接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置的制作方法

本专利涉及光学加工和检测领域，具体涉及一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置，它尤其适合于大口径反射镜检测。

背景技术：

空间大口径反射镜轻量化后比刚度增加，但整体刚性有所降低，容易在外力作用下产生变形。由于空间应用要求反射镜的精度具有很好的天地一致性，这就要求在地面加工和检测反射镜时必须对反射镜的支撑力进行精确的控制，使得镜子在重力和支撑力作用下变形尽可能的小，以降低这种变形误差对反射镜面形检测的影响。

目前，带有背部盲孔的大口径空间反射镜在加工和检测时，大多采用在背部盲孔内粘接铟钢元件，然后通过柔性支撑元件转接到安装支架上，由于通过机械装配和调整来实现对反射镜的支撑力和接触状态的控制，无法具体了解支撑装置对反射镜的实际作用力及其分布状态，也很难精确控制接触力的大小，难于满足大口径空间反射镜高精度天地一致性检测的需要。

技术实现要素：

本专利要解决的技术问题是：提供一种接触力能在线检测及控制的浮动支撑装置，该装置的力重复性高，为实现空间大口径反射镜的高精度天地一致性检测提供硬件支撑。

为解决上述技术问题，本发明提供的接触力可控型大口径反射镜检测浮动支撑装置，装置包括橡胶垫1、面力传感器2、浮动头3、顶杆4、平衡杠杆5、芯轴6、轴承座7、销轴8、轴承9、支撑杆10、气缸座11、小轴12、接头13、气缸安装板14、气缸15，其中：

在所述的浮动头3与橡胶垫1之间粘接有面力传感器2，浮动头3通过球型铰链连接在顶杆4上，平衡杠杆5一端与顶杆4相连，另一端通过小轴12与接头13相连，接头13固定在气缸15的活塞杆上；轴承9外圈固定在轴承座7上，芯轴6与轴承9内圈相连；平衡杠杆5与销轴8相连，可绕销轴8转动，销轴8固定在芯轴6上，平衡杠杆5和气缸15可随芯轴6在轴承座7内转动；气缸15固定在气缸安装板14上,气缸安装板14与气缸座11相连，气缸座11与支撑杆10相连，支撑杆10与芯轴6一端相连。

所述的气缸15为低摩擦气缸，气缸配备有精密电气比例阀。

本专利的优点在于：在橡胶垫和浮动头之间的面力传感器，可检测浮动支撑对反射镜的接触力大小及分布。精确控制气缸气压大小可控制支撑力大小，力重复性高。平衡杠杆及气缸随芯轴通过轴承安装固定在轴承座上，可在轴承座内自由转动，由于重力作用，顶杆会自动保持在竖直向上的方向，方便提供竖直向上的支撑力。

附图说明

图1本专利剖视图；

附图标记说明：

1-橡胶垫 2-面力传感器 3-浮动头 4-顶杆 5-平衡杠杆 6-芯轴 7-轴承座 8-销轴 9-轴承 10-支撑杆 11-气缸座 12 小轴 13-接头 14-气缸安装板 15-气缸

图2本专利正等轴测图。

具体实施方式

如图1所示，本专利主要包括：橡胶垫1、面力传感器2、浮动头3、顶杆4、平衡杠杆5、芯轴6、轴承座7、销轴8、轴承9、支撑杆10、气缸座11、小轴12、接头13、气缸安装板14、气缸15。

在浮动头3与橡胶垫1之间粘接有面力传感器2。

轴承9外圈固定在轴承座7上，芯轴6与轴承9内圈相连。

气缸15固定在气缸安装板14上,气缸安装板14与气缸座11相连，气缸座11通过支撑杆10与芯轴6一端相连。

浮动头3通过球型铰链连接在顶杆4上，平衡杠杆5一端与顶杆4相连，另一端通过小轴12与接头13相连，接头13安装在气缸15的活塞杆上。

平衡杠杆5与销轴8相连，可绕销轴8转动，销轴8固定在芯轴6上。