一种感知玻璃基板位置偏离的装置的制作方法

本实用新型涉及激光晶化领域，尤其涉及一种感知玻璃基板位置偏离的装置。

背景技术：

现有技术中，激光晶化装置中的机械臂的作用，一般包括：将与载台上表面的形状与尺寸相同的玻璃基板放置在所述载台上表面上，使得所述玻璃基板与所述载台上表面贴合在一起，且所述玻璃基板的各边缘刚好与所述载台的各边缘分别对齐。对齐后，玻璃基板与激光晶化装置中的定位销的位置关系可参见图1a与图1b。

其中，图1a为玻璃基板1的各边缘刚好与载台的各边缘分别对齐时的俯视图，图1b为沿着图1a中的虚线a-a的剖面图。图1a和图1b中的附图标记2所指代的结构，是设置在载台边缘的定位销。

在实际场景中，所述机械臂在放置所述玻璃基板时，有可能会使得所述玻璃基板的实际放置位置相对于期望的放置位置发生偏移。比如，比较常见的发生所述偏移的情况，是所述机械臂将玻璃基板放置在载台边缘外侧的定位销上面，使得玻璃基板与载台上表面不能贴合在一起。此时，玻璃基板、定位销与载台的位置关系可参加图1c和图1d。图1c为玻璃基板1放置在载台3边缘外侧的定位销2上时的俯视图，图1d为沿着1c中的虚线a-a的剖面图。

由于载台3表面存在真空吸附作用力，可以向下吸附玻璃基板1，这就导致当玻璃基板1的安放位置相对于期望的放置位置发生偏移时，玻璃基板1容易在所述真空吸附作用力的作用下，发生弯曲或破裂等现象。

为避免上述问题，需要感知玻璃基板1的安放位置是否相对于期望的放置位置发生偏移。但如何感知玻璃基板1的安放位置是否相对于期望的放置位置发生偏移，现有技术还没有提出解决方案。

技术实现要素：

本实用新型实施例提供一种感知玻璃基板位置偏离的装置，用以解决现有技术中激光晶化装置中的玻璃基板放置位置偏离预期放置位置的问题。

本实用新型实施例采用下述技术方案：

一种感知玻璃基板位置偏离的装置，所述装置包括至少一个偏离感知结构；

所述偏离感知结构，包括能够沿垂直于用于放置玻璃基板的载台表面的方向上下移动的定位销，以及位于所述定位销两侧的光源发射器和光源感知器；

其中，所述定位销在未受到外力作用时，所述定位销遮挡所述光源发射器向所述光源感知器发出的光，使得所述光源感知器不能感知到所述光源发射器向所述光源感知器发出的光；所述定位销在受到外力作用时，所述定位销不遮挡所述光源发射器向所述光源感知器发出的光，使得所述光源感知器能够感知到所述光源发射器向所述光源感知器发出的光。

优选的，所述定位销位于用于放置玻璃基板的载台的外边缘外侧，且所述定位销的朝向所述外边缘外侧的一侧，与所述外边缘外侧贴合；

所述定位销在所述外边缘外侧所处的位置，位于所述光源发射器与所述光源感知器中间，且分别与所述光源发射器与所述光源感知器之间存在空隙；

所述定位销的上表面高于所述载台的上表面。

优选的，所述定位销包括锲形体和可活动部件：

所述锲形体的斜面朝向所述载台的上方；

所述可活动部件与所述锲形体下表面相连接；

其中，在所述定位销受到向下的外力作用时，所述可活动部件能够带动所述锲形体沿垂直于所述载台表面的方向向下移动；在所述外力消失时，所述可活动部件能够带动所述定位销沿垂直于所述载台表面的方向向上移动。

优选的，所述可活动部件为弹簧。

优选的，所述光源发射器与光源感知器位于所述载台的外边缘的外侧；

优选的，所述光源发射器包含的光源发射口朝向所述定位销；

优选的，所述光源感知器包含的光源感知口朝向所述定位销；

优选的，所述光源发射器包含的光源发射口发出的光线为水平光线。

优选的，所述载台：

横截面的形状为矩形；

包含上下相通的通道。

优选的，所述通道：

横截面的形状为矩形；

个数为二十个；

沿着所述载台横截面中的与任意一条边平行的四条平行线上；靠近所述载台横截面中心点的两条平行线上分别平均分布着四个所述通道，远离所述载台横截面中心点的两条平行线上分别平均分布着六个所述通道；其中，所述四条平行线为所述载台横截面的五等分线。

优选的，所述偏离感知结构的个数为8个，两两分布在所述载台上表面的四条边的外边缘的外侧，且所述载台每一条边的外边缘外侧分布的两个偏离感知结构均匀分布在所述载台每一条的中心点的两侧。

优选的，所述装置还包括载物销：

所述载物销能够在所述通道中上下移动；

所述载物销的顶端为球体，且所述球体能够沿任意方向转动；

在所述定位销不遮挡所述光源发射器向所述光源感知器发出的光时，所述载物销位于所述通道中，且所述载物销的上表面不高于所述载台上表面；在所述定位销遮挡所述光源发射器向所述光源感知器发出的光时，所述载物销在所述通道中向上移动至所述载物销的上表面与所述玻璃基板的下表面接触的位置，所述球体转动能够带动所述玻璃基板移动，使得所述玻璃基板发生水平位移。

