技术总结
基于实时监测运动误差的光学元件高精度测量装置，属于光学精密测量领域，为解决现有运动误差监测手段不能满足对大口径光学元件轮廓检测精度需求的问题。本发明X向激光干涉仪用于监测Y向导轨运动的实时位移、Y向导轨运动过程中X向的直线度误差和Y向导轨运动过程中X向的角度偏摆；Y向双路激光干涉仪用于监测X向导轨的实时位移、X向导轨运动过程中Y向的直线度误差和X向导轨运动过程中Y向的角度偏摆；Z向共焦测头激光干涉仪用于监测Z向共焦测头运动过程中的实时位移；激光共焦测头Z向的角度偏摆通过双路电容传感器实时测量的X向位移差来获得，电容传感器用于实时测量激光共焦测头的X向直线度误差。本发明用于对光学元件的检测。
技术研发人员：刘俭;谭久彬;谷康;牛斌
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
文档号码：201611251406
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.05.31