元传感单元包括掺杂硅衬底、第一、第二光栅耦合区、传感区以及覆盖在第一、第二光栅耦合区和传感区上方的石墨烯层;宽谱光源发出的中红外光波通过第一中红外透镜聚焦在第一光栅耦合区与石墨烯等离子激元耦合,产生的中红外石墨烯等离子激元通过石墨烯层至传感区,与其上生物样本反复反应后经由石墨烯层至第二光栅耦合区,散射到远场;由第二中红外透镜聚焦到傅里叶红外光谱仪中进行光谱测量分析。本发明中红外石墨烯等离子激元在传感区与生物样本反复反应,提高生物分子检测的灵敏度。

技术研发人员:陶金;刘子晨;邱英;杨奇
受保护的技术使用者:武汉邮电科学研究院
技术研发日:2016.12.05
技术公布日:2019.03.08

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