优选的，所述载物销的下端为长方体。

本实用新型申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：

当所述玻璃基板放置位置偏离预期放置位置时，即所述玻璃基板放置在所述定位销上面时，由于所述定位销下端的弹性装置，使得定位销向下移动，此时，所述光源感知器能够感知到光源发射器发出的光源。所述光源感知器能够感知到光源发射器发出的光源，表明所述玻璃基板放置位置偏离了预期放置位置。

另外，所述载物销顶端的球体能够转动，进而带动所述玻璃基板在水平方向上移动，最终所述玻璃基板的放置位置恢复到预期位置。

因此，本申请能够解决现有技术中激光晶化装置中的玻璃基板放置位置偏离预期放置位置的问题，并且能够校正这一偏差。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1a为现有技术中玻璃基板、载台与定位销的相对位置的俯视图；

图1b为现有技术中沿着图1a中的虚线a-a的剖面图；

图1c为现有技术中玻璃基板与载台的俯视图；

图1d为现有技术中沿着图1a中的虚线a-a的剖面图；

图2a为本实用新型实施例提供了一种玻璃基板放置在预期位置时感知玻璃基板位置偏离的装置与载台、玻璃基板的相对位置的俯视图；

图2b为本实用新型实施例提供了沿着图2a中的虚线c-c的剖面图；

图2c为本实用新型实施例提供了沿着图2a中的虚线b-b的剖面图；

图2d为本实用新型实施例提供了偏离感知结构沿着图2a中的虚线a-a的剖面图；

图2e为本实用新型实施例提供了偏离感知结构的正视图；

图2f为本实用新型实施例提供了偏离感知结构的俯视图；

图2g为本实用新型实施例提供了偏离感知结构的右视图；

图2h为本实用新型实施例提供了一种玻璃基板未放置在预期位置时感知玻璃基板位置偏离的装置与载台、玻璃基板的相对位置的俯视图；

图2i为本实用新型实施例提供了一种玻璃基板未放置在预期位置时感知玻璃基板位置偏离的装置与载台、玻璃基板的相对位置的俯视图；

图2j为本实用新型实施例提供了沿着图2i中的虚线c-c的剖面图；

图2k为本实用新型实施例提供了沿着图2i中的虚线b-b的剖面图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型具体实施例及相应的附图对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

以下结合附图，详细说明本实用新型实施例提供的技术方案。

为了能够解决现有技术中激光晶化装置中的玻璃基板放置位置偏离预期放置位置的问题，本实用新型实施例提供一种感知玻璃基板位置偏离的装置。其中，所述装置包括至少一个偏离感知结构。

所述偏离感知结构，包括能够沿垂直于用于放置玻璃基板的载台表面的方向上下移动的定位销，以及位于所述定位销两侧的光源发射器和光源感知器。

其中，所述定位销在未受到外力作用时，所述定位销遮挡所述光源发射器向所述光源感知器发出的光，使得所述光源感知器不能感知到所述光源发射器向所述光源感知器发出的光；所述定位销在受到外力作用时，所述定位销不遮挡所述光源发射器向所述光源感知器发出的光，使得所述光源感知器能够感知到所述光源发射器向所述光源感知器发出的光。

为了更好地使读者理解所述装置的结构，以图2a、图2b、图2c显示的装置为例进行说明。

其中，所述图2a为在玻璃基板放置在预期放置位置上时感知玻璃基板位置偏离的装置与载台、玻璃基板的相对位置关系的俯视图，图2b为沿着图2a中的虚线c-c的剖面图，图2c为沿着图2a中的虚线b-b的剖面图。

需要说明的是，所述玻璃基板15的预期放置位置为载台1上的表面。其中，所述玻璃基板15的形状、尺寸与所述载台1的形状、尺寸一样。当所述玻璃基板15放置在预期放置位置上时，所述玻璃基板15与所述载台1上表面贴合在一起，且所述玻璃基板15的各边缘刚好与所述载台1的各边缘分别对齐。

图2a中的虚线框中的结构为在玻璃基板放置在预期放置位置上时偏离感知结构。其中，所述偏离感知结构，用于感知所述玻璃基板15的放置位置是否偏离预期放置位置。所述感知玻璃基板位置偏离的装置，包含八个偏离感知结构。偏离感知结构两两分布在所述载台1上表面的四条边的外边缘的外侧，且所述载台1每一条边的外边缘外侧分布的两个偏离感知结构均匀分布在所述载台每一条的中心点的两侧。

所述偏离感知结构包括定位销2、光源发射器3以及光源感知器4。其中，该偏离感知结构可参见图2d、图2e和图2f。图2d为偏离感知结构沿着图2a中的虚线a-a的剖面图。图2e为图2d中的偏离感知结构的正视图。图2f为图2d中的偏离感知结构的俯视图。

下面分别对载台1、定位销2、光源发射器3以及光源感知器4进行描述：

(1)载台1

所述载台1的上表面的形状为矩形，包含上下相通的通道9。所述通道9横截面的形状为矩形，个数为二十个，沿着所述载台1横截面中的与任意一条边平行的四条平行线上；靠近所述载台1横截面中心点的两条平行线上分别平均分布着四个所述通道9，远离所述载台1横截面中心点的两条平行线上分别平均分布着六个所述通道9；其中，所述四条平行线为所述载台1横截面的五等分线。

(2)定位销2

所述定位销2包括锲形体5和可活动部件6。

所述定位销2位于用于放置玻璃基板的载台1的外边缘外侧，且所述定位销2的朝向所述外边缘外侧的一侧，与所述外边缘外侧贴合；

所述定位销2在所述外边缘外侧所处的位置，位于所述光源发射器3与所述光源感知器4的中间，且分别与所述光源发射器3与所述光源感知器4之间存在空隙；

所述定位销2的上表面高于所述载台1的上表面；

所述锲形体5的斜面朝向所述载台的上方；

所述可活动部件6与所述锲形体5下表面相连接。

其中，所述可活动部件6为弹簧，所述弹簧的弹力方向所在的轴线与所述锲形体的重力方向所在轴线重合。

需要特别说明的是，在所述定位销2受到向下的外力作用时，所述可活动部件6能够带动所述锲形体5沿垂直于所述载台表面的方向向下移动；在所述外力消失时，所述可活动部件6能够带动所述定位销2沿垂直于所述载台表面的方向向上移动。

其中，在所述玻璃基板15放置在所述预期放置位置时，所述定位销2不受到外力作用，所述定位销2遮挡所述光源发射器3向所述光源感知器4发出的光线14，所述光源感知器4不能感知到所述光源发射器3向所述光源感知器4发出的光线14(参见图2d)；在所述玻璃基板15未放置在所述预期放置位置时，所述玻璃基板15放置在所述定位销2上，所述定位销2在所述玻璃基板15的作用下，不遮挡所述光源发射器3向所述光源感知器4发出的光，所述光源感知器4能够感知到所述光源发射器3向所述光源感知器4发出的光线14(参见图2g)。其中，图2g为所述玻璃基板15放置在所述定位销2上面时所述偏离感知结构的右视图。

(3)光源发射器3、光源感知器4

所述光源发射器3与光源感知器4位于所述载台1的外边缘的外侧；

所述光源发射器3包含的光源发射口12朝向所述定位销2；

所述光源感知器4包含的光源感知口13朝向所述定位销2；

所述光源发射器3包含的光源发射口12发出的光线14为水平光线。

除了上述介绍的零部件外，所述感知玻璃基板位置偏离的装置还可以包括载物销8。

下面介绍载物销8：

所述载物销8能够在所述通道9中上下移动；

所述载物销8的顶端为球体10，下端为长方体11，且所述球体10能够沿任意方向转动；

在所述玻璃基板15放置在所述预期放置位置时，所述定位销2遮挡所述光源发射器3向所述光源感知器4发出的光线14，所述载物销8位于所述载台1下面，即位于所述通道9正下方，且所述载物销8的上表面不高于所述载台1上表面，参见图2b；在所述玻璃基板15放置在所述定位销2上时(参见图2h)，所述定位销2不遮挡所述光源发射器3向所述光源感知器4发出的光线14，所述载物销8通过所述通道9向上移动，直至移动到所述载物销8的上表面与所述玻璃基板15的下表面接触，且所述玻璃基板15可以离开所述定位销2时的位置，所述球体10转动能够带动所述玻璃基板15移动，使得所述玻璃基板15发生水平位移(参见图2i、图2j和图2k)。

其中，图2h为所述玻璃基板放置在定位销上时所述偏离感知结构与载台、玻璃基板的相对位置的俯视图。

图2i为所述载物销移动到载台上表面以上时所述偏离感知结构与载台、玻璃基板的相对位置的俯视图。

图2j为沿着图2i中的虚线c-c的剖面图。

图2k为沿着图2i中的虚线b-b的剖面图。

在所述玻璃基板15放置在所述定位销2上面时，所述定位销2在所述玻璃基板15的重力作用下，会向下移动。由于所述定位销2向下移动，使得原先照射在在所述定位销2上的光线14，可以照射在所述光源感知器4上面。当光源感知器4感知到光线时，表明所述玻璃基板15的放置位置偏离了预期放置位置。

此时，向上移动所述载物销8，使得所述载物销8包括的球体10与所述玻璃基板15接触，所述球体10沿一定方向转动，可以带动所述玻璃基板15移动，进而使得所述玻璃基板15移动到预期放置位置的正上方，这时向下移动所述载物销8，使得所述玻璃基板15与所述载台1贴合在一起，便校正了所述玻璃基板15放置位置偏离预期放置位置的问题。

因此，本实用新型能够解决现有技术中激光晶化装置中的玻璃基板放置位置偏离预期放置位置的问题，并且能够校正这一偏差，使得所述玻璃基板可以放置在所述预期放置位置。

以上所述仅为本实用新型的实施例而已，并不用于限制本实用新型。对于本领域技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